| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУР С ЗАХОРОНЕННЫМ МЕТАЛЛИЧЕСКИМ СЛОЕМ | 1992 |
|
RU2045795C1 |
| ЭЦР-ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР, СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (ВАРИАНТЫ), ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР ИЛИ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА (ВАРИАНТЫ) | 2003 |
|
RU2216818C1 |
| СПОСОБ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И СТРУКТУР ПОЛУПРОВОДНИК-ДИЭЛЕКТРИК | 1980 |
|
SU940608A1 |
| СВЧ ГИБРИДНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2004 |
|
RU2287875C2 |
| Прозрачная структура для модуляции СВЧ-сигнала | 2023 |
|
RU2802548C1 |
| СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ И МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ВАКУУМНО-ПЛОТНЫХ ОКОН ВВОДА/ВЫВОДА СВЧ-ИЗЛУЧЕНИЙ (ВАРИАНТЫ) | 2016 |
|
RU2654582C2 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СОДЕРЖАЩЕГО НАНОКРИСТАЛЛЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СЛОЯ | 2009 |
|
RU2391742C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ | 1987 |
|
SU1501756A1 |
| ФОТОЭМИТТЕРНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ИСТОЧНИК РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2021 |
|
RU2774675C1 |
| ПЕЧАТЬ ЗАЩИТНЫХ ПРИЗНАКОВ | 2018 |
|
RU2758894C2 |
1. Способ создания многослойных проводящих покрытий на полупроводниковых приборных структурах, включающий нанесение пленок диэлектрика, кремния, металла и нагрев, отличающийся тем, что, с целью сокращения числа операций термообработки, на поверхность каждого слоя металла перед нанесением слоя диэлектрика наносят разделительный слой кремния, а нагрев проводят однократно после нанесения всех слоев структуры.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что нагрев проводят СВЧ излучением со следующими параметрами: длительность воздействия СВЧ излученичя 10-2 - 100 с, плотность поглощенной энергии СВЧ излучения 0,1 - 10 кДж/см2, основная частота СВЧ излучения определяется по формуле
где σ - проводимость металла;
μ - магнитная проницаемость металла;
dmi - толщина отдельного слоя металла;
dkj - толщина отдельного слоя кремния;
N - число слоев проводящих покрытий;
M - число слоев кремния, которое может быть равным 2N или 2N -1.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что нагрев проводят импульсами СВЧ излучения со следующими параметрами: основная частота излучения определяется по формуле (1), длительность отдельного импульса 10-2 - 10-9 с с временными промежутками между импульсами 10-2 - 1 с, плотность поглощенной энергии СВЧ импульса расчитывают по формуле
где Cм - теплоемкость металла;
Tп - температура плавления металла;
ΔЕ - скрытая теплота главления металла;
dм - суммарная толщина всех слоев.
