ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР С ВАКУУМНЫМ ТУННЕЛЬНЫМ ДАТЧИКОМ Российский патент 1997 года по МПК G01P15/13 

Акселерометр, содержащий чувствительную массу, электростатический подвес, вакуумный туннельный датчик перемещения, следящую систему, отличающийся тем, что, по крайней мере, один вакуумный туннельной датчик по каждой чувствительной оси установлен на корпусе, изолирован электрически от корпуса и неподвижных электродов подвеса, острие датчика проходит через отверстие в неподвижных электродах подвеса, взвешенная чувствительная масса соединена электрически с корпусом по крайней мере одним гибким безмометным токоподводом, через источник питания с положительным относительно острия вакуумного туннельного датчика потенциалом, по величине меньшим работы выхода материала острия датчика.