Способ повышения надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных интегральных схем Российский патент 2019 года по МПК G01R31/303 

Описание патента на изобретение RU2684943C1

Область техники

Изобретение относится к способу повышения надежности и качества функционирования партии полупроводниковых монолитных и гибридных интегральных схем (ИС) в заданных условиях эксплуатации.

Уровень техники

Из уровня техники известен способ повышения надежности наноэлектронного резонансно-туннельного диода (РТД) на основе многослойных AlGaAs (алюминий, галлий, арсеникум) полупроводниковых гетероструктур путем определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям (см. RU 2606174 С1, кл. G01R 31/28, 10.01.2017).

Сущность известного изобретения заключается в последовательном приложении циклов радиационных воздействий на партию РТД, доза которых постепенно накапливается в каждом цикле, и температурных воздействий, время воздействия которых увеличивается с тем, чтобы получить вызванные ими изменения вольт - амперной характеристики (ВАХ) в рабочей области не менее чем на порядок больше погрешности измерения, в определении количества циклов радиационных и температурных воздействий путем установления ВАХ, соответствующей параметрическому отказу для конкретного применения РТД, в построении семейства ВАХ, в определении на основе анализа кинетики ВАХ скорости деградации РТД и в определении стойкости к радиационным и температурным воздействиям РТД на основе скорости деградации РТД. Технический результат - повышение надежности путем определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям наноэлектронного резонансно-туннельного диода.

Недостатком известного способа являются ограниченность применения.

Наиболее близким аналогом (прототипом) является способ повышения надежности полупроводниковых монолитных и гибридных интегральных схем путем искусственного старения, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и, как следствие, изменение их информативных параметров (см. US 2014/088947, кл. G01R 31/26, 27.03.2014).

В известном способе осуществляют ускоренное стресс-тестирование. Способ осуществляют с помощью встроенного в микросхему микропроцессора, который избирательно чередует работу испытуемой интегральной схемы между тестовым режимом и стрессовым режимом. Микросхема запитывается таким образом, что в режиме стресса испытуемая схема работает при более высоком уровне напряжения, чем функциональная схема. Результаты тестирования интегральной схемы используют для моделирования характеристик деградации и прогнозирования момента времени отказа схемы.

Недостатком прототипа является ограниченность его использования только в условиях эксплуатации.

Раскрытие изобретения

Технический результат, на достижение которого направлено изобретение, заключается в повышении вероятности выполнения заданных функций партией гибридных и монолитных ИС в течение заданной наработки за счет учета технологических разбросов параметров конструкции и закономерностей их деградации под действием дестабилизирующих факторов при эксплуатации и, соответственно, повышении надежности и качества функционирования радиоэлектронной аппаратуры на их основе в условиях действия перечисленных факторов.

Технический результат достигается тем, что предложен способ повышения надежности и качества функционирования партии ИС путем искусственного старения, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и, как следствие, изменение их информативных параметров. При этом на основе закономерностей деградации информативных параметров ИС под действием дестабилизирующих факторов эксплуатации определяют функции изменения информативных параметров во времени, строят зависимости вероятности выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в начальный момент времени, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки, корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки, синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров.

Причем искусственное старение ИС ведут циклами: воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 часов под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 часов под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 часов под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.

Причем искусственное старение ИС ведут циклами: ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров, ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.

Перечень фигур

На фиг. 1 показаны вольт - амперные характеристики РТД, полученные в результате циклов термических воздействий и циклов ионизирующих излучений гамма-квантами.

На фиг. 2 показан пучок функций изменения информативного параметра Y(t) во времени.

На фиг. 3 показана зависимость вероятности Рф выполнения заданных функций ИС от значения информативного параметра.

На фиг. 4 показана функция плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС.

На фиг. 5 показана функция плотности вероятности информативного параметра ƒФ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций.

На фиг. 6 показаны зависимость вероятности Рф выполнения заданных функций ИС от значения информативного параметра, функция плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, функция плотности вероятности информативного параметра ƒФ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций в начальный момент времени t=t0 и после заданной наработки в момент времени t=t1 и оптимальное положение функции плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y), которому соответствует новое номинальное значение информативного параметра .

Осуществление изобретения

Способ повышения надежности и качества функционирования гибридных и монолитных интегральных схем осуществляется следующим образом.

Для определения функций изменения информативных параметров Y ИС под действием дестабилизирующих факторов от времени эксплуатации проводится искусственное старение, заключающееся в воздействии на ИС повышенной температуры и ионизирующих излучений (ИИ), в результате которых происходит деградация материалов ИС и, как следствие, изменение их электрических характеристик. В результате действия ИИ в гетероструктуру и в контактные области ИС вносятся дефекты, ускоряющие диффузионные процессы в них. Под действием повышенной температуры диффузионные процессы в гетероструктуре и контактных областях также ускоряются, что является причиной дополнительных изменений информативных параметров.

В качестве информативных параметров полупроводниковых приборов, таких как транзисторы, диоды и др., наиболее часто используются их вольт-амперные характеристики (ВАХ), из которых можно получить такие параметры, как дифференциальное сопротивление в рабочей области, крутизна, напряжение отсечки и др. В качестве информативных параметров устройств на основе диодов и транзисторов могут использоваться их показатели назначения, такие как коэффициент усиления для усилителей, потери преобразования и ширина динамического диапазона для смесителей.

Радиационное облучение может производиться с помощью источника γ-квантов 60Со, например, ГИК-17М. Для температурного воздействия может использоваться лабораторная электронагревательная печь, например, СНОЛ 6/11.

Доза ИИ, температура и длительность термического воздействия выбираются такими, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений. Опытным путем установлено, что искусственное старение ИС оптимально вести циклами, например, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 час. под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 час. под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 час. под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров и/или ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров, ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров.

Изменение ВАХ диодов и транзисторов регистрируется измерительным прибором (например, совместное использование микрозондового устройства (МЗУ) «ЛОМО 900072» и источника питания с цифровым управлением «Agilent 3640А DC Power Supply»). Изменение информативных параметров функциональных устройств регистрируется измерительными приборами, соответствующими выбранным информативным параметрам.

Пример изменения информативных параметров, в результате которых получается кинетика информативных параметров, приведен на фиг. 1. На оси абсцисс приведены значения напряжения U в вольтах, на оси ординат приведены значения тока I в амперах.

На фигуре 1 показаны кривые 1 - ВАХ до ионизирующих и температурных воздействий, 2 - ВАХ после 1-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 3 - ВАХ после 2-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 4 - ВАХ после 3-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 5 - ВАХ после 4-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 6 - ВАХ после 5-го цикла ионизирующих и температурных воздействий.

На основе полученных закономерностей деградации информативных параметров ИС строят функции их изменения во времени. На фиг. 2 показан пучок функций изменения информативного параметра Y(t) во времени.

Строят зависимости вероятности Рф(Y) выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров. На фиг. 3 показан пример зависимости Рф(Y). Зависимости Рф(Y) строятся методом экспертных оценок. Методика экспертного оценивания излагается в учебном пособии Абомелик Т.П. Управление качеством электронных средств: учебное пособие / Т.П. Абомелик. - Ульяновск: УлГТУ, 2007, с. 39-44.

Строят функцию плотности вероятности информативных параметров ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС (см. фиг. 4). Методы и алгоритмы построения функций плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС рассматриваются в учебном пособии Технологическая оптимизация микроэлектронных устройств СВЧ: учебное, пособие / А.Г. Гудков, С.А. Мешков, М.А. Синельщикова, Е.А. Скороходов. - М., Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014, с. 16-20.

На основе зависимостей вероятности Рф(Y) выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров и функции плотности вероятности информативных параметров ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС получают функцию плотности вероятности информативных параметров ƒФ(Y) (фиг. 5) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций как

fФ(Y)=РФ(Y)ƒ(Y).

Путем численного интегрирования функции плотности вероятности информативных параметров ƒФ(Y) по значениям информативного параметра получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в момент времени ti:

Путем численного интегрирования функции по времени в пределах заданной наработки

получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки.

Корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки, синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров.

Корректировка номинальных информативных параметров ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки является задачей оптимизации. На фиг. 6 представлена графическая интерпретация решаемой задачи. На ней показана зависимость Рф вероятности выполнения заданных функций ИС от значения информативного параметра, функция плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, функция плотности вероятности информативного параметра ƒФ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций в начальный момент времени t=t0 и после заданной наработки в момент времени t=t1 и оптимальное положение функции плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y), которому соответствует новое номинальное значение информативного параметра .

Задача оптимизации ставится следующим образом. Целевая функция: вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки (t0-t1)

где вероятность выполнения заданных функций партией ИС в момент времени ti

где - вектор параметров конструкции ИС.

Критерий оптимальности: .

Управляемые параметры: номиналы информативных параметров Yном.

Ограничения: , где - вектор разбросов (технологическая точность) параметров конструкции ИС, Ok,OT - ограничения конструкторского и технологического характера. Задача решается методами одномерной условной оптимизации, описанными в книге Норенков И.П. Основы автоматизированного проектирования: Учебник для вузов. 2-е изд., М., Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002, с 157-170.

В результате решения задачи оптимизации получают новые значения номиналов информативных параметров , которым соответствует .

Затем осуществляется синтез параметров конструкции , обеспечивающих новые оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров . Синтез ведется итерационными методами с использованием методов оптимизации нулевого, первого, второго порядка, которые рассматриваются в книге Норенков И.П. Основы автоматизированного проектирования: Учебник для вузов. 2-е изд., М., Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002, с 157-170.

В результате указанного выше синтеза новых параметров конструкции ИС решается поставленная задача, а именно обеспечиваются новые оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки параметры и достигается повышение надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных ИС за счет учета технологических разбросов параметров конструкции и закономерностей их деградации под действием дестабилизирующих факторов при эксплуатации и, соответственно, повышение надежности и качества функционирования радиоэлектронной аппаратуры на их основе в условиях действия перечисленных факторов.

Похожие патенты RU2684943C1

название год авторы номер документа
Способ повышения надежности гибридных и монолитных интегральных схем 2017
  • Мешков Сергей Анатольевич
RU2664759C1
Способ определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям наноэлектронного резонансно-туннельного диода (РТД) на основе многослойных AlGaAs (алюминий, галлий, арсеникум) полупроводниковых гетероструктур 2015
  • Мешков Сергей Анатольевич
  • Макеев Мстислав Олегович
  • Гудков Александр Григорьевич
  • Иванов Юрий Александрович
  • Иванов Антон Иванович
  • Шашурин Василий Дмитриевич
  • Синякин Владимир Юрьевич
  • Вьюгинов Владимир Николаевич
  • Добров Владимир Анатольевич
  • Усыченко Виктор Георгиевич
RU2606174C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТОЙКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ СВЧ К ВОЗДЕЙСТВИЮ ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ 2015
  • Усыченко Виктор Георгиевич
  • Вьюгинов Владимир Николаевич
  • Гудков Александр Григорьевич
  • Добров Владимир Анатольевич
  • Кудряшова Татьяна Юрьевна
  • Мешков Сергей Анатольевич
  • Мещеряков Александр Владимирович
  • Маржановский Иван Николаевич
RU2602416C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАИБОЛЕЕ ВЕРОЯТНЫХ ЗНАЧЕНИЙ ПЕЛЕНГОВ ИСТОЧНИКОВ РАДИОИЗЛУЧЕНИЯ НА ОДНОЙ ЧАСТОТЕ 2012
  • Грешилов Анатолий Антонович
RU2530748C2
СПОСОБ ИСПЫТАНИЙ НА НАДЕЖНОСТЬ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ 1991
  • Воронцов Б.А.
  • Куликов И.В.
RU2100817C1
Способ определения кинематических параметров движения летательного аппарата 2015
  • Гладышев Владимир Олегович
  • Портнов Дмитрий Игоревич
RU2611559C1
СПОСОБ ОТБОРА ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ ПО СТОЙКОСТИ ИЛИ НАДЕЖНОСТИ 1999
  • Васильева З.Ф.
  • Коскин В.В.
  • Лукица И.Г.
  • Лысов В.Б.
  • Малинин В.Г.
  • Матвеева Л.А.
RU2168735C2
Конструкция микросистемы с повышенной радиационной стойкостью к воздействию одиночных заряженных частиц 2017
  • Шахнов Вадим Анатольевич
  • Зинченко Людмила Анатольевна
  • Резчикова Елена Викентьевна
  • Макарчук Владимир Васильевич
  • Глушко Андрей Александрович
  • Терехов Владимир Владимирович
  • Михайличенко Сергей Сергеевич
RU2659623C1
Способ контроля износа режущего инструмента токарного станка в процессе обработки детали 2017
  • Комшин Александр Сергеевич
  • Сырицкий Антони Борисович
  • Потапов Константин Геннадьевич
  • Кудрявцев Евгений Александрович
RU2680632C1
Способ ускоренного определения ресурса элементов двигателя с замкнутым дрейфом электронов 2020
  • Воробьев Евгений Валентинович
  • Ивахненко Сергей Геннадьевич
RU2743606C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 684 943 C1

Реферат патента 2019 года Способ повышения надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных интегральных схем

Изобретение относится к повышению надежности и качества функционирования партии полупроводниковых монолитных и гибридных интегральных схем (ИС). Сущность: ИС подвергают искусственному старению, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и изменение их информативных параметров. На основе закономерностей деградации информативных параметров ИС под действием дестабилизирующих факторов эксплуатации определяют функции изменения информативных параметров во времени, строят зависимости вероятности выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций. Получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в начальный момент времени, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки. Корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки и синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров. Технический результат: повышение надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных ИС. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Формула изобретения RU 2 684 943 C1

1. Способ повышения надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных интегральных схем (ИС) путем искусственного старения, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и, как следствие, изменение их информативных параметров, отличающийся тем, что

на основе закономерностей деградации информативных параметров ИС под действием дестабилизирующих факторов эксплуатации определяют функции изменения информативных параметров во времени,

строят зависимости вероятности выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров,

строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС,

строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций,

получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в начальный момент времени,

получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки,

корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки,

синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что искусственное старение ИС ведут циклами: воздействие повышенной температуры около 150°С в течение 1-20 ч, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°С в течение 1-20 ч, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°С в течение 1-20 ч, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что искусственное старение ИС ведут циклами: ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров, ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2019 года RU2684943C1

US 2014088947 A1, 27.03.2014
СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ПАРТИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ 2006
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Ануфриев Дмитрий Леонидович
  • Котова Мария Сергеевна
RU2326394C1
СПОСОБ ОЦЕНКИ СТОЙКОСТИ ЦИФРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ К ВОЗДЕЙСТВИЮ ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ (ВАРИАНТЫ) 2014
  • Киселев Владимир Константинович
RU2578053C1
US 8201038 B2, 12.06.2012
US 2017171434 A1, 22.06.2017
US 2012167025 A1, 28.06.2012.

RU 2 684 943 C1

Авторы

Мешков Сергей Анатольевич

Даты

2019-04-16Публикация

2018-06-21Подача