Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1983 года по МПК F04D19/04 

S- -W SS Изобретение относится к вакуумной техтпсе. Известен турбомопвкупярный вакуумны насос, содерягащий корпус и размещенный в нем на вертикальном вапу роторный аиск, на обеих сторонах которого установлены верхний инижний кольцевые ряды рабочих лопаток, последовательно сообщенные между собой по ходу откачиваемого газа 1 J Однако количество рядов лопаток оказывается недостаточным для попу чения сверхвысокого вакуума. Кроме того, первые от входа ряды лопаток имеют недостаточные рабочую площадь и окружную скорость. Цепь изобретения - повышение быстро ты действия. Указанная цепь достигается тем, что в турбомолекулярном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем на вертикальном валу роторн тй диск на обеих сторонах которого установлены верхний и нижний кольцевые ряды рабочих лопаток, последовательно сообщенные между собой по ходу откачиваемого газа первые по ходу откачиваемого газа лопатки верхнего ряда установлены на боль шем диаметре, чем последующие лопатки нижнего ряда, а количество лопаток в нижнем ряду болыие, чем в верхнем. На чертеже изображен предлагаемый насос,, продольный разрез. Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем на вертикальном валу 2 роторный диск 3, на обеих сторонах которого установлены верхний и нижний кольцевые ряды рабочих попаток 4 и 5, последовательно сообщенные между собой по ходу откачиваемого раза. Первые по ходу откачиваемого газа ПО1ЮТКИ 4 верхнего ряда установлены на болыием диаметре D , чем последние лопатки 5 нижнего ряда, а количество лопаток 5 в нижнем ряду больше, чем в верхнем. При вращении роторного диска 3 газ из откачиваемой емкости откачивается в направлении периферии верхним рядом лопаток 4, а затем в направлении к центру нижним рядом лопаток 5 и далее выбрасывается в атмосферу с помощью форвакуумного насоса (на чертеже не показан). Первые от оси лопатки 4 верхнего ряда, расположенные на большем диаметре, обеспечивают высокую быстроту действия за счет большей рабочей площади и окружной скорости, а допатки 5 нижнего ряда - высокое отношение давлений за счет большого количества последовательно сжимающих газ рядов лопаток 5.

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС., схэдержащий корпус и размешенный в нем на вертикальном валу роторный диск, на обеих своронах которого установлены верхний и нижний кольцевые ряды рабочих лопаток, последователе но сообщенные между, собой по ходу откачиваемого газа, отпичающийс я тем, что, с цепью повышения быст- . роты действия, первые по ходу откачиваемого газа лопатки верхнего ряда установлены на большем диаметре, чем последние лопатки нижнего ряда, а копичество лопаток в нижнем ряду больше, чем в верхнем.