СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЯ Российский патент 2003 года по МПК G01B11/30 

Таблицыс

Изобретение относится к измерительной технике, касается оптических способов контроля шероховатости поверхности изделия. Импульс света Т_св освещает контролируемую поверхность, рассеянное/отраженное излучение пропускают через акустооптический (АО) модулятор, в котором распространяется бегущий акустический импульс Т_ак. Излучение, продифрагированное на этом акустическом импульсе, регистрируется фотодетектором, при этом синхронизируются импульсные режимы освещения и возбуждения АО-модулятора и можно добиться управляемого медленного и подробного сканирования исследуемого рассеянного излучения пошагово от такта к такту. О параметрах шероховатости поверхности изделия судят по отклонению измеренных параметров оптического потока контролируемой детали и эталонного образца. Технический результат: расширение функциональных возможностей и повышение точности измерений. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

1. Способ контроля шероховатости поверхности изделия, заключающийся в том, что направляют коллимированное световое излучение на контролируемую поверхность, регистрируют с помощью фотодетектора интенсивность отраженного от контролируемой поверхности излучения и определяют шероховатость поверхности изделия, направляют на акустооптический модулятор излучение, рассеянное от контролируемой поверхности, фокусируют с помощью линзы излучения, продифрагированное и непродифрагированное на бегущем акустическом импульсе, производят Фурье-преобразование амплитудного распределения излучения в фокальной плоскости линзы, определяют индикатриссу рассеяния путем установки фотодетектора на первый порядок дифракции и по результатам сравнения ее с эталонной судят о шероховатости поверхности изделия, отличающийся тем, что световое излучение формируют в импульсном режиме, синхронизируют бегущие акустические и световые импульсы.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополняют бегущий акустический импульс другими акустическими импульсами и формируют для каждого светового импульса импульсную последовательность из нескольких акустических импульсов.3. Способ по пп.1 и/или 2, отличающийся тем, что управляют параметрами импульсной последовательности акустических импульсов и/или параметрами процесса синхронизации акустических и световых импульсов.