| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ | 1992 |
|
RU2037563C1 |
| СПОСОБ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТОГО ИЗДЕЛИЯ | 1992 |
|
RU2065888C1 |
| МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО | 2018 |
|
RU2747487C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ | 1992 |
|
RU2049152C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЫХ ПРОФИЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ (ВАРИАНТЫ) И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) | 2002 |
|
RU2226439C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ | 2006 |
|
RU2311492C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ | 1990 |
|
RU1725574C |
| Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления | 2015 |
|
RU2607398C2 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НАНОПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2008 |
|
RU2371379C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ | 1993 |
|
RU2065890C1 |
1. Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы, включающий распыление в вакууме материала покрытия и осаждение его на внутреннюю поверхность трубы, отличающийся тем, что компенсированный ионный пучок направляют внутрь трубы вдоль ее оси, а распыляемую мишень, имеющую углубление и систему боковых отверстий, продвигают внутри трубы углублением вперед от одного конца трубы до другого навстречу ионному потоку.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что перед распылением в вакууме материала покрытия поверхность трубы активируют ионным пучком.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень продвигают внутри трубы с постоянной или возрастающей скоростью.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыляемую мишень и/или трубу постоянно вращают вокруг продольной оси с несовпадающими угловыми скоростями.
