АМОРФНЫЙ ОКСИД И ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ Российский патент 2009 года по МПК H01L29/786 

Описание патента на изобретение RU2369940C2

Текст описания приведен в факсимильном виде.

Похожие патенты RU2369940C2

название год авторы номер документа
АМОРФНЫЙ ОКСИД И ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ 2008
  • Сано Масафуми
  • Накагава Кацуми
  • Хосоно Хидео
  • Камия Тосио
  • Номура Кендзи
RU2402106C2
АМОРФНЫЙ ОКСИД И ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ 2008
  • Сано Масафуми
  • Накагава Кацуми
  • Хосоно Хидео
  • Камия Тосио
  • Номура Кендзи
RU2399989C2
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР 2005
  • Сано Масафуми
  • Накагава Кацуми
  • Хосоно Хидео
  • Камия Тосио
  • Номура Кендзи
RU2358355C2
СВЕТОИЗЛУЧАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО 2005
  • Ден Тору
  • Ивасаки Тацуя
  • Хосоно Хидео
  • Камия Тосио
  • Номура Кендзи
RU2358354C2
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР, ИСПОЛЬЗУЮЩИЙ ОКСИДНУЮ ПЛЕНКУ ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ИНФОРМАЦИИ, И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2007
  • Ивасаки Тацуя
  • Кумоми Хидея
RU2400865C2
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА 2014
  • Мацумото Синдзи
  • Уеда Наоюки
  • Накамура Юки
  • Такада Микико
  • Соне Юдзи
  • Саотоме Риоити
  • Арае Саданори
  • Абе Юкико
RU2631405C2
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР 2006
  • Аиба Тосиаки
  • Сано Масафуми
  • Кадзи Нобуюки
RU2390072C2
ОКСИДНЫЙ ПОЛУПРОВОДНИК Р-ТИПА, КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ОКСИДНОГО ПОЛУПРОВОДНИКА Р-ТИПА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОКСИДНОГО ПОЛУПРОВОДНИКА Р-ТИПА, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ КОМПОНЕНТ, ОТОБРАЖАЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ, УСТРОЙСТВО ОТОБРАЖЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ И СИСТЕМА 2014
  • Абе Юкико
  • Уеда Наоюки
  • Накамура Юки
  • Мацумото Синдзи
  • Соне Юдзи
  • Саотоме Риоити
  • Арае Саданори
RU2660407C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА 2017
  • Мацумото Синдзи
  • Уеда Наоюки
  • Накамура Юки
  • Абе Юкико
  • Соне Юдзи
  • Саотоме Риоити
  • Арае Саданори
  • Кусаянаги Минехиде
RU2706296C1
МОЩНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР СВЧ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЕ 2021
  • Пашковский Андрей Борисович
  • Лапин Владимир Григорьевич
  • Лукашин Владимир Михайлович
  • Маковецкая Алена Александровна
  • Богданов Сергей Александрович
  • Терешкин Евгений Валентинович
  • Журавлев Константин Сергеевич
RU2781044C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 369 940 C2

Реферат патента 2009 года АМОРФНЫЙ ОКСИД И ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ

Изобретение относится к аморфному оксиду, применяемому в активном слое полевого транзистора. Сущность изобретения: аморфный оксид, содержащий по меньшей мере один микрокристалл и имеющий концентрацию электронных носителей в пределах от 1012/см3 до 1018/см3, содержит, по меньшей мере, один элемент, выбранный из группы, состоящей из In, Zn и Sn, и граница раздела зерен упомянутого по меньшей мере одного микрокристалла покрыта аморфной структурой. Техническим результатом изобретения является получение аморфного оксида, который функционирует как полупроводник для использования его в активном слое тонкопленочного транзистора. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 8 ил.

Формула изобретения RU 2 369 940 C2

1. Аморфный оксид, содержащий по меньшей мере один микрокристалл и имеющий концентрацию электронных носителей в пределах от 1012/см3 до 1018/см3, причем упомянутый аморфный оксид содержит, по меньшей мере, один элемент, выбранный из группы, состоящей из In, Zn и Sn, и граница раздела зерен упомянутого по меньшей мере одного микрокристалла покрыта аморфной структурой.

2. Аморфный оксид по п.1, в котором аморфный оксид выбирают из группы, состоящей из: оксида, содержащего In, Zn и Sn; оксида, содержащего In и Zn; оксида, содержащего In и Sn; и оксида, содержащего In.

3. Аморфный оксид по п.1, содержащий In, Ga и Zn.

4. Аморфный оксид по п.1, в котором подвижность электронов увеличивается с увеличением концентрации электронных носителей.

5. Полевой транзистор, содержащий активный слой из аморфного оксида, содержащего по меньшей мере один микрокристалл и электрод затвора, сформированный таким образом, что он обращен к активному слою через изолятор затвора, причем упомянутый аморфный оксид содержит, по меньшей мере, один элемент, выбранный из группы, состоящей из In, Zn и Sn, и граница раздела зерен упомянутого по меньшей мере одного микрокристалла покрыта аморфной структурой.

6. Полевой транзистор по п.5, причем транзистор представляет собой транзистор нормально выключенного типа.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2009 года RU2369940C2

Способ и приспособление для нагревания хлебопекарных камер 1923
  • Иссерлис И.Л.
SU2003A1
JP 2000044236 A, 15.02.2000
J.R.BILLINGHAM et all, Electrical and optical properties of amorfous indium oxide
J
Phys
Condens
Matter
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ МАТРИЦ ЖИДКОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭКРАНОВ 1994
  • Казуров Б.И.
  • Сулимин А.Д.
  • Шишко В.А.
  • Приходько Е.Л.
RU2069417C1
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР 1999
  • Берггрен Рольф Магнус
  • Густафссон Бенгт Йеран
  • Карльссон Йохан Рогер Аксель
RU2189665C2

RU 2 369 940 C2

Авторы

Сано Масафуми

Накагава Кацуми

Хосоно Хидео

Камия Тосио

Номура Кендзи

Даты

2009-10-10Публикация

2005-11-09Подача