Способ получения электропроводящего прозрачного покрытия Советский патент 1983 года по МПК B05D1/38 B05D5/12 

(Л

С

/СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ на диэлектриках путем вакуумного напыления смеси трехокйси индия и двуокиси олова с последуюыей термообработкой , отличаюадцйс я тем, чю, с целью снижения температуры термообработки, последнюю . проводят в водном насыщенном растjBooe перманганата калия при 70-100 с покрытие обрабатывают в воде, а затем - в 20-30%-нс 1 растворе перекиси водорода.

ел

С/Э

х Изобретение относится к оптическ Му и электронному приборостроению и предназначено для получения прозрачных электродов и антистатических покрытий на поверхности диэлектриков, В.ТОМ числе полимеров с малой термостойкостью, и может быть испол зовано в жидкокристаллических,элект рооптических и фотоэлектрических устройствах. Известен способ получения электр проводящего прозрачного покрытия путем напыления на диэлектрик йодис той меди ij .. Однако покрытие из йодистой меди обладает неустойчивым сопротивление а также малой химической устойчивостью и механической прочность и в большинстве случаев требует защит специальными пленками. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достиг мому результату является способ пол чения электропроводящего прозрачного покрытия на диэлектриках путем вакуумного напыления трехокиси индня и двуокиси олова с последующей термообработкой на воздухе при 180-350 с и отличаются высокой механической прочностью 2 . Однако высокая температура термо обработки не позволяет получать эти покрытия на поверхности полимеров q малой тормостойкостью. Целью изббретения является снижение температуры термообработки, Поставленная цель достигается тем, что Согласно способу получения электропроводйщего прозрачного по крытия на диэлектриках путем вакуумного напылениясмеси трехокиси индия и двуокиси олова с последующе термообработкой, последнюю проводят в водном насыщенном растворе пёрманганата калия при 70-lOO C, покрытие обрабатывают в воде, а затем - в 20-30%-ном растворе перекиси водорода. Срособ реализуется следующим образом. На поверхность диэлектриков, например стекла К-8,полиметилметакрилата, поликарбоната, полиэтилеит реЛталата, .вакуумншл испарением наносят смесь тЪехокиси индия () с легирующей добавкой (10% вес,ч) двуокиси олова (SnO)- с интепэальны светопропусканием ,f «10-55% (в / зависимости от толщины напьшенмой смеси). Осажденную смесь термообрабатыва .ют в водном Насыщенном растворе пер манганата калия (КМпСЗ при ТО-ЮО с :в течение 1ч, промывгиот в проточно воде, а затем обрабатывают в .2030%-ном растворе перекиси водорода при 15 - в течение 0,5 ч. Процесс заканчивают сушкой детали с по--, крытием. При уменьщен;|и времени обработки в растворе КМпО4 светопропускание падает, а удельное сопротивление возрастает. Время термообработки 1 ч, является оптимальнЕлм, так как увеличении продолжительности термообработки последняя не влияет на оп- , тические и электрические свойства покрытия. Водная проивлвка после обработки в растворе КМпО служит для удаления следов марганца, который каталитически действует на разложение перекиси водорода (), а обработка врастворе перекиси водорода служит для окисления светопоглощающи.х следов марганца, кото1 лй может остать/ся в парах окиси индия после тер мообработки. Изменение концентрации перекиси водорода в пределах 20 - 30 и температутжг обработки а пределах 15 25- С практически не влияет на конечные характеристики покрытий. Интервал температур в пределах 70 - 100°С для обработки в растворе пёрманганата калия потому, что ниже 70°С ив УДается получить покрытия с достаточно высокой прозрачностью, окисление при этом идёт недостаточно полно. Повышение температуры обработки от 70 до вызывает увеличение прозрачности и проводимости слоев (см, таблицу), однако выбор температуры обработки определяется термостойкостью подложки. Стекло из полиметилметакрилата, например, не позволяет проводить . процесс при температуре выше , ; Так как при этом на его поверхности образуется так называемое серебро (микротрещины) и возможна его , деформация. Для силикатного стекла, поликарбоната и других более термостойких материалов процесс предпочЦ тительнее вести при , как при этом наблюдается более, высокая прозрачность и проводимость. Обработка в растворе пёрманганата калия при температуре выше не приводит к получению покрытий с более лучшими характеристиками. Предлагаемым способом были получены покрытия на поверхности стекла К-:8, органического стекла из полиметилметакрилата, поликарбоната и полиэтилентерефталатной пленки (см,таблицу),i Светопропускание ,) и удельное поверхностное сопротивление (л,) зависит от толшины (светопропускания) осалщеннОго в вакууме слоя. В таблице приведены данные удельного поверхностного сопротивления() и интегрального светопропусканияр } для окисленных предлагаемым способом покрытий с рг1зличным светопропусканием после нанесения в вакууме. По механической прочности покрытия , относятся ко 2 группе по ОСТ 3-190173 и устойчивы к условиям относительной влажности при ,

Предлагггемый способ позволяет снизить температуру окисления элект( ропроводящегопокрытия с 180 - 350 до 70 - , что расширяет возможОргстекло из полиметилмет акрилата; без покрытия 90%

ности применения малотермостойких подложек. Так, в частности, применение .предлагаемого способа позволяет заменить прозрачные электроды из силикатного стекла (бьющегося и тяжелого) в различного рода жидкокристаллических индикаторах, например, в электронных часах, на прозрачные электроды иэ органического стекла и т.п.

3-10

61 70 73

7-10

1,5-10