Электрический конденсатор Советский патент 1983 года по МПК H01G4/06 

(54) ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ КОНДЕНСАТОР

1

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных конденсаторов.j

Известен электрический конденсатор, содержащий два металлических слоя противоположной полярности, и слой диэлектрика, расположенный между ними 1.to

Такие слои делают в трапеции и располагают со сдвигом в направлении, перпендикулярном к параллельным сторонам трапеции. Этот конденсатор обладает пониженным использованием поверхности подложки, так как даже при незначительном отклонении трапеции от прямоугольной формы требуется относительно большое взаимное смещение отдельных слоев, что- 20 бы получить на скошенной стороне трапеции требуемую изоляционную полосу, а с другой стороны, при большом отклонении от прямоугольной формы, контакт с более коротким из параллель- 25 ных кантов трапеции становится трудно осуществимым.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является электрический конденсатор, содержа- 30

щий по меньшей мере два металлических слоя и слой диэлектрика, размещенные на подложке, причем каждый иа слоев выполнен в виде параллелограмма и смещен относительно предыдущего слоя в- направлении под углом к кромкам слоев, а металлические слои одной полярности имеют вывод вдоль контактных площадок с противвположных сторон 2.

Его недостатке является небольшое емкостное использование поверхности подложки и ненадежный контакт обкладок с контактными площадками.

Цель изобретения - обеспечение возможности надежного контактирования и повьаиение емкостного использования поверхности конденсатора.

Поставленная цель .достигается тем, что в электрическом конденсаторе, содержащем по меньшей мере два металлических слоя и слой диэлектрика, размещенные на подложке, причем каждый из слоев выполнен в виде параллелограмма и смещен относительно предыдущего слоя в направлении под углом к кромкам слоев, а металлические слои одной полярности имеют вывод вдоль контактных площадок с противоположных сторон, величина смеще ния слоев в направлении, параллельном контактным площадкам, меньше, чем величина смещения слоев в напра лении, перпендикулярном контактнггм площадкам, на 100 мкм. Величина смещения слоев в направ лении перпендикулярном контактньам площадкам, составляет 200 мкм, а ве личина смещения слоев в направлении параллельном контактным площадкам, составляет 100 мкм. На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый электрический конденсатор; на фиг. 2 .- диэлектрический слой, поперечный разрез. На подложке 1 электрического кон денсатора расположены контактные площадки 2 и 8. Первый металлически слой 3 напыляется на подложку и соединяется внахлест с контактной пло щадкой 2. На этот металлический сло 3 напыляется слой диэлектрика 4. слой диэлектрика 4 смещен по отноше нию к металлическому слою 3 в напра лении, которое не является парашлел ным ни одному из краев первого металлического слоя 3. На слой диэлек рика 4 напылен второй металлический слой 5. Он также сдвинут по отношению к слою диэлектрика 4 в направле НИИ, которое не является параллельн ни одному краю слоя диэлектрика 4, показанном примере сдвиг осуществля ется в направлении диагонали квадра ных слоев с 3 по 5. Слой диэлектрика 4 имеет краевую зону 7, в которо его толщина сильно уменьшается и в конечном итоге сходит к нулю. Эта краевая зона возникает, например, при напылении слоя полимеризата отверждаемого действием тлеющего разряда в отверстии маски. t Изображенная широкой штриховкой часть слоя диэлектрика 4, лежащая снаружи изображенной узкой штриховкой эффективной емкостной области 6 конденсатора, шире, чем краевая зона 7 слоя диэлектрика 4. Благодаря этому в эффективной емкостной облас обеспечивается равномерная толщина диэлектрика и тем самым равномерная электрическая прочность. i Второй металлический слой 5 связан внахлест со второй контактной площадкой 8 и образует контактную полосу 9. Соответствующую контактну полосу 10 образует соединение внахлест первого металлического слоя 3 с первой контактной площадкой 2. Неэффективные части обкладок, пол чаемые благодаря косому сдвигу отдельных слоев, существенно меньше, чем неэффективные полосы, которые получаются при сдвиге параллельно неконтактируемым краям обкладок. Слой диэлектрика 4, как Г;-, вило, толще, чем металлические сло 3 или 5. Из-за этого область, покрытая полимерйзатом, отверждаемым действием тлеющего разряда, возвышается под остальной частью. В эффективной емкостной области возникает еще одно повншенйе из-за имеющегося там полного комплекта металлических слоев. Чтобы можно было сдвинуть маску при изготовлении конденсатора, не повредив при этом уже напыленные слои, маску перед сдвигом приподнимают на определенную величину, которая должна быть больше, чем сумма напыленных слоев за вычетом толщины металлического слоя одной полярности. Для контактирования обкладок вдоль расположенных друг против друга контактных площадок предпочтительно, если величина смещения в направлении, перпендикулярном к контактным площадкам, больше, чем величина смещения в направлении, параллельном контактным площадкам. Диэлектрические и металлические слои предпочтительно делать прямо-угольными. . При относительно узкой контактной площадке подходят, в частности, квадратные слои. Для прямоугольных и, в специальных случаях, квадратных, слоев предпочтительно, если величина смещения в направлении, перпендикулярном к контактной площадке, составляет 200 мкм, а в направлении, параллельном контактной площадке - 100 мкм. Величина смещения в направлении, параллельном контактньам площадкам, учитывает перепад толщины поверхностного слоя полимеризата, отверждаемого действием тлеющего разряда. Величина смещения в направлении, перпендикулярном контактной площадке, учитывает дополнительно к перепаду толщину, необходимую для монтажа присоединительных элементов или контактных слоев ширину и допуски расстояния между присоединительными элементами или контактными слоями. Если для этого ширины недостаточно, то следует контактную площадку сделать шире, чем это необходимо для перепада толщины. Формула изобретения 1. Электрический конденсатор, содержащий по меньшей мере два металлических слоя и слой диэлектрика, размещенные на подложке, причем каждый из слоев выполнен в виде параллелограмма и смещен относительно предыдущего слоя в направлении под углом к кромкам слоев, а металлические слои одной полярности имеют вывод вдоль

контактных площадок с противоположных сторон, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности надежного, контактирования и повышения емкостного использования поверхности конденсатора, величина смещения слоев в направлении, параллельном контактным площадкам, меньше величины смещения слоев в направлении, перпендикулярном контактньм плоиадкам, на 100 мкм.

.2. Конденсатор по п. 1, отличающийся тем, что величина

смещения слоев в направленииг перпендикулярном контактным площадкам со-, ставляет 200 мкм, а величина смещения слоев в направлении, параллельном контактным площгщкам, составляет 100 мкм.

Ч Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

,-- .--- - 1. Промывшенный образец ФРГ 1965296. .

2, Патент СМА 1326718, KJ1. 427-81, 1967 (прототип).

tut.f