Способ измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках Советский патент 1983 года по МПК G01R33/12 

ел

4

Изобретение относится к магнитеметрической технике и может быть использовано для определения периода страйп-структуры при производстве доменосодержащих пленок.

Самые производительные и точные измерения периода получают на прямой доменной структуре с шириной полосы, равной ширине полосы лабиринтйой доменной структуры размагниченной пленки,

Наиболее близл им к предлагаемому является способ измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках, который заключается в том, что пленку помещают в постоянное маг нитноб поле, параллельное плоекости пленки, и одновременно прикладывают перпендикулярно плоскости пленки переменное магнитное поле, снижают его амплитуду до нуля, снимают постоянное магнитное поле, затем прикладывают перпендикулярно плоскости . пленки дополнительное переменное магнитное поле, амплитуду и продолжителность действия которого подбирают, из1 геряют линейный размер участка пленки со страйп-структурой,подсчитывают количество пряляаос полоссЛвьис домемов, находящихся на измеряемом .участке, и определяют период страйп-структуры путем деления величины линейного размера на количество полосовых доменов 1} .

Однако известному способу свойственны низкие быстродействие и точность измерения.

Цель изобретения - повышение быстродействия и точности измерений.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках, заключающемуся в том, что пленку помещают в переменное магнитное поле, направление которого перпендикулярно к плоскоети пленки, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшают амплитуду переменного магнитного поля до нуля.

Способ осуществляют следующим обра эом.

Пленку помещают в переменное магнитное поле, направление которого перпендикулярно к плоскости пленки. Затем пленку поворачивают в этом переменном магнитном поле на угол

TciKHM образом, что ее плоскость

становится параллельной направлению поля. Во время поворота пленки на нее действуют две составляющие поля - нормальная и тангенциальная. Причем во время поворота значение нормальной составляющей изменяется от максимального до нуля, а значение тангенциальной - наоборот. После поворота пленки она оказывается под действием параллельного плоскости переменного магнитного поля, амплитуда которого с этого момента начинает убывать до нуля. В результате данных операций в пленке образуется прямая полосовая структура с ISb доменами. Ширина прямых полосовых доменов равна ширине лабиринтных полосовых доменов, что соответствует состоянию структуры в полностью размагниченной пленке.

Следукйдая операция способа заключается в измерении линейного размера участка страйп-структуры. Поле измерения линейного размера подсчитывают количество прямых полосовых доменов на измеряемом участке. Процесс измерения завершается определением периода страйп-структуры путем деления величины линейного размера участка страйп-структуры на количество пр51мых полосовых доменов.

Формирование прямой полосовой структуры осуществляется а соленоиде, 8 котором образец пленки может поворачиваться на 90° относительно направления переменного магнитного пля.

Таким образом, предлагаемый спосо позволяет повысить быстродействие и точность измерения периода за счет формирования прямой полосовой структуры переменным магнитным полем, устранения постоянного магнитного поля и дополнительных операций по многокрному подбору амплитуды и длительност переменного магнитного поля.

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРИОДА СТРАЙП-СТРУКТУРЫ В ДОМЕНОСОДЕРЖА-ЩИХ ПЛЕНКАХ, заключающийся в том, что пленку помещгиот в переменное магнитное поле,.направление которого перпендикулярно к плоскости, пленки, отличающийся тем, что с целью повьшюния быстродействия и точности измерений, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшают амплитуду переменного магнитного поля до нуля.