Стекло Советский патент 1983 года по МПК C03C3/10 

СО

О1

Изобретение относится к техноло гии силикатов и предназначается для использования его в электр(онике в качестве износостойкого диэлектрика для микросхем специгшьного назначения.

Известно стекло }, включающее, мас.%: SiO2 15-25 j , 24-36; Ае2О2,16-24 ; ВаО 18-30 ; Мс 1-5.

Однако данное стекло имеет температуру размягчения 620tl5°C, коэффициент термического рас1лирения 52-10 ;±2 -Ю град- и пониженную твердость , что является причиной неустойчивости этих стекол в условиях повышенного абразивного износа.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является стекло включающее, мас.%: SiO2 45,5-47,5 ; АЕзОз 9,4-10,3; В-О. 6,0-7,0; ВаО 35,2-39,1.

Основными недостатками указанног стекла являются высокое значение коэффициента линейного термического расширения (54-10 и высокая температура размягчения (730tlO°C).

Цель изобретения - снижение коэффициента линейного термического расширения и температуры размягчения стекла.

Поставленная цель достигается, тем,, что стекло, включаюс-дее SiO , . В2О,, АР2Оз ВаО, содержит указанные компоненты в следующем соотношении , мае.%:

,8-49,9

В2Оз9,7-13,5

10,0-10,5

2.8,7-29,9 ВаО

Конкретные составы стекол и их физико-химические свойства приведены в таблице.,

. СТЕКЛО, в ключ ааяцее Si О j, BjOjf A02®3 BaO, о т л и ч a ю ц ее с я тем, что, с целью снижения коа ф4«Ш1енТа линейного Термического рабвшрения и температуры размягчения, оно содержит указанные компоненты при следующем соотношении, «ас,%: Si0247,8-49,9 BjOj9,7-13,5 Ав Оз10,0-10,5 ВаО28,7-29,9

Температура выработки, °С

Кристаллизационная способность,с

Температура размягчения .с

Коэффициент теплового расширения, 107 град

48,011

Удельное электричекое сопротивление, при 300°С, Ом-см

Химическая устойчивость- (потери массы ),%, по отношению к

1 н. нес 1н. NaOH

1320110

1300 1300

Не кристаллизуется

670110 730110

680110

48,Oil 54±1

48,011

12

10-Ll0 2

12

10

0,14 0,07-0,10 0,90 3,87-4,01 1,91 3,13-3,29

Для синтеза стекол используют Обычную технологию производства, включаюьцую составление шихты, варку стекла в газовой печи в кварцевых тиглях при , выработку изделий методаки отливки выдувания, вытягивание и прессование с последующим их отжигом в электрических муфельных печах.

Приведенные в таблице данные ;свидетёльствуют, что по сравнению

с прототипом предлагаемое стекло обладает пониженными значениями коэффициента теплового расширения и температуры размягчения, что позволяет использовать его для создания проплавленного без трещин рельефа на подложках из ситалла СТ-50 в микросхемах специального назначения и предотвратить деформацию ситалловой подложки при обжиге покрытия.