ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ И ИСТОКОМ ИЗ ГЕТЕРПЕРЕХОДА Российский патент 2024 года по МПК H01L29/772 

Описание патента на изобретение RU2824888C2

Предлагаемое изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в устройствах силовой электроники для преобразования параметров электрической энергии в транспорте, робототехнике, радиотехнических устройствах и источниках вторичного электропитания. Техническим результатом является создание структуры высоковольтного силового транзистора, выполненного на одном кристалле с целью уменьшения сопротивления канала в открытом состоянии, снижения статических потерь мощности, увеличения коэффициента передачи тока, а также улучшения массогабаритных показателей и повышения быстродействия.

Благодаря внесению изменений в базовую структуру транзистора со статической индукцией и вертикальным каналом, возможно совершенствование его параметров и характеристик изготавливаемых на его основе электронных приборов, что повышает рабочие параметры транзисторов, улучшает характеристики электронных схем на их основе и расширяет функциональные возможности.

Известна структура транзистора-прототипа со статической индукцией и вертикальным каналом [1], показанная на фиг. 1, где 1 - металлический контакт к истоковой области, 2 - металлические контакты к затвору, 3 - металлический контакт к стоковой области, 4 - полупроводник р-типа, 5 - полупроводник n-типа.

Недостатком прототипа является формирование истока методом диффузии фосфора при Т=950°С на глубину 0,2 мкм, что не позволяет получить концентрацию основных носителей выше 2⋅1018 см-3. Повысить температуру загонки примеси фосфора нельзя из-за высокого коэффициента диффузии, так как растет глубина залегания, падает пробивное напряжение между затвором и истоком, что не позволяет достичь высокой концентрации основных носителей, уменьшить сопротивление канала и повысить быстродействие транзисторного ключа.

Целью изобретения является уменьшение сопротивления канала в открытом состоянии, снижения статических потерь мощности и, соответственно, увеличения коэффициента передачи тока, а также улучшения массогабаритных показателей и повышения быстродействия путем формирования структуры с изотипным гетеропереходом в области истока, состоящего из алюминия, низкоомного тонкого слоя арсенида галия и тонкого слоя германия, который согласовывает решетки арсенида галия и кремния для увеличения быстродействия, снижения размеров, расширения функциональных возможностей и увеличения выходной мощности (нагрузочной способности).

Сущность заявляемого высоковольтного переключающего полупроводникового транзистора с истоком из гетероперехода заключается в том, что за основу взята существующая структура транзистора со статической индукцией и вертикальным каналом КП926 [2], где над низкоомной областью первого типа проводимости кремния, являющейся стоком, формируется высокоомная область того же типа проводимости, в которой в виде ячеистой структуры формируется область затвора второго типа проводимости, внутри которых формируются низкоомные области истоков первого типа проводимости.

В соответствие с заявленной структурой на фиг. 2 показано поперечное сечение транзистора, где 6 - алюминиевая пластина Ад, 7 - тонкий слой арсенида галлия GaAs, 8 - тонкий слой германия Ge, 9 - высокоомный кремний Si, 10 - низкоомный кремний Si.

Отличительным признаком транзистора с предлагаемой структурой является перемещение основных носителей-электронов, за счет потенциальной ямы, из алюминия 6 в арсенид галлия 7 и далее, под воздействием поля стока, они переходят в кремний 9 и 10. При этом их концентрация будет соответствовать 1022⋅см-3. При такой концентрации основных носителей сопротивление канала уменьшится более чем на два порядка в полевом режиме работы транзистора, поэтому для получения сопротивления канала 2, …, 3 мОм, активную площадь кристалла также можно уменьшить на два порядка, а это значит, что мощность управления также снизится на два порядка. Емкость затвора уменьшится на два порядка и, соответственно, уменьшится время переключения. Так как в токе переноса будут участвовать только электроны, с более высокой подвижностью, то быстродействие тоже повысится.

Результаты проведенных исследований [3, 4] заявленной структуры транзистора показывают, что будет иметь место процент выхода годных кристаллов близким к биполярным транзисторам с сопротивлением канала 2,…, 3 мОм и он будет способен работать на частотах до 10 МГц.

ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ

1. Библиотека электронных компонент. Выпуск 16. Манжа Н.М. Отечественные транзисторы БСИТ, СИТ, БТИЗ. [Текст] / Москва, изд. Додэка, с. 14. 1999-2010.

2. Максименко Ю.Н. Транзистор со статической индукцией КП926 с повышенным быстродействием // Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. 2022. №3.

3. Максименко Ю.Н. Новая технологическая схема формирования структуры кристалла транзистора со статической индукцией КП926 // Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. 2022. №4.

4. Авторское свидетельство 1215546 СССР: МКИ HOI 21/18. Способ изготовления полевых транзисторов с управляющим p-n-переходом и вертикальным каналом: №3052227; заявл. 22.06.82; зарег. в Госреестре изобр. СССР 01.11.85 / Максименко Ю.Н., Корнилова С.Н., Жуковский Н.М.

Похожие патенты RU2824888C2

название год авторы номер документа
ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ БИПОЛЯРНЫЙ ТРАНЗИСТОР СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ 2023
  • Гордеев Александр Иванович
  • Войтович Виктор Евгеньевич
  • Еремьянов Олег Геннадьевич
  • Максименко Юрий Николаевич
RU2805777C1
Ячейка оперативной памяти 2024
  • Гордеев Александр Иванович
  • Войтович Виктор Евгеньевич
RU2826859C1
ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ТИРИСТОР С ПОЛЕВЫМ УПРАВЛЕНИЕМ 2010
  • Войтович Виктор Евгеньевич
  • Гордеев Александр Иванович
  • Думаневич Анатолий Николаевич
RU2472248C2
ГЕТЕРОСТРУКТУРНЫЙ МОДУЛИРОВАНО-ЛЕГИРОВАННЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР 2013
  • Аветисян Грачик Хачатурович
  • Дорофеев Алексей Анатольевич
  • Колковский Юрий Владимирович
  • Миннебаев Вадим Минхатович
RU2534437C1
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР ШОТТКИ СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ 2000
  • Коноплев Б.Г.
  • Рындин Е.А.
RU2183885C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЧ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА 2012
  • Блинов Геннадий Андреевич
  • Бутенко Елена Васильевна
RU2523060C2
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С РАЗМЕРНЫМ КВАНТОВАНИЕМ ЭНЕРГИИ 2004
  • Коноплев Б.Г.
  • Рындин Е.А.
RU2257642C1
БИПОЛЯРНО-ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С КОМБИНИРОВАННЫМ ЗАТВОРОМ 2002
  • Воробьева Т.А.
  • Гурин Н.Т.
  • Гордеев А.И.
  • Обмайкин Ю.Д.
  • Андреева Е.Е.
RU2230394C1
МОДУЛИРОВАННО-ЛЕГИРОВАННЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР 2013
  • Аветисян Грачик Хачатурович
  • Дорофеев Алексей Анатольевич
  • Колковский Юрий Владимирович
  • Миннебаев Вадим Минхатович
RU2539754C1
УСТРОЙСТВО ЗАЩИТЫ ОТ РАЗРЯДОВ СТАТИЧЕСКОГО ЭЛЕКТРИЧЕСТВА ВЫВОДОВ ПИТАНИЯ КОМПЛЕМЕНТАРНЫХ МОП (МЕТАЛЛ-ОКИСЕЛ-ПОЛУПРОВОДНИК) ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ С ПРОВОДИМОСТЬЮ N-ТИПА 2013
  • Гуминов Владимир Николаевич
  • Абрамов Сергей Николаевич
RU2585882C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 824 888 C2

Реферат патента 2024 года ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ И ИСТОКОМ ИЗ ГЕТЕРПЕРЕХОДА

Предлагаемое изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в устройствах силовой электроники для преобразования параметров электрической энергии в транспорте, робототехнике, радиотехнических устройствах и источниках вторичного электропитания. Техническим результатом является создание структуры высоковольтного силового транзистора, выполненного на одном кристалле с целью уменьшения сопротивления канала в открытом состоянии, снижения статических потерь мощности, увеличения коэффициента передачи тока, а также улучшения массогабаритных показателей и повышения быстродействия. Сущность заявляемого высоковольтного переключающего полупроводникового транзистора с истоком из гетероперехода заключается в том, что за основу взята существующая структура транзистора со статической индукцией и вертикальным каналом КП926, где над низкоомной областью первого типа проводимости кремния, являющейся стоком, формируется высокоомная область того же типа проводимости, в которой в виде ячеистой структуры формируется область затвора второго типа проводимости, внутри которых формируются низкоомные области истоков первого типа проводимости. Отличительным признаком транзистора с предлагаемой структурой является перемещение основных носителей - электронов, за счет потенциальной ямы, из алюминия в арсенид галлия и далее, под воздействием поля стока, они переходят в кремний. При этом их концентрация будет соответствовать 1022⋅см-3. При такой концентрации основных носителей сопротивление канала уменьшится более чем на два порядка в полевом режиме работы транзистора, поэтому для получения сопротивления канала 2, …, 3 мОм, активную площадь кристалла также можно уменьшить на два порядка, а это значит, что мощность управления также снизится на два порядка. Емкость затвора уменьшится на два порядка и, соответственно, уменьшится время переключения. Так как в токе переноса будут участвовать только электроны, с более высокой подвижностью, то быстродействие тоже повысится. 2 ил.

Формула изобретения RU 2 824 888 C2

Высоковольтный полевой транзистор со статической индукцией и истоком из гетероперехода, выполненный по структуре с вертикальным каналом, у которого над низкоомной областью первого типа проводимости кремния, являющейся стоком, сформирована высокоомная область того же типа проводимости, в которой в виде ячеистой структуры сформирована область затвора второго типа проводимости, отличающийся тем, что в области истока формируется изотипный гетеропереход, состоящий из алюминия, низкоомного тонкого слоя из арсенида галия и тонкого слоя германия, который согласовывает решетки арсенида галия и кремния.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2024 года RU2824888C2

ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР, ОТОБРАЖАЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ, УСТРОЙСТВО ОТОБРАЖЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ И СИСТЕМА 2017
  • Уеда Наоюки
  • Накамура Юки
  • Абе Юкико
  • Мацумото Синдзи
  • Соне Юдзи
  • Саотоме Риоити
  • Арае Саданори
  • Кусаянаги Минехиде
RU2702802C1
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР НА ГЕТЕРОСТРУКТУРЕ 1993
  • Богданов Ю.М.
  • Пашковский А.Б.
  • Тагер А.С.
RU2093924C1
МОЩНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР СВЧ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЕ 2021
  • Пашковский Андрей Борисович
  • Лапин Владимир Григорьевич
  • Лукашин Владимир Михайлович
  • Маковецкая Алена Александровна
  • Богданов Сергей Александрович
  • Терешкин Евгений Валентинович
  • Журавлев Константин Сергеевич
RU2781044C1
Способ подготовки кожевенного сырья к хранению 1951
  • Горловой Д.А.
  • Пескин Я.И.
  • Серегин А.П.
  • Соколовский М.Б.
  • Шнайдер И.С.
SU97565A1
DE 69123782 T2, 10.07.1997
US 7504692 B2, 17.03.2009
US 10790308 B2, 29.09.2020.

RU 2 824 888 C2

Авторы

Максименко Юрий Николаевич

Грабежова Виктория Константиновна

Гордеев Александр Иванович

Даты

2024-08-15Публикация

2023-01-25Подача