СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ Российский патент 1995 года по МПК C30B23/00 C30B29/12 

Описание патента на изобретение RU2041298C1

Изобретение относится к технологии получения оптических материалов, прозрачных в ультрафиолетовой (УФ) видимой и инфракрасной (ИК) областях спектра, а именно к получению особочистых твердых кристаллов фторидов щелочноземельных и редкоземельных металлов, в частности фторида магния (MgF2).

К оптическим кристаллическим материалам предъявляются следующие требования:
высокое пропускание в УФ-, видимой и ИК-областях спектра;
высокая механическая прочность;
высокая устойчивость к электромагнитному и γ-излучению;
заданная ориентация отдельных участков кристаллических образцов.

Известен способ выращивания кристаллов щелочноземельных и редкоземельных фторидов, включающий нагрев исходного материала высокочистого порошка, например фторида магния, до температуры, выше температуры плавления данного материала. В печи создают постоянный поток фтористого водорода. Тигель с расплавом медленно продвигают с контролируемой скоростью через область максимального градиента температур в зону кристаллизации. Монокристаллический MgF2, полученный данным способом, обладает высоким пропусканием в УФ-, видимой в ИК-областях спектра. В связи с наличием большого температурного градиента в зоне роста порядка 400оС заготовки получаются блочными с произвольной ориентацией и неоднородными по напряжениям внутри материала. Кроме того, в ходе выращивания не удаляются труднолетучие примеси, которые неравномерно распределяются по направлению роста кристалла. Это приводит к недостаточной радиационной стойкости кристалла.

Известен способ очистки фторидов путем возгонки нагретого в платиновом тигле исходного материала в потоке сухого фтористого водорода. Данный способ не обеспечивает получение более чистых фторидов и более однородных монокристаллов, так как кислородсодержащие соединения подвергаются фторированию и осаждаются в зоне роста. Способ не применим для получения MgF2 с высокой скоростью роста.

Наиболее близким к заявленному по технологическому процессу, по совокупности существенных признаков является способ получения оптического элемента, включающий нанесение на нагретую подложку путем вакуумного испарения предварительно прокаленного сульфида цинка. Испарение проводят со скоростью 0,02-0,10 мм/ч при температуре испарения 1000-1080оС и температуре подложки 650-850оС. Подложка выполнена из поликристаллического селедида цинка. Данным способом получают конструкционный оптический элемент в виде диска с защитным слоем из сульфида цинка с высокой надежностью защиты элемента при работе в неблагоприятных погодных условиях.

Описанный технологический процесс не позволяет получить монокристаллический элемент из фторидов щелочноземельных металлов, в частности MgF2 из-за наличия большого градиента температур (до 350оС).

Задачей изобретения является возможность получения монокристаллов фторида магния с повышенной прочностью и радиационной стойкостью материала, а также ориентированного в плоскости кристалла.

Такая задача решается с помощью способа, который заключается в нагревании исходного материала, его вакуумном испарении с регулируемой скоростью на нагретую подложку и в котором в отличии от прототипа в качестве исходного материала соответственно используют порошкообразный или кристаллический фторид магния, испарение проводят при температуре испарения 1200-1300оС со скоростью осаждения основного кристаллического вещества (роста кристалла) 0,6-2,4 мм/ч на подложке, нагретой до 1100-1180оС. При этом целесообразно использовать подложку из аморфного материала. Таким материалом может быть ткань из углеродного волокна.

Возможно решение поставленной задачи и с использованием подложки из того же кристаллического материала, что и выращиваемый кристалл с заданной ориентацией. Изготовление же подложки из аморфного материала является более простым и дешевым способом. Таким материалом может быть керамика (Al2O3), аморфные металлы.

Данным способом получается особо- прочный и радиационно стойкий материал за счет создания бездефектной структуры, содержащей значительно меньше примесей, в частности оксидов, фторидов, карбидов и т.п. Очистка основного вещества достигается за счет исключения примесей разной степени летучести, так как основное вещество обладает большей степенью летучести по отношению к указанным примесям.

Полученный монокристалл имеет ориентацию в плоскости (110), перпендикулярной оси роста, что достигается путем реализации наиболее выгодной с энергетической точки зрения кристаллической ориентации при осаждении вещества из пара в зоне малого температурного градиента (ΔТ=20-200оС), а также использования подложки из аморфного материала. Аморфный материал не взаимодействует с фторидом магния, не оказывает на растущий кристалл энергетического воздействия, так как отсутствуют силы дальнего порядка.

Плоскость спаянности монокристалла перпендикулярна подложке, что наиболее выгодно для ориентации кристалла относительно подложки с энергетической точки зрения.

Указанный температурный режим является оптимальным для получения монокристаллов фторида магния высокого оптического качества, ориентированного в плоскости (110). Скорость конденсации подбирается и управляется экспериментально. Температурные режимы подобраны экспериментальным путем с помощью конструкции контейнера, соответствующей установки нагревателя, экранов, термопар. При этом подложка может располагаться как в непосредственной близости от загруженного сырья, так и в максимальном удалении от него, составляющем 2,5 диаметра контейнера, что обеспечивает необходимый температурный градиент. Однако это расстояние не должно превышать указанный максимум, так как в противном случае это ведет к загрязнению основного вещества от стенок контейнера.

На фиг. 1 изображен общий вид испарительно-осадительной установки, которая содержит контейнер 1 с крышкой 2, под которой с помощью прижимного кольца 3 укреплена подложка 4. На подложке 4 образуется монокристалл 5. Исходное сырье 6 помещается на дне контейнера 1, коаксиально которому в непосредственной близости от его стенок расположен нагреватель 7. Экраны 8 окружают контейнер 1 с нагревателем 7. С наружной стороны дна контейнера 1 установлена термопара 9 для нагревания исходного материала 6, а вблизи подложки 5 в стенке контейнера 1 установлена термопара 10 для разогревания подложки 4.

На фиг. 2 изображена зависимость пропускания монокристаллического MgF2 от длины волны при различных дозах γ-облучения. Кривые (а) и (б) характеристики монокристалла, полученного предлагаемым способом при облучении 1,1 ˙ 105 Су и 5,1 ˙ 105 Су соответственно, а кривые (в) и (г) характеристики монокристалла, полученного выращиванием из расплава соответственно при тех же значениях дозы γ-излучения.

Предлагаемый способ получения монокристаллов MgF2 осуществляется следующим образом. В квазизамкнутый контейнер 1 с крышкой 2, выполненный из графита, покрытого слоем пироуглерода, загружают осколки полученного из расплава 6 фторида магния. Вблизи крышки 2 внутри контейнера с помощью прижимного кольца 3, выполненного из нейтрального материала, например, графита устанавливается подложка 4 из аморфного материала, например ткани из углеродного волокна. При этом толщина ткани составляет 0,8-15 мм с толщиной нити 0,5-1 мм. Ткань берется пирографитизированная марки ПГТ. Заданный градиент температур создают, помещая контейнер в соответствующую область сформированного необходимым образом температурного поля путем подбора конструкции нагревателя 7 и экранов 8. Сборка помещается в герметизированную камеру, в которой создают вакуум с помощью форвакуумного и диффузионного масляных насосов. При комнатной температуре в установке достигали давления остаточных газов Р= 0,1 Па, при температуре испарения вакуум составлял величину порядка 1-10 Па. Температурный режим задают с помощью двух термопар 9 и 10, соответственно расположенных около загруженного исходного материала 6 и подложки 4. Нагревание начинают при достижении давления Р=0,1 Па и продолжают в течение 8-12 часов. Длительность процесса испарения составляет 8-24 ч. При оптимальной скорости осаждения 0,6-2,4 мм/ч получают компактный диск монокристаллического MgF2 толщиной 8-25 мм. При загрузке исходного материала 1,5 кг из осколков кристалла был получен монокристаллический диск диаметром 100 мм и толщиной 10 мм.

Внешний вид монокристалла диск диаметром 100 х 10 мм с характеристиками: плотность 3,18 г/см3; микротвердость 3,7 ГПа; прочность на изгиб 65,5 МПа; трещиностойкость (К) 0,918 МПа ˙ м1/2, что подтверждает высокое качество полученного монокристалла MgF2.

Результаты конкретных режимов сведены в таблицу. Из приведенных в таблице примеров неоптимальными являются следующие: N 1 температуры испарения и осаждения недостаточны для получения прочного образца; NN 5 и 6 температура испарения превышает заявленный режим при максимальной температуре подложки и превышает этот уровень, что приводит к осаждению крупноблочных образцов с нарушенной ориентацией отдельных участков; N 7 аналог из расплава получается произвольно ориентированным относительно оси роста, имеет меньшую прочность и менее радиационно стоек, что особенно заметно по снижению коэффициента пропускания в области 220-280 мкм (см. фиг. 2). Кристаллы, полученные в оптимальном режиме по заявленному способу (примеры 2-4) обладают более высокими прочностью и радиационной стойкостью, строго ориентированы перпендикулярно оси роста.

Измерение свойства проводили в соответствии с общепринятыми методиками. Радиационную стойкость определяли, измеряя τ образцов после облучения γ-излучением 60Со в течение 6-24 ч. Коэффициент пропускания образцов определяли с помощью спектрофотометров СФ-26 и ИКС-29. Определение микротвердости и трещиностойкости проводили на микротвердомере ПМТ-3. Микротвердость определяли при нагрузке 1Н, трещиностойкость при 5,6Н. Прочность на изгиб контролировали методом четырехточечного изгиба на универсальной испытательной машине "Instron". Образцы для испытаний изготовляли в форме параллелепипедов. Плотность образцов определяли при помощи гидростатического взвешивания в толуоле.

Похожие патенты RU2041298C1

название год авторы номер документа
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ SiC И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ 1998
  • Танино Кития
  • Хирамото Масанобу
RU2160327C2
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ SiC И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ 1998
  • Танино Кисия
  • Хирамото Масанобу
RU2154698C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ФТОРИДОВ КАЛЬЦИЯ И БАРИЯ 2009
  • Гарибин Евгений Андреевич
  • Демиденко Алексей Александрович
  • Миронов Игорь Алексеевич
  • Крутов Михаил Анатольевич
RU2400573C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ ТИПА AB 2008
  • Аверичкин Павел Андреевич
  • Коновалов Александр Аполлонович
  • Шлёнский Алексей Александрович
  • Шматов Николай Иванович
RU2380461C1
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ ОКСИДОВ 2006
  • Багдасаров Хачик Саакович
  • Графов Герман Кимович
  • Малинин Владимир Иванович
  • Саркисов Степан Эрвандович
  • Трофимов Александр Сергеевич
RU2320789C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРУПНОГАБАРИТНЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ АНТИМОНИДА ИНДИЯ 2012
  • Ежлов Вадим Сергеевич
  • Мильвидская Алла Георгиевна
  • Молодцова Елена Владимировна
  • Колчина Галина Петровна
  • Меженный Михаил Валерьевич
  • Резник Владимир Яковлевич
RU2482228C1
Способ получения поликристаллического оптического материала на основе щелочно-галоидных соединений 1983
  • Рыжиков Энгельс Николаевич
  • Демиденко Алексей Александрович
  • Дунаев Анатолий Алексеевич
SU1122762A1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ВЫСОКОСОВЕРШЕННЫХ КРЕМНИЕВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР СО СКРЫТЫМИ n-СЛОЯМИ 2003
  • Медведев Н.М.
  • Прижимов С.Г.
RU2265912C2
Способ получения твердотельных регулярно расположенных нитевидных кристаллов 2017
  • Сахаров Владимир Евгеньевич
  • Белоногов Евгений Константинович
  • Омороков Дмитрий Борисович
RU2657094C1
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ АМОРФНОЙ ФАЗЫ НА НЕКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ 1996
  • Петров Н.А.
RU2098886C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 041 298 C1

Реферат патента 1995 года СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к технологии получения оптических материалов, прозрачных в ультрафиолетовой, видимой и инфракрасной областях спектра, а именно особочистых твердых кристаллов фторидов щелочноземельных и редкоземельных металлов, в частности фторида магния. Способ включает нагрев исходного материала, его вакуумное испарение при температуре 1200 1300°С со скоростью осаждения основного кристаллического вещества 0,6 2,4 мм/ч на подложке, нагретой до 1100 1180°С, которая выполнена из аморфного материала, например ткани из углеродного волокна. Полученные данным способом монокристаллы фторида мангия ориентированы в плоскости, обладают повышенными прочностью и радиационной стойкостью. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. 10 табл.

Формула изобретения RU 2 041 298 C1

1. СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ, включающий нагрев исходного материала, его вакуумное испарение с регулируемой скоростью на нагретую подложку, отличающийся тем, что в качестве исходного материала используют порошок или раздробленные кристаллы фторида магния, испарение проводят при температуре испарения 1200 1300oС со скоростью осаждения основного кристаллического вещества 0,6 2,4 мм/ч на подложке, нагретой до 1100 1180oС. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что осаждение основного кристаллического вещества производят на подложку, выполненную из аморфного материала. 3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что осаждение основного кристаллического вещества производят на подложку, выполненную в виде отрезка ткани из углеродного волокна.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1995 года RU2041298C1

Способ получения оптического элемента 1989
  • Борисов Борис Александрович
  • Демиденко Алексей Александрович
  • Дунаев Анатолий Алексеевич
  • Миронов Игорь Алексеевич
SU1678920A1
Способ обработки медных солей нафтеновых кислот 1923
  • Потоловский М.С.
SU30A1

RU 2 041 298 C1

Авторы

Гарибин Е.А.

Гусев И.Б.

Иванова О.А.

Миронов И.А.

Смирнов А.Н.

Даты

1995-08-09Публикация

1993-08-17Подача