ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОРНЫЙ МИКРОФОН ЗВУКОВОГО ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО СБОРКИ Российский патент 2008 года по МПК G01L9/12 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения звукового давления в авиационной технике, машиностроении, в любой отрасли народного хозяйства (без ограничений).

Известна упрощенная конструкция измерительного конденсаторного микрофона, содержащего неподвижный электрод (задний электрод), мембрану, держатель. Мембрана отклоняется под действием давления. При этом возможны два основных случая:

1. Отклонение тонкой мембраны с пренебрежимо малой жесткостью на изгиб.

2. Отклонение защемленной мембраны с толщиной, значительно меньшей размера диаметра, но обладающей значительной жесткостью на изгиб.

Для изготовления измерительных конденсаторных микрофонов предусмотрено дополнительное устройство.

Это устройство состоит из тонкой пластины круглой формы, закрепленной по периферии, зажимной кольцевой гайки, скрепляющих колец и колец, припаиваемых к мембране и натягивающих последнюю. Измерительный конденсаторный микрофон позволяет измерять статическое и динамическое давление на поверхности исследуемого объекта [Г.П.Нуберт. Измерительные преобразователи неэлектрических величин. Л.: Энергия. 1978, 368 с. §3-4. Чувствительные элементы датчиков давления, стр.51-56, рис.3-19. §§4.4 Емкостные преобразователи, стр.255-259, рисунок 4-124; 4-125].

Недостатки этого устройства заключаются в том, что оно имеет высокую стоимость, низкую надежность за счет сложности сборки и натяга мембраны конденсаторного микрофона.

Известен способ изготовления измерительных конденсаторных микрофонов (ИКМ). Надежное крепление обеспечивают путем зажатия мембраны двумя наружными кольцами во внутренней кольцеобразной гайке с V-образным торцом, который при ввинчивании входит в соответствующий V-образный торец большого кольца, что обеспечивает равномерное натяжение мембраны ИКМ. Измеряемым параметром является перемещение центра мембраны при воздействии на нее давления.

Такое решение обеспечивает измерение давления на поверхности исследуемого объекта путем дополнительной механической обработки поверхности изделий для крепления ИКМ (Г.П.Нуберт. Измерительные преобразователи неэлектрических величин. Л.: Энергия. 1970, 360. §3-4. Чувствительные элементы датчиков давления, стр.51-56, рис.3-19).

Недостатком способа изготовления ИКМ является то, что при сварке, пайке или наклейке действительное натяжение готовой мембраны может значительно отличаться от первоначального напряжения в оправке, вследствие чего получается большое количество брака. Такой способ крепления мембраны ИКМ является неэкономичным, получается большое количество отходов от материала металлической пленки мембраны.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению техническим решением является ИКМ, предназначенный для точных измерений звукового давления. ИКМ содержит защитную сетку, заднюю пластинку (задний электрод) с прорезью (является в одно и то же время второй обкладкой конденсатора и средством для демпфирования основного резонансного пика диафрагмы), маленькие отверстия (опорные или капиллярные отверстия), предназначенные для выравнивания статического давления, положительный электрод (токосъемный вывод), зажимную гайку (вторую контргайку), изолирующее зажимное кольцо (первое кольцо-изолятор), стеклянный изолятор (второе кольцо-изолятор), шпонку, регулятор напряжения диафрагмы (мембраны) и опору задней пластинки (задний электрод), диафрагму (мембрану). Изолятор изготовлен из синтетического сапфира или рубина. Часть конструкции за мембраной из нержавеющей стали (которая является корпусом ИКМ) используется для подавления первого резонанса, который возникает около 7000 Гц. Движение мембраны вызывает перемещение воздуха в прорезях заднего электрода. Чувствительность является функцией статического (атмосферного) давления и температуры. Расстояние между мембраной и задним электродом устанавливают с помощью винта. Мембрана, корпус и задний электрод из чистого никеля эффективно уменьшают зависимость чувствительности ИКМ от температуры. В сборке защитная сетка со всеми указанными деталями образует ИКМ.

Такой ИКМ позволяет измерять звуковое давление (относительное 2·10^-5 Па) от нескольких десятков дБ и больше без ограничения в диапазоне звуковых частот (Л.Беранек. Акустические измерения. Из-во И*Л.-М.: 1952, стр.127. Конденсаторные микрофоны, фиг.114).

Недостаток этого ИКМ связан со сложностью изготовления и натягивания мембраны, из-за чего в процессе изготовления количество бракованных ИКМ больше. Этот производственный недостаток и изготовление заднего электрода и корпуса из высоконикелеевого сплава увеличивает себестоимость ИКМ.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению техническим решением является способ сборки ИКМ для измерения звукового давления. Мембрану, задний электрод и регулятор натяжения мембраны изготавливают в отдельности, затем натягивают мембрану на корпус ИКМ и устанавливают расстояние между мембраной и задним электродом регулятором натяжения мембраны. Защитную сетку, корпус и регулятор натяжения мембраны изготавливают из нержавейки и при сборке обеспечивают электрический контакт между ними. Задний электрод электрически изолируют от корпуса и тоже изготавливают из нержавейки.

В процессе производства ИКМ подвергают воздействию высокой температуры (150°C) и искусственному старению для обеспечения долговременной стабильности технических параметров.

Статическое давление за мембраной выравнивают для достижения возможно точного определенного нижнего предела рабочего частотного диапазона.

Такой способ сборки ИКМ позволяет с высокой точностью измерить звуковое давление без ограничения диапазона давления и частоты в нормальных и экстремальных условиях (каталог фирмы Брюль и Къер любого года издания, например 1983/84 и т.д., в разделе конденсаторные микрофоны).

Недостатки способа сборки ИКМ: сложная технология натяжения мембраны, изготовления заднего электрода, обеспечения необходимого расстояния между мембраной и задним электродом (обкладки) и высокая себестоимость ИКМ.

Задачей настоящего изобретения является снижение себестоимости ИКМ за счет упрощения конструкции и технологии сборки ИКМ, благодаря использованию в конструкции ИКМ конструкции, технологии и сборки ЕЧЭ пульсаций давления.

1. Технический результат достигается тем, что в измерительном конденсаторном микрофоне звукового давления, состоящем из защитной сетки, мембраны, опорных отверстий для выравнивания статического давления, заднего электрода с опорными отверстиями, изолирующего зажимного кольца, корпуса, токосъемного вывода со штырьком, гайки, контргайки, в нем нижняя поверхность или обе поверхности мембраны покрыты диэлектрической пленкой, между нижней поверхностью диэлектрической пленки и задним электродом расположено кольцо из диэлектрика, на нижней поверхности заднего электрода расположена еще одна диэлектрическая пленка, на нижней поверхности которой сформирован экран, перечисленные элементы образуют емкостной чувствительный элемент, который со стороны экрана установлен на поверхности жесткого диска из диэлектрика, на жестком диске выполнены опорные отверстия, соосные опорным отверстиям на поверхности экрана и заднего электрода, причем отношение наружного диаметра мембраны к наружному диаметру заднего электрода составляет 1,08÷1,16, отношение диаметра опорных отверстий на поверхности жесткого диска к диаметру опорных отверстий на поверхности экрана из диэлектрика 1,20÷1,30, а отношение диаметра опорных отверстий на поверхности экрана к диаметру опорных отверстий на поверхности заднего электрода - 1,08÷1,16.

2. Технический результат также достигается тем, что в способе сборки измерительного конденсаторного микрофона, в котором натягивают мембрану и закрепляют на поверхности корпуса, фиксируют расстояние между мембраной и задним электродом, который изолируют от корпуса, а в нем выполняют опорные отверстия для обеспечения связи в объеме измерительного конденсаторного микрофона с атмосферой, мембрану, корпус и симметричную защитную сетку электрически соединяют между собой, затем микрофон в сборе подвергают термическому старению при температуре 150°C и определяют его метрологические характеристики, в нем мембрану покрывают диэлектрической пленкой, скрепляют с экраном и еще одной диэлектрической пленкой последовательно с кольцом из диэлектрика, мембрана с диэлектрической пленкой, кольцо из диэлектрика, задний электрод с опорными отверстиями, экран с диэлектрической пленкой и выполненными в них отверстиями образуют пакет емкостного чувствительного элемента, все слои пакета емкостного чувствительного элемента между собой и емкостной чувствительный элемент с корпусом измерительного конденсаторного микрофона скрепляют клеем на эпоксидно-каучуковой основе, выдерживают под давлением 30-35 кг/см² при 160-180°С и продолжительности выдержки 50-60 мин, охлаждают собранный пакет до 30-50°C, разбирают и сортируют, затем собранный пакет емкостного чувствительного элемента располагают на жестком диске из диэлектрика, обеспечивают равномерное натяжение мембраны, которую электрически соединяют с экраном, пакет емкостного чувствительного элемента и жесткий диск между собой скрепляют клеем в двух-трех точках, клей на поверхности жесткого диска выдерживают при температуре 50-60°C в течение 4-6 мин и при 60-70°C - 5 мин, затем повышают температуру до 140-150°C в течение 4-6 мин, охлаждают до 30-50°C и пакет прижимают к жесткому диску по периметру наружного диаметра мембраны, затем последовательно внутри корпуса измерительного конденсаторного микрофона размещают пакет емкостного чувствительного элемента с жестким диском, токосъемный вывод со штырьком, изолятор вывода, гайку, контргайку, причем после сборки измерительного конденсаторного микрофона его подвергают температурному старению от 160 до 180°C продолжительностью 60-90 мин; от 180 до 200°C - 30-60 мин и задают звуковое давление в 1,2-1,5 раза больше номинального продолжительностью 10-20 мин с интервалом 5 мин, с числом циклов не менее 10.

На фиг.1 и 2 изображены конструкции пакета емкостного чувствительного элемента (ЕЧЭ) и ИКМ в разрезе соответственно.

Пакет ЕЧЭ содержит основание, состоящее из экрана 1, диэлектрической пленки 2 и заднего электрода (ответной обкладки) 3, а также кольцо из диэлектрика 4, две диэлектрические пленки 5, мембрану 6 из высококачественного сплава, с обеих сторон покрытую диэлектрическими пленками (сеч. А-А фиг.1). В заднем электроде 3 и диэлектрической пленке 2 выполнены восемь соосных опорных отверстий 7 диаметром d, а на экране 1 соосно с отверстиями диаметром d выполнены продолжения отверстий d диаметром d1. Число опорных отверстий для поддержки связи с объемом капсюля от 6 до 12 шт. (сеч. Б-Б фиг.1). Слои пакета скреплены между собой клеем. Мембрана 6 с одной стороны (на нижней поверхности) или с обеих сторон покрыта диэлектрическими пленками 5, в частности пленки 5 формируют из полиамидокислотного лака толщиной 3-10 мкм. Металлическая пленка от 5 до 50 мкм, покрытая с обеих сторон диэлектрической пленкой, становится эластичной, технологически удобной в обращении и обеспечивает хорошую изоляцию между мембраной, средой и задним электродом.

На фиг.2 конструкция ИКМ содержит пакет ЕЧЭ 8, жесткий диск 9, токосъемный вывод 10, изолирующее зажимное кольцо 11, гайку 12, корпус 13, контргайку 14, защитную сетку (крышку) 15, опорные отверстия 16, штырек 17 и проводник 18. Пакет ЕЧЭ расположен на жестком диске 9 из диэлектрика. На диске 9 выполнены опорные отверстия диаметром d2 в количестве от 6 до 12 шт. Диаметр отверстия d2 больше диаметра отверстия d1 на поверхности экрана 1 в 1,2-1,3 раза (см. фиг.1). Изолирующее зажимное кольцо 11 упирается в корпус 13. Токосъемный вывод 10 проходит сквозь изолирующее зажимное кольцо 11, на конце размещен штырек 17. Объем ИКМ поддерживает связь с атмосферой капиллярными (опорными) отверстиями 16. Защитная сетка 15 диаметром D (с отверстиями не менее 25 шт. диаметром 0,6 мм) защищает мембрану 6 (фиг.1) от внешних воздействий. Изолирующее зажимное кольцо изготовлено из синтетического сапфира или из рубина, т.е. из материалов, гарантирующих прочность и стабильность конструкции ИКМ. Мембрана 6 и задний электрод 3 (фиг.1) из никеля или из других высококачественных сплавов, используемых в конструкции тензометрических преобразователей, выгодно уменьшают зависимость чувствительности ИКМ от температуры. Мембрана 6, экран 1 фиг.1 и корпус 13 (фиг.2) электрически соединены между собой путем обычной пайки или клея или силой прижима симметричной защитной сетки 15. Как видно из фиг.2, защитная сетка 15 имеет механическую и электрическую связь с корпусом. Задний электрод 3 (фиг.1) электрически соединен с токосъемным выводом 10 через проводник 18 путем пайки или сварки. ИКМ поляризуют напряжением постоянного тока 200 В. Напряжение поляризации соединяет мембрану ЕЧЭ. Положительный заряд образуется на мембране 6, отрицательный на корпусе 13.

Чтобы обеспечить хорошую изоляцию между токоведущими частями (экрана и мембраны с задним электродом, заднего электрода с корпусом и т.д.) и с корпусом, отношение диаметра D1 мембраны 6 и экрана 1 к диаметру D2 заднего электрода 3 (фиг.1) выбирают как: 1,08-1,16. При этих условиях и причинах отношение диаметров опорных отверстий d1 на экране к диаметрам опорных отверстий на заднем электроде d (фиг.1) выбирают 1,08-1,16. Чтобы облегчить сборку ИКМ и обеспечить связь полости за мембраной с атмосферой, отношение диаметра d2 опорного отверстия жесткого диска 9 (фиг.2) к диаметру опорного отверстия d1 (фиг.2) выбирают равным 1,2-1,3. Диаметр опорного отверстия 16 на корпусе 13, с помощью которого поддерживается связь объема за мембраной с атмосферой, выбирают равным 0,2-0,6 мм. Опорные отверстия, расположенные по диаметру D3, не должны перекрываться пленками кольца из диэлектрика 4 (фиг.1). Симметричное расположение опорных отверстий на основании ЕЧЭ обеспечивает равномерный прогиб мембраны. Выравнивание статического давления за мембраной необходимо для достижения возможно точного определения нижнего диапазона рабочей частоты. Наличие воздушного слоя, в зависимости от условия работы мембраны, позволяет внести в режим работы мембраны добавочное затухание или добавочную упругость. Наличие опорных отверстий при изменении звуковой частоты в широком диапазоне, влияние инерции воздуха, влияние внутреннего трения мембраны и т.д., одинаково и незначительно изменяют акустическое сопротивление ИКМ.

Известно, что чувствительность ИКМ с малым воздушным зазором δ между мембраной и задним электродом (фиг.1) не зависит от δ, если внешняя шунтирующая емкость пренебрежимо мала по сравнению с емкостью ЕЧЭ. Это приводит к аннулированию эффекта возрастания жесткости воздушной подушки, когда зазор уменьшается и наоборот. Опорные отверстия на заднем электроде улучшают чувствительность ИКМ в двадцать раз (Г.П.Нуберт. Измерительные преобразователи неэлектрических величин, ст.257-258. Л.: Энергия, 1970).

Внешние размеры ИКМ - высота Н и диаметр D должны соответствовать требованиям конденсаторных микрофонов (по IEC 1094-1) и (ГОСТ 13761-73), возможности установки, т.е. замена ИКМ на зарубежные аналогичные ИКМ. Согласно ГОСТ 13761-73 для измерения звукового давления 154 дБ в диапазоне частот от 20 Гц до 40 кГц, внешний диаметр капсюля без защитной сетки 12,70±0,03 мм и с защитной сеткой ≈13,20±0,03 мм, высота Н≈14,1±0,03 мм.

Принцип работы ИКМ. При изменении звукового давления ΔР изменяется расстояние между мембраной 6 и задним электродом 3. В результате прогиба мембраны относительно жесткого диска 9 изменяется начальная емкость С, приращение емкости ΔС и относительное изменение емкости. При сопротивлении ИКМ в порядке 20 МОм заряд на ИКМ остается постоянным, при условии, что частота соответствует звуковому диапазону и не менее 20 Гц. Напряжение на ИКМ падает, так как оно равно заряду, деленному на емкость С. Напряжение поляризации подают на мембрану 6. Напряжение на выходе ИКМ, пропорциональное приращению и напряжению поляризации, измеряют между штырьком 17 и корпусом 13.

Сборку ИКМ осуществляют следующим образом.

Первый этап. Путем фотолитографии на поверхностях основания ЕЧЭ формируют экран 1, задний электрод 3, отмечают расположение опорных отверстий диаметрами d, d1 и положение заднего электрода 3 диаметром D2. Затем высверливают опорные отверстия размером d. Независимо от процесса фотолитографии одновременно изготавливают кольцо из диэлектрика 4 и покрывают мембрану 6 диэлектрической пленкой 5. Затем собирают пакет, нанося между соответствующих слоев тонкие слои клея на эпоксидно-каучуковой основе.

Второй этап. Сформированный пакет выдерживают под давлением 30-35 кг/см² при 160-180°C продолжительностью 50-60 мин, охлаждают собранный пакет до 30-50°C и разбирают.

Третий этап. Проверяют работоспособность пакета ЕЧЭ ИКМ под воздействием звукового давления, в частности чувствительность и электрическую прочность.

Четвертый этап. Одновременно при сборке пакета ЕЧЭ изготавливают остальные детали ИКМ, т.е. защитную сетку 15, корпус 13, гайку 12, контргайку 14 и т.д. ЕЧЭ 8 на жестком диске из диэлектрика 9 укрепляют следующим образом: на поверхности диска в 2-3 точках диаметром 1,0-1,5 мм наносят липкий клей, например марки ГИПК-22-35. Затем клей на поверхности диска выдерживают при температуре 50-60°С в течение 4-6 мин; и при 60-70°C - 3-5 мин; затем повышают температуру до 140-150°C в течение 4-6 мин, охлаждают до 30-50°C и собранный ЕЧЭ приклеивают на поверхности жесткого диска. При этом обеспечивают условие соосности опорных отверстий на ЕЧЭ диаметром d1 и опорных отверстий на жестком диске диаметром d2. ЕЧЭ прижимают к жесткому диску вручную по периметру наружного диаметра мембраны. Такая термическая обработка клея на поверхности жесткого диска удаляет эмидные воды из клея и повышает адгезию между ЕЧЭ и жестким диском.

Пятый этап. Токосъемный вывод 10 оснащают штырьком 17. Штырек 17 до установления в ИКМ, в вакууме (или способом электролиза) покрывают серебром или золотом. Таким образом обеспечивают надежный контакт с внешней электрической цепью. Опорные отверстия с диаметром d1 на экране 1 (фиг.1) соосны с опорным отверстием диаметром d2 на поверхности диэлектрического диска 9.

Шестой этап. Сборку ИКМ осуществляют следующим образом: к диску 9 крепят токосъемный вывод 10 с изолирующим зажимным кольцом 11, затем ЕЧЭ 8. Собранный узел вставляют до упора в изолирующее зажимное кольцо 11 и через проводник 18 соединяют с токосъемным выводом 10. Затем изолирующее зажимное кольцо 11 вставляют в корпус 13 и прижимают гайкой 12 и контргайкой 14. Экран 1, мембрана 6 и корпус 13 электрически и механически соединены между собой. Защитную сетку 15 с мембраной соединяют через пайку П (фиг.2), тем самым мембрана ЕЧЭ и экран образуют надежный электрический контакт с корпусом и заодно образуют зазор h между поверхностью мембраны 6 и симметричной защитной сеткой 15.

Седьмой этап. Для упрочнения и установления основных метрологических характеристик собранный ИКМ подключают к любому акустическому измерительному стенду отечественного или зарубежного производства. При этом до установления метрологических характеристик ИКМ подвергают термическому старению в следующих режимах: диапазон температуры от 160 до 180°C при продолжительности 60-90 мин; от 180°C до 200°C - 30-60 мин. При этом наиболее критичным параметром до и после тренировки выбирают ток покоя (холостого хода) ИКМ. После термического старения ИКМ его подвергают воздействию звукового давления больше номинального значения в 1,2-1,5 раза продолжительностью 10-20 мин с интервалом 3-5 мин, число таких циклов не менее 10. Критичным параметром в этом случае выбран коэффициент преобразования ИКМ.

Восьмой этап. После тренировки ИКМ согласно ГОСТу 13751-73 определяют и сертифицируют необходимые метрологические характеристики.

С этой целью в ЦАГИ были изготовлены более 10 шт. ЕЧЭ с наружным диаметром 10 мм, мембраной толщиной 10 мкм из FeNi сплава. Поверхности мембран в первом варианте были покрыты с одной стороны и во втором варианте с двух сторон полиамидокислотным лаком. Число опорных отверстий на заднем электроде от одного до 4 шт. Нелинейность амплитудной (градуировочной) характеристик не превышала от 1,2 до 1,6%. С увеличением числа опорных отверстий от одного до четырех резко снижалась сопротивляемость воздуха за мембраной. Почти в два раза увеличивался коэффициент преобразования ИКМ. На мембрану задавали звуковое давление от 74 до 110 дБ. Напряжение поляризации при проверке ЕЧЭ на аппаратуре ЦАГИ 100 В.

ЕЧЭ был смонтирован внутри ИКМ фирмы Брюль и Къер. Давление на ИКМ задавали из двух пистонфонов уровней звукового давления 118 и 124 дБ с частотой 250 и 1000 Гц, при напряжении поляризации 200 В. Полученные спектральные характеристики сравнимы со спектральными характеристиками, снятыми на конденсаторном микрофоне Брюль и Къер.

Кольцо между мембраной и ответным электродом было выполнено из полиимидной пленки толщиной 20 мкм. Были использованы клеи марки ГИПК-22-35, САФ на эпоксидно-каучуковой основе. Ранее также было определено влияние теплового удара, старение и перегрузка под давлением ЕЧЭ.

После подобных тренировок при температуре +50°C при длительном режиме работы чувствительность ИКМ изменяется примерно на 2-3%.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения звукового давления в авиационной технике, машиностроении, в любой отрасли народного хозяйства. Измерительный конденсаторный микрофон (ИКМ) состоит из пакета емкостных чувствительных элементов (ЕЧЭ). ЕЧЭ содержит мембрану, ответный задний электрод, который от экрана изолирован диэлектрической пленкой. Между экраном и задним электродом расположено кольцо из диэлектрика. Полость за мембраной связана с объемом капсюля опорными отверстиями. Собранный пакет скрепляют клеем с жестким диском в локальных точках. Мембрана, экран, корпус, жесткий диск из металла, на который опирается ЕЧЭ, и симметричная защитная сетка связаны между собой. Сигнал снимают с заднего электрода через одноштырьковый разъем. Пакет ЕЧЭ формируют, слои между собой скрепляют клеем, выдерживают под давлением 30-35 кг/см² при 160-170°С и продолжительности выдержки 50-60 мин. Выдерживают ИКМ под воздействием температуры 170-200°С несколько десятков минут. Задают звуковое давление больше номинального в 1,2-1,5 раза. ИКМ предназначен для измерения звукового давления и отвечает установленным требованиям. Техническим результатом изобретения является снижение себестоимости ИКМ за счет упрощения конструкции и технологии сборки ИКМ. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

1. Измерительный конденсаторный микрофон звукового давления, состоящий из защитной сетки, мембраны, опорных отверстий для выравнивания статического давления, заднего электрода с опорными отверстиями, изолирующего зажимного кольца, корпуса, токосъемного вывода со штырьком, гайки, контргайки, отличающийся тем, что нижняя поверхность или обе поверхности мембраны покрыты диэлектрической пленкой, между нижней поверхностью диэлектрической пленки и задним электродом расположено кольцо из диэлектрика, на нижней поверхности заднего электрода расположена еще одна диэлектрическая пленка, на нижней поверхности которой сформирован экран, перечисленные элементы образуют емкостной чувствительный элемент, который со стороны экрана установлен на поверхности жесткого диска из диэлектрика, на жестком диске выполнены опорные отверстия, соосные опорным отверстиям на поверхности экрана и заднего электрода, причем отношение наружного диаметра мембраны к диаметру заднего электрода составляет 1,08÷1,16, отношение диаметра опорных отверстий на поверхности жесткого диска к диаметру опорных отверстий на поверхности экрана из диэлектрика - 1,20÷1,30, а отношение диаметра опорных отверстий на поверхности экрана к диаметру опорных отверстий на поверхности заднего электрода - 1,08÷1,16.2. Способ сборки измерительного конденсаторного микрофона, в котором натягивают мембрану и закрепляют на поверхности корпуса, фиксируют расстояние между мембраной и задним электродом, который изолируют от корпуса, а в нем выполняют опорные отверстия для обеспечения связи в объеме измерительного конденсаторного микрофона с атмосферой, мембрану, корпус и симметричную защитную сетку электрически соединяют между собой, затем микрофон в сборе подвергают термическому старению при температуре 150°С и определяют его метрологические характеристики, отличающийся тем, что мембрану покрывают диэлектрической пленкой, скрепляют с экраном и еще одной диэлектрической пленкой последовательно с кольцом из диэлектрика, мембрана с диэлектрической пленкой, кольцо из диэлектрика, задний электрод с опорными отверстиями, экран с диэлектрической пленкой и выполненными в них отверстиями образуют пакет емкостного чувствительного элемента, все слои пакета емкостного чувствительного элемента скрепляют между собой, а также емкостной чувствительный элемент с корпусом измерительного конденсаторного микрофона скрепляют клеем на эпоксидно-каучуковой основе, выдерживают под давлением 30-35 кг/см² при 160-180°С и продолжительности выдержки 50-60 мин, охлаждают собранный пакет до 30-50°С, разбирают его и сортируют, затем собранный пакет емкостного чувствительного элемента располагают на жестком диске из диэлектрика, обеспечивают равномерное натяжение мембраны, которую электрически соединяют с экраном, пакет емкостного чувствительного элемента и жесткий диск между собой скрепляют клеем в двух-трех точках, клей на поверхности жесткого диска выдерживают при температуре 50-60°С в течение 4-6 мин и при 60-70°С 3-5 мин, затем повышают температуру до 140-150°С в течение 4-6 мин, охлаждают до 30-50°С и пакет прижимают к жесткому диску по периметру наружного диаметра мембраны, затем последовательно внутри корпуса измерительного конденсаторного микрофона размещают пакет емкостного чувствительного элемента с жестким диском, токосъемный вывод со штырьком, изолятор вывода, гайку, контргайку, причем после сборки измерительного конденсаторного микрофона его подвергают температурному старению от 160 до 180°С продолжительностью 60-90 мин; от 180 до 200°С - 30-60 мин и задают звуковое давление в 1,2-1,5 раза больше номинального продолжительностью 10-20 мин с интервалом 5 мин и числом циклов не менее 10.