СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ Российский патент 1998 года по МПК H01G9/00 H01G9/04 

Описание патента на изобретение RU2109362C1

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в производстве электролитических конденсаторов.

Известен способ получения покрытия, состоящего из смеси гранул Al и Al2O3 на проводящей подложке методом реактивного испарения алюминия в атмосфере окислителя, который позволяет получать фольги повышенной емкости для электролитических конденсаторов.

Однако известный способ не позволяет с требуемой точностью контролировать и поддерживать на оптимальном уровне состав рабочей среды в вакуумной камере, следствием чего является недостаточная воспроизводимость количественного соотношения фаз, а следовательно, и электрофизических свойств напыленных слоев.

Изобретение направлено на повышение стабильности процесса и воспроизводимости эксплуатационных характеристик электролитических конденсаторов.

Это достигается тем, что процесс нанесения объемно-пористого металлодиэлектрического покрытия на проводящую подложку ведут методом высокочастотного магнетронного распыления обеих фаз в инертной среде.

На фиг. 1 - 3 представлена структура полученных композитов.

Способ реализуется следующим образом.

Предварительно изготовленную составную мишень из токопроводящего (Al) и диэлектрического материалов (Al2O3) помещают в вакуумную камеру, которую откачивают до давления 1,5 • 10-3 Па. Затем рабочий объем заполняется аргоном до давления 5 • 10-1 Па. После чего производится нанесение покрытия методом высокочастотного магнетронного распыления мишени. Правильный выбор геометрии распылительной системы и мишени, а также условий осаждения обеспечивает получение равномерных по толщине покрытий Al-Al2O3 на проводящей алюминиевой подложке.

Анализ электронограмм, представленных на фиг. 1 показал, что полученные пленки представляют собой смесь высокодисперсной проводящей фазы Al и аморфной Al2O3. Размер кристаллических частиц Al, хаотично распределенных в матрице Al2O3, определен с помощью темнопольного анализа (фиг. 2) и составляет 5 - 50 нм. Пленки имеют сильно развитую поверхность с неровностями величиной 0,5 - 1 мкм (фиг. 3). Такая морфология внешней границы раздела (Al - атмосфера) и структура полученного композита, определяющая высокое значение внутренней поверхности раздела (Al-Al2O3), обеспечивают достаточно высокое значение удельной электрической емкости, что в сочетании с хорошей адгезией полученных слоев позволяет их использовать в качестве пористых покрытий катодных фольг при производстве электролитических конденсаторов.

Предлагаемый способ может быть использован для расширения спектра материалов, применяемых для формирования развитого поверхностного рельефа катодных фольг электролитических конденсаторов.

Похожие патенты RU2109362C1

название год авторы номер документа
ПОРИСТОЕ ПОКРЫТИЕ ДЛЯ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО КОНДЕНСАТОРА 1997
  • Иевлев В.М.
  • Белоногов Е.К.
  • Бурова С.В.
  • Иевлев В.П.
  • Комбаров В.В.
  • Кущев С.Б.
  • Поваляев А.Д.
  • Пономаренко В.Н.
  • Тураева Т.Л.
RU2123738C1
Способ модификации поверхности фольги для электролитических конденсаторов 2019
  • Мерзляков Сергей Васильевич
  • Сахаров Владимир Евгеньевич
  • Омороков Дмитрий Борисович
RU2716700C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ НИТРИДОВ 2010
  • Анциферов Владимир Никитович
  • Каменева Анна Львовна
RU2429311C1
СПОСОБ СОЗДАНИЯ КОМПОЗИЦИОННОЙ МЕМБРАНЫ ДЛЯ ОЧИСТКИ ВОДОРОДА 2013
  • Иевлев Валентин Михайлович
  • Белоногов Евгений Константинович
  • Максименко Александр Александрович
  • Рошан Наталья Робертовна
  • Бурханов Геннадий Семёнович
  • Донцов Алексей Игоревич
  • Сладкопевцев Борис Владимирович
  • Солнцев Константин Александрович
  • Чернявский Андрей Станиславович
RU2538577C2
Способ получения на подложке тонких пленок ниобата лития 2021
  • Дыбов Владислав Анатольевич
  • Сериков Дмитрий Владимирович
  • Костюченко Александр Викторович
  • Сумец Максим Петрович
  • Белоногов Евгений Константинович
  • Иевлев Валентин Михайлович
RU2762756C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АНОДНОЙ ФОЛЬГИ 2008
  • Мисожников Лев Викторович
  • Юркевич Игорь Николаевич
  • Кошелевский Виктор Фадеевич
  • Гевал Юрий Николаевич
  • Ходаченко Георгий Владимирович
  • Атаманов Михаил Владимирович
  • Крашевская Галина Витальевна
  • Писарев Александр Александрович
  • Шукшина Татьяна Владимировна
  • Щелканов Иван Анатольевич
  • Мозгрин Дмитрий Витальевич
  • Шарипов Эрнст Исагалиевич
RU2391442C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ КАЛЬЦИЙ-ФОСФАТНОГО ПОКРЫТИЯ 2008
  • Иевлев Валентин Михайлович
  • Белоногов Евгений Константинович
  • Костюченко Александр Викторович
RU2372101C1
МНОГОСЛОЙНОЕ ПОКРЫТИЕ ТОНКОСТЕННОЙ ОБОЛОЧКИ ИЗ ПОЛИМЕРНОГО КОМПОЗИЦИОННОГО МАТЕРИАЛА КОСМИЧЕСКОГО АНТЕННОГО РЕФЛЕКТОРА 2013
  • Резник Сергей Васильевич
  • Миронов Юрий Михайлович
  • Нелюб Владимир Александрович
  • Буянов Иван Андреевич
  • Бородулин Алексей Сергеевич
  • Чуднов Илья Владимирович
RU2537515C1
Способ получения электродных покрытий для оптоэлектронных устройств на основе галогенидных перовскитов 2022
  • Саранин Данила Сергеевич
  • Талбанова Нигина
  • Лучников Лев Олегович
  • Иштеев Артур Рустэмович
  • Диденко Сергей Иванович
RU2797895C1
РАДИОПОГЛОЩАЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ 2002
  • Алексеев А.Г.
  • Старостин А.П.
  • Яковлев С.В.
  • Луцев Л.В.
  • Козырев С.В.
RU2228565C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 109 362 C1

Реферат патента 1998 года СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ

Изобретение относится к производству электролитических конденсаторов. Согласно изобретению на металлическую фольгу в вакуумной инертной среде наносят покрытие из смеси токопроводящего и диэлектрического материалов методом высокочастотного магнетронного распыления из составной мишени. 3 ил.

Формула изобретения RU 2 109 362 C1

Способ модификации поверхности фольги для электролитических конденсаторов путем магнетронного нанесения в высоком вакууме на металлическую фольгу покрытия, состоящего из смеси токопроводящего и диэлектрического материалов, отличающийся тем, что процесс ведут методом высокочастотного распыления в инертной среде из составной мишени.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1998 года RU2109362C1

FR, патент, 2688092, кл
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

RU 2 109 362 C1

Авторы

Иевлев В.М.

Белоногов Е.К.

Бурова С.В.

Иевлев В.П.

Комбаров В.В.

Кущев С.Б.

Поваляев А.Д.

Тураева Т.Л.

Даты

1998-04-20Публикация

1996-05-30Подача