СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ Российский патент 2005 года по МПК G01B7/16 

Описание патента на изобретение RU2247937C1

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам изготовления тензорезисторов.

Известен способ изготовления тензорезисторов путем травления фольги в растворе хлорного железа [1].

Недостатком этого способа является то, что нити тензорезистора подвергаются боковому растравливанию, а это ведет к большому разбросу по сопротивлению рабочего поля фольги (разброс номиналов тензорезисторов).

Наиболее близким (прототипом) к предлагаемому техническому решению является способ изготовления фольговых тензорезисторов [2]. Согласно этому способу травление фольги осуществляется раствором хлорного железа, дополнительно содержащим 30 г/л хлористого кальция и 0,0004 г/л смачивателя марки СВ-102.

Недостатком способа является то, что процесс травления проходит при дополнительном нагревании раствора до температуры 50-65°С, при которой не нарушается адгезия (соединение) решетки с подложкой. При температуре травления ниже 50°С процесс протекает медленно, что создает большой клин травления (неравномерность) и приводит к искажению рисунка тензорезистора.

С увеличением температуры травления свыше 65°С начинается процесс резкого разложения хлорного железа с образованием осадка в виде гидрата окиси железа, что приводит к нарушению состава травильного раствора.

Задачей предлагаемого изобретения является повышение стабилизации и выравнивание скорости травления по обрабатываемой поверхности за счет снижения температуры травления, уменьшение разброса сопротивления тензорезисторов за счет повышения точности формирования геометрических размеров тензорезисторов.

Данная задача достигается тем, что в способе изготовления фольговых тензорезисторов, включающем соединение фольги с изоляционной основой посредством клея, нанесение на фольгу светочувствительной эмали, копирование рисунка, проявление рисунка, травление фольги в растворе хлорного железа и приварку выводов в качестве травильного раствора, используют раствор на основе хлорного железа FеСl3, приготовленного строго последовательным введением в 5% водный раствор азотнокислого натрия NaNO3 10% водного раствора водорастворимого органического полимера, например поливинилового спирта ПВС и водного раствора хлорного железа FеСl3 плотностью 1,4-1,42 г/см3.

Введение водорастворимого органического полимера (в частности, поливинилового спирта ПВС) [3] позволяет создать в процессе травления возле поверхности за счет адсорбции (поглощения) полимера вязкий диффузионный слой, снижающий влияние конвекции (теплообмена) на процесс травления. Тем самым обеспечивается равномерность травления по всей поверхности и снижается влияние “краевого эффекта”. Кроме того, адсорбция полимера к поверхности фоторезиста повышает его защитные свойства и приводит к “залечиванию” микродефектов, что положительно влияет на качество получаемого рисунка.

Пример. Для проведения травления при температуре нормальных климатических условий готовят травильный раствор на основе хлорного железа FеСl3. В 200 мл воды Н2О растворяют 10 г азотнокислого натрия NaNO3, затем в полученный раствор вводят 2 мл 10% водорастворимого органического полимера (поливинилового спирта ПВС) и в полученную смесь добавляют 120 мл водного раствора хлорного железа FеСl3 плотностью 1,4-1,42 г/см3.

Травление в растворе, приготовленного таким образом, производят при температуре нормальных климатических условий, что повышает стабилизацию и выравнивание скорости травления фольговых тензорезисторов, уменьшает разброс номиналов тензорезисторов (уменьшает разброс по сопротивлению рабочего поля фольги) за счет повышения точности формирования геометрических размеров тензорезисторов и сокращает затраты на изготовление тензорезисторов из фольги типа МНМц 40-1,5 за счет сокращения брака продукции.

Источники информации

1. СССР, А.С. № 1633776, МПК G 01 В 7/20, опубл. 1964.

2. СССР, А.С. № 905629, МПК G 01 В 7/20, опубл. 15.02.82, бюл.6.

3. Липкин Я.Н., Бершадская Т.М. Химическое полирование металлов. М., "Машиностроение", 1988 (с.42-43).

Похожие патенты RU2247937C1

название год авторы номер документа
Способ изготовления фольгового тензорезистора 1978
  • Этингоф Мирра Иосифовна
  • Шур Дмитрий Маркович
  • Щербатых Софья Дмитриевна
SU905629A1
Способ изготовления фольговых тензорезисторов 1978
  • Гордеева Фаина Александровна
  • Николаева Светлана Алексеевна
SU712651A1
Способ растворения медной фольги печатной платы 1976
  • Егоров Антон Ильич
SU626487A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ 1971
  • В. П. Шведов, Ю. М. Базжин, С. О. Львович, Н. В. Зотова В. А. Иванова
SU316922A1
Способ определения остаточных напряжений в поверхностном слое изделий 1990
  • Николаевич Алексей Федорович
  • Мийлен Эдуард Арнольдович
  • Фомичева Ирина Васильевна
  • Моценят Борис Зиновьевич
SU1783357A1
Способ изготовления металлических сеток 1957
  • Боголюбская Н.В.
  • Болотинский Г.М.
  • Котик Р.А.
  • Кубацкая М.М.
  • Лапатухин В.С.
  • Ляховская Н.П.
  • Сафонова В.А.
  • Солохина В.Г.
SU122390A1
СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ СОЛЯНОЙ КИСЛОТЫ ИЗ ОТРАБОТАННЫХ ТРАВИЛЬНЫХ РАСТВОРОВ 1994
  • Поворов А.А.
  • Павлова В.Ф.
  • Ерохина Л.В.
RU2061102C1
ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИЙ СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ ТРАВИЛЬНЫХ РАСТВОРОВ НА ОСНОВЕ ХЛОРИДОВ ЖЕЛЕЗА 2000
  • Моисеева Т.Ф.
  • Самойленко Ю.А.
  • Глазунова З.С.
RU2180693C2
Способ изготовления фольговой трафаретной печатной формы для формирования электроизоляционных прокладок на печатных платах 1989
  • Керенцев Виктор Анатольевич
SU1708643A1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЖЕЛЕЗОСОДЕРЖАЩЕГО КОАГУЛЯНТА 2010
  • Винникова Ольга Станиславна
  • Лукашов Сергей Викторович
  • Пашаян Арарат Александрович
RU2424195C1

Реферат патента 2005 года СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам изготовления фольговых тензорезисторов. Способ изготовления фольговых тензорезисторов включает соединение фольги с изоляционной основой посредством клея, нанесение на фольгу светочувствительной эмали, копирование рисунка, проявление рисунка, приварку выводов, травление фольги в растворе хлорного железа FeCl3, приготовленного путем строго последовательного введения в водный раствор азотнокислого натрия NaNO3 водного раствора водорастворимого органического полимера и водного раствора хлорного железа FeCl3 плотностью 1,4-1,42 г/см3. Травление в растворе, приготовленном таким образом, производится при температуре нормальных климатических условий, что повышает стабилизацию и выравнивание скорости травления обрабатываемой поверхности, уменьшает разброс номиналов тензорезисторов (уменьшает разброс по сопротивлению рабочего поля фольги) за счет повышения точности формирования геометрических размеров, сокращает затраты на изготовление тензорезисторов из фольги типа МНМц 40-1,5 за счет уменьшения брака и снижения энергозатрат.

Формула изобретения RU 2 247 937 C1

Способ изготовления фольговых тензорезисторов, включающий соединение фольги с изоляционной основой посредством клея, нанесение на фольгу светочувствительной эмали, копирование рисунка, проявление рисунка, травление фольги в растворе хлорного железа и приварку выводов, отличающийся тем, что в качестве травильного раствора используют раствор на основе хлорного железа FeCl3, приготовленного строго последовательным введением в 5% водный раствор азотнокислого натрия NаNО3 10% водного раствора водорастворимого органического полимера и водного раствора хлорного железа FеСl3 плотностью 1,4÷1,42 г/см3 в соотношении:

NaNO3 (5% водный раствор) 180÷220 мл

Водорастворимый органический полимер

(10% водный раствор) 1,8÷2,2 мл

FеСl3 (водный раствор γ=1,4÷1,42 г/ см3) 108÷132 мл

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2005 года RU2247937C1

Способ изготовления фольгового тензорезистора 1978
  • Этингоф Мирра Иосифовна
  • Шур Дмитрий Маркович
  • Щербатых Софья Дмитриевна
SU905629A1
ФОЛЬГОВЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОР 1992
  • Володин Николай Михайлович
RU2029228C1
DE 3421482, 12.12.1985
US 5101669 А, 04.04.1992
US 4769598 A, 06.09.1988.

RU 2 247 937 C1

Авторы

Мокров Е.А.

Кулакова Л.В.

Тарасов М.Ю.

Даты

2005-03-10Публикация

2003-09-04Подача