Способ измерения температурного пика @ - @ перехода Советский патент 1983 года по МПК G01R31/26 H01L21/66 

4 Ш К|

01

сл

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРА- , ТУЙЮГО ПИКА P-N ПЕРЕХОДА, при котором пропускают через переход модулированный ток я измеряют изменение напряжения на прямосмещенном переходе, отличающийс я тем, что, с целью повышения чувствительности, ток через переход изменяют скачком,. .и в течение переходаого процесса дся10;1нятель« ,но измеряют напряжение напереходе, одяовре менно импульсно изменяя ток через переход, а теишературный пик М1ределяют по ммкс где ti, tj время начала импульсиого зменения тока относительно его скачка .. 2 f соотвегствуюпше изменения напряжения на переходе; изменение напряжения на переходе при теьгаёратуре калибров в ки То ( /W экш111япеская вепичина, зависящая от измеренного напряжения на переходе и от тока крез переход.

Фм&| Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использс вано для испытания мощных транзисторов и тиристоров в условиях шнзфования тока и измерения их тепловых характеристик в производственных я лабораторных условиях, например, для определения области безопасной работы мощных тран зисторов и их динамическото теплового юпротивления. Известен способ измерения температурного лика полупроводниковой ст1 Уктуры с помощью ; инфрарадиометра и термочувствительной краски (Iji Недостатком способа является длительность и трудоемкость его операций, а также низкая точность измерения. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату яв ляется способ измерения температурного пика ,р - п перехода, при котором пропускают через переход модулированный ток и измеряют изменение напряжения на прямосмещенном переходе f2). Недостатком указанного спо(юба, является низкая чувствительность при измерениях в импульсном режиме. Целью изобретения является повышение чувствительности к измеряемой температуре. Указанная цель достигается тем, что, в способе измерения температурного пика р - п пе рехода, при котором пропускают через переход модулироваиный ток и измеряют изменение напряжения иа прммосмещенном переходе, ток через переход изменяют скачком, и в тече ние переходного процесса дополнительно измеряют напряженке на переходе, одаовременно импульсно изменяя ток через переход, а темпе ратурны пик определяют по формуле где t, t- время начала импульсного изменения тока относительно его скачка;. - соответствующие изменения напряжения на переходе; cf:. изменение напряжения на переходе, при температуре калибровки Т, М - эмпирическая величина, зависящая от измеренного напряжения на перехоле и от тока через переход. На фиг. 1 изображено устройство для осуществления способа; на фиг. 2 - диаграмма напряжения на р-п переходе. Усгройство для осуществления способа содержит источник Л греющего тока, источник 2 измерительного тока, блок 3 управления, блок 4 выборки и хранения, аналого-цифровой преобразователь 5, микро-ЭВМ 6, испытуемый прибор 7. Способ измерения температурного пика р-п перехода осуществляется следующим образом. От источников I и 2 через р-п переход 7 пропускают электрический ток, который .разогревает р-п переход- В момент времени t 0 сигналом управления от блока 3 греющий ток выключают и через переход 7 течет измерительный ГОК 3. В результате переходного процесса напряжение иа переходе изменяется во времени. Через время t t с помощью блока 4 измеряют напряжение на переходе U и одновременно, а также в момент времени t tпод действием блока 3 управления от источника 2 тока импульсно повыщают ток через переход 7 до величины З, измеряя при этом блоком 4 соответствующие изменения напряжения на переходе сС и сЛСфиг. 2). . Через .преобразовдтедь 5 накопленная информация поступает в ЭВМ 6, где определяется темпеpatypHbiu пик р-п перехода по формуле температура перехода в процессе калибровки; соответствующее изменение напряжения на переходе; : эмпирическая величина, равная 0, 0, 0,213 М 0,870 + 0,031а + где bipasHo 1/Poo- -f-rl J. ( . / ot exp 1 /°о ( - напряжение на р-п перехогдеде при токе через переход J . и температуре калибровки.

Чт 4

О ii h

Фиг.1