( zL, ,5 Вакуум
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для изготовления эквидистантных периодических решеток | 1984 |
|
SU1151904A1 |
| Устройство для совмещения фотошаблона с подложкой | 1982 |
|
SU1053188A1 |
| Устройство для совмещения подложек микросхем | 1972 |
|
SU451220A1 |
| Способ формирования изображения на подложке | 1982 |
|
SU1100604A1 |
| Устройство для совмещения рисунков подложки и фотошаблона | 1977 |
|
SU695433A1 |
| Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки | 1981 |
|
SU959020A1 |
| Устройство для нанесения покрытия на подложку | 1991 |
|
SU1827691A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУХСТОРОННЕЙ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК КВАДРАТНОЙ ИЛИ ПРЯМОУГОЛЬНОЙ ФОРМЫ | 2007 |
|
RU2367526C2 |
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕГАЗВУКОВОЙ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК | 2002 |
|
RU2243038C2 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МАСКИРУЮЩЕГО СЛОЯ ФОТОШАБЛОНА | 1991 |
|
RU2017191C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ, содержащее гибкий фотошаблон, источник актиничного излучения, механизм совмещения фотошаблона и подложки в виде вакуумной камеры с. держателем фотошаблона и держателем подложки, о т л и ч а .tout е е с я тем, что/ с целью пов зИ1зения качества и зделия,- держатель фотошаблона снабжен камерой избыточ:ного давления. (Л
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| и Поль Г.Фотолитография и оптика | |||
| М., Советское радио г Берлин, |Техника, 1979 | |||
| ,2 | |||
| IEEE-Trans,1975, V., p.496 (прототип) | |||
