Устройство для распыления магнитных материалов Советский патент 1983 года по МПК C23C15/00 

Описание патента на изобретение SU1030423A1

. 7

Похожие патенты SU1030423A1

название год авторы номер документа
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО 1992
  • Баликоев И.С.
  • Барченко В.Т.
  • Заграничный С.Н.
  • Еремеев Е.В.
RU2032766C1
УСТРОЙСТВО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) 2014
  • Алексеев Валерий Венедиктович
  • Малинов Алексей Юрьевич
  • Криворучко Марк Муратович
  • Авдиенко Александр Андреевич
RU2595266C2
КАТОД ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ ИЛИ ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОКРЫТИЯ ИЛИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК 1998
  • Велти Ричард П.
RU2168233C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ 1989
  • Левченко Г.Т.
  • Недыбалюк А.А.
  • Одиноков В.В.
SU1697453A1
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО 2004
  • Кузьмин Олег Станиславович
  • Косицын Лев Григорьевич
  • Лихачёв Владимир Николаевич
RU2280097C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ 1993
  • Левченко Георгий Тимофеевич[Ua]
  • Маишев Юрий Петрович[Ru]
  • Парфененок Михаил Антонович[Ua]
  • Исаев Олег Юрьевич[Ua]
RU2075539C1
Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий 1981
  • Одиноков В.В.
  • Какурин М.В.
  • Минайчев В.Е.
SU1139170A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК В ПЛАЗМЕ 1992
  • Колосов В.В.
  • Наянов В.И.
RU2019576C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ 2006
  • Чайрев Виктор Иванович
  • Чой Джун Мьен
RU2311492C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ 1985
  • Сейдман Л.А.
  • Смирнов В.К.
RU1332866C

Реферат патента 1983 года Устройство для распыления магнитных материалов

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЕЛЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащее магнитную систему с полюсными наконечниками, катод с мишенью и анод, причем катод с мишенью расположен в полости магнитной системы,, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности устройства и увеличения ресурса его работы, мишень расположена ниже полюсных наконечников, на расстоянии между плоскостью нижних торцов полюсных наконечников и верхним торцом мишени, равном 1...2Е, где 8 величина зазора между полюсными наконечниками.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1983 года SU1030423A1

Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Приборы и техника эксперимента
Чугунный экономайзер с вертикально-расположенными трубами с поперечными ребрами 1911
  • Р.К. Каблиц
SU1978A1
Способ восстановления хромовой кислоты, в частности для получения хромовых квасцов 1921
  • Ланговой С.П.
  • Рейзнек А.Р.
SU7A1
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. 1921
  • Богач Б.И.
SU3A1

SU 1 030 423 A1

Авторы

Левченко Георгий Тимофеевич

Павленко Григорий Иванович

Синицын Сергей Георгиевич

Герасимук Леонид Николаевич

Сагайдак Василий Андреевич

Даты

1983-07-23Публикация

1981-05-27Подача