МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Советский патент 1970 года по МПК F04D19/04 

Извеетпы молекулярпые вакуумные насосы, содержащие корпус с размещенным в нем роторным диском, на обеих еторона.х которого по концентрическнм окружностям установлены рабочие лопатки, и патрубки ввода и вывода откачивае.мого газа.

Цель изобретения - уменьщение габаритов и повышение быстроты откачки. Это достигается те.м, что лопатки на разных сторонах диска установлены с Н1ротивоноложным наклоном для изменення направления движения газа и между не.риферийиыми рядами лонаток и боковой цилин.:ф11ческо1 1 иоверхноетыо Koipпуса выиолиепа кольцевая полость нромежуточного вакуума для поворота потока. Патрубки подключены к корпусу в центральной части насоса с разных сторон диска.

На чертеже схематически иоказан описываемый насос.

В корпусе / по концентрическим окружноетям установлены ряды роторных лопаток (илн нрорезей) 2, укренленных па обеих сторонах роторного диска 3. Между рядами рогорных Лоиаток раз.мещепы .ряды етатОриых .тонаток 4. Для пзмепсппя панравленпя потока откачиваемого газа и тем еамым уменьщения количества рядов ири сохрапепии общего количества ступеней лопатки на разных сторонах диска расположены с противоиоложным наклоном. Средняя окружная скорость при

этом может оыть увелпчепа, что, в свою очередь, прпводпт к повьпнению степени сжатня п быстроты откачки.

Между перпфернйнымп рядами лопаток и боковыми цилпндрическпми стенкамц корпуса образована кольцевая полость 5 нромежуточного вакуума, служащая для новорота нотока. Разъем 6 корпуса выполняется в этой нолости. Газ из объема откачивается через патрубок 7 п нагнетается к фор.вакуумному насосу через натрубок 8. Для больщей эффективности первого ряда статсрпых лопаток роторный диск имеет пептральиый выступ ,9, который сообщает входящему газу донолиительную танге;нциальную составляющую скорости, liacoc снабжен встроенньпг высокочастотным электрсириводом 10.

Предмет п з о б р е т е н п я

Молекулярный вакуумный насос, содержппи1Й корпус с размещенным в нем роторным диском, на обеих сторонах которого но коииентрнческим окружиостям установлены рабочие ,лоиаткп, и иатрубкп ввода п вывода откачиваемого газа, отличающийся тем, что, с целью иовышенпя быстроты откачки ii уменьишння габаритов, лоттаткн на разных сторонах диска установлены с иротивоположным наклоном для нзменення нанравленпя двнжения

, ....... .-..

iiiii .

I 276308

газа и между периферийными рядами лоиаток и боковой цилиндрической поверхностью корпуса выполнена кольцевая иолость промежуточного вакуума для поворота потока, а патрубки подключены к корлусу в центральной части насоса с разных сторон диска.

Приоритет исчислять от 22.VIП. 1964.