Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки Советский патент 1982 года по МПК G03B27/02 

Изобретение относится к производству изделий элекроиной техники и . может быть использовано для точного .многократного переноса изображения с , фотошаблонов на подложки при процессах фотолитографии.

Известно устройство для двустороннего совмещения и экспонирования под ложки, содержащее основание, верхний шаблонодержатель, крестовый столик с держателем подложки, имеющим возможность вертикальных перемещений, нижний шаблонодержатель с возможностью вертикальных перемещений, расположенный на другом крестовом столике, микроскоп, верхнюю и нижнюю осветите льные систёь«л 1 J.

Недостатком этого устройства является, сложность конструкции и большое количество органов управления из-за наличия двух крестовых столи- . ков.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для совмещения и экспонирования, содержащее основание, основной крестовый стол с центральным окном, на котором установлен держатель одного из шаблонов. На, основном крестовом столе крепится дополнительный крестовый стол вместе с держателем другого шаблона. На основании закреплен поворотный держатель подложки с механизмом коррекции непараллельности поверхностей подложки и шаблона. Имеются вакуумная система, микроскоп, верхний и нижний осветитель l2j.

В данном устройстве используются два крестовых стопа/ что приводит

10 к значительной сложности конструкции, большо количеству органов управления.:.

Цель изобретения - упрсяцение кон15струкции и повышение удобства работы..

Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено установленными на основании и расположенным в

20 центральном окне крестового стола полым столиком фиксации одного из шаблонов, при этом держатель подложки установлен с возможностью возвратно-поступательного перемещения

25 в плоскости, перпендикулярной к плоскости перемещения крестового стола,

На приведенном чертеже изображено устройство для двустороннего совмещения шаблонов-и- экспонирования под30ложки, разрез. Устройство содержит основание 1, на котором расположены поворотный крестовый стол 2, подвижный 3 и неподвижный 4 осветители , столик фиксации 5, закрепленный на подвижном осветителе 3, микроскоп 6, механизм коррекции 7, расположенный на основании 1, держатели 8 и 9, размещенные на крестовом столе 2 и имеющие возможность независимого вертикаьного перемещения, шаблоны 10 и 11, подложку 12 и держатель 13 шабло на 10.. Устройство работает следующим образом. Фотошаблон 10 крепится вакуумом на держателе 13, установленном на м ханизме коррекции 7. Шаблон 11 устанавливается на столик фиксации 5. Держатель 8 поднимается до контакта с шаблоном 11. Происходит включение вакуума на держателе 8 затем выклю чение вакуума на столике 5. Таким образом, шаблон 11 оказывается закрепленным на держателе 8. Далее дер жатель В йЬднимается до контакта шаблонов 10 и.11 и происходит их плоскопарёшлельное выравнивание и с мещение шаблона 11 крестовым столом 2. Затем шаблон 11 опускается ни ст лик 5, происходят перефиксация вакуумом шаблона 11, с держателя 8 на столик 5, и держатель 8 опускается ниже, поэтому шаблон 11 сохраняет свою ориентацию относительно шаблона 10. На держатель 9 устанавливается подложка 12, он поднимается до контакта с шаблоном 10, после чего подложка 12 ориентируется перемещением крестового стола 2. Далее держатель 8 подхватывает шаЙлон 11, е перефиксацией его вакуумом и привод в контакт шаблон 11 с подложкой 12. Затем из рабочей зоны выводите микроскоп 6, вводится подвижной осв титель 3, и подлояска экспонируется одновременно с двух сторон. Оба дер жателя опускаются, шаблон 11 фиксир ется на столике 5, по-прежнему сохраняя ориентацию, а экспонированная подложка снимается с держателя 9. Такое выполнение устройства упрощает конструкцию за счет того, что отсутствует необходимость в дополнительном крестовом столе и повышается удобство работы за счет того, что операция совмещения шаблона и подложки производится одними и теми же органами управления. Формула изобретения Устройство для двустороннегс5 совмещения шаблонов и экспонирования подложки, содержащее расположенный с возможностью перемещения на основании крестовый стол с центральным окном,, держатели шаблонов, один из которых связан с механизмом коррекции непараллельности рабочих поверхностей шаблонов, а другой установлен подвижно относительно крестового стола, держатель подложки, два осветителя, установленный над механизмом коррекции непараллельности рабочих поверхностей шаблонов микроскоп и вакуумную систему, о т л и ч а ю щ е ее я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения удобства работы, оно снабжено установленным на основании ii расположенным в центральном окне крестового стола полым столиком фиксации одного из шаблонов, при этом держатель подложки установлен с возможностью возвратно-поступательногр перемещения в плос корти, перпендикулярной плоскости переШщения крестового стола. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР 414142, кл. В 41 М 3/0&, 1974. 2.Патент ФРГ 2256739, кл; Н. 01 G 9/05, опублик. 1975 (прототип).