СПОСОБ ЕГИАЗАРЯНА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ Российский патент 1995 года по МПК G01B7/16 H01C17/24 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с широким диапазоном настройки.

Известен способ изготовления тензорезисторов, заключающийся в том, что создают на подложке резистивный слой, наносят на него слой металлизации с токовыводами, контролируют электрические параметры тензорезистора и удаляют часть резистивного слоя до получения заданных параметров.

Недостатком этого способа является узкий диапазон коррекции параметров тензорезистора.

Расширение диапазоне коррекции достигается тем, что вместо удаления части резистивного слоя удаляют часть слоя металлизации. При этом увеличивается рабочая площадь резистивного слоя и, соответственно, изменяются электрические параметры тензорезистора.

На фиг. 1 представлен терморезистор, изготовленный по предлагаемому способу; на фиг.2 сечение А-А на фиг.1.

На подложку 1 нанесен резистивный слой 2, а поверх него- слой 3 металлизации с токовыводами 4.

Способ осуществляют следующим образом.

На подложку 1 наносят резистивный слой 2, а поверх него любым из известных способов наносят слой металлизации с токовыводами. В зависимости от требуемого диапазона коррекции слой металлизации может покрывать всю поверхность резистивного слоя или образовывать отдельные участки, как связанные, так и не связанные между собой. Токовыводы 4 подсоединяют к схеме измерения электрических параметров тензорезистора (не показана). Путем удаления части слоя металлизации формируют не менее двух участков металлизации, электрически связанных через резистивный слой. В процессе удаления металла контролируют электрические параметры тензорезистора и при достижении заданных значений удаление прекращают. Для регулирования точности коррекции параметров тензорезистора резистивный слой 2 выполняют переменной ширины, а удаление слоя металлизации для грубой и точной коррекции производят на участках различной ширины. Выбор участка для удаления металлизации определяется требуемой точностью коррекции. Участков металлизации с токовыводами может быть сформировано несколько, тогда на одной подложке можно получить несколько тензорезисторов с заданными параметрами.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с широким диапазоном коррекции параметров. Расширение диапазона коррекции параметров достигается тем, что на созданный на подложке резистивный слой переменной ширины наносят слой металлизации, а затем путем удаления металла образуют не менее двух участков металлизации, электрически связанных через резистивный слой. Удаление металла прекращают после получения тензорезистора с заданными электрическими параметрами. 1 з. п. ф-лы, 2 ил.

1. Способ изготовления тензорезисторов, заключающийся в том, что создают на подложке резистивный слой, наносят на него слой металлизации с токовыводами, контролируют электрические параметры тензорезистора и изменяют его геометрию до получения заданных параметров, отличающийся тем, что изменение геометрии осуществляют путем формирования не менее двух участков слоя металлизации удалением металла. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что создают резистивный слой переменной ширины, участки металлизации формируют перекрывающими резистивный слой по ширине, а удаление металла производят на участке металлизации с шириной резистивного слоя, соответствующей заданной точности коррекции параметров тензорезистора.