Предметом изобретения яво1яется устройство для уплотнения вала, проходящего через стенку вакуумной камеры, посредством подводимых в зазор жидкости или газа под давлением. .
Описываемое устройство по сравнению с известными устройствами того же назначения обеспечивает более надежное уплотнеине, устраняя возможность попадания уплот)1яющей среды внутрь какгеры.
Для этой цели в устройстве применено окружающее вал кольцеобразное , из которого направленная в сторону от вакуумной камеры струя жидкост ИЛИ газа перекрывает зазор валом и краем отверстия в стенке камеры.
На чертеже изображена схема устройства.
Вращающийся на большой скорости вал / проходит через стенку 2 вакуумной камеры, образуя зазор 3.
Вокруг вала расположены кольдеобразиое сопло 4 и сопло 5.
Жидкость (или газ) подается под. давлением в полости 6 и 7, проходит сопла 4 и в виде струи, направленной в сторону от вакуумной камеры, входит в полость 6, плотно перекрывая при этом зязор 3.
Предмет изобретения
Устройство для уплотнения вала, проходящего -.ероз стенку вакуумной камеры, посредством подводимых в зазор жидкости или газа под давлением, о т л ;i ч а ю щ е е с я тем, что, с целью предотвращения возможности попадй1И1Я уплотняющих жидкости или газа внутрь камеры, применено окружающее вал кольцеобразное сопло, из которого направленная в сторону от вакуумной камеры струя л идкости или газа перекрывает зазор между валом и краем отверстия в стенке камеры.
