Устройство для удаления рабочего агента с поверхности изделий в установке для жидкостной обработки Советский патент 1983 года по МПК B08B15/02 

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других областях промыпшенности для осуществления струйной обработки с последующим удалением рабочего агента с поверхности изделий,

Известно устройство для удаления рабочего агента с поверхности изде ЛИЙ, включающее держатель изделий со средством его вращения и установленный над держателем колпак l .

Недостатком устройства является низкая эффективность удаления рабочего агента, проявляюп аяся в том, что капли, находящиеся на внутренней поверхности колпака, срываясь, попадают ни обработанное изделие, что приводит последнее к браку.

Цель изобретения - повышение эффективности удаления рабочего агент

Поставленная ю льдостигается тем, что устройство для удаления рабочего агента с поверхности изделий в установке для жидкостной обработки, включающее держатель изделий со средством его зращения и установленный над держателем колпак., имеет защитную сферич:ескую перегородку, установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону, причем в перегородке выполнены отверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности ее выпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностного натяжения. .

На фиг. 1 изображен колпак без . защитной перегородки/ на фиг. 2 исолпак .со сферической защитной перегородкой. .

Устройство содержит емкость 1, в которой размещен вращающийся с помощью привода (не показан) держатель 2 с упорами 3 для установки и крепления изделий 4 с фоторезистором, форсунки 5, закрепленные на наружной части колпака б, предназначенные для жидкостной обработки изделий 4 с фоторезистором, сферическую защитную перегородку 7, установленную во внутренней части колпака 6, отверстия 8 для форсунок 5 и отверстия 9, выполненные на поверхности защитной перегородки 7, пневмоцилиндр 10 вертикального перемещения колпака б.

Устройство работает следующим образом.

При поднятом колпаке 6 на держа тель 2 в упоры 3 устанавливаются изделия 4 с фоторезистом, после чего колпак 6 со сферической защитной перегородкой 7 при помощи пневмоцилиндра 10 закрывает емкость 1, накрывая при этом держатель 2 с установленными на нем изделиями 4.

После этого включается привод вращения держателя 2 (не показан) и подается рабочая жидкость через форсунки 5 на обрабатываемые изделия 4. После окончания процесса жидкостной

5 обработки подача рабочей жидкости . через форсунки 5 прекращается и подается вода для промывки поверхности изделий 4. По окончании промывки держатель 2 с закрепленными издели0 ями продолжает вращаться, .при этом .

удаляется (сбрасывается) оставша, яся на поверхности изделий. 4 жидкость.. .

При подъеме колпака 6 вверх ос5 тавшиеся капли на внутренней поверхгности колпака не могут попасть на поверхность изделия 4 и привести к браку. В предлагаемом устройстве при вращении держателя 2 с обрабаQ тываемыми изделиями 4 со скоростью 2000-2500 об/мин создается из мелких капель распыляемой форсунки 5 рабочей жидкости увлажненное тороидное поле. Это поле располагается между вращающимся-держателем 2 с

изделиями 4 и защитной перегородкой 7. Вращающийся держатель 2 с изделиями 4 начинает увлекать за собой распыленную рабочую жидкость, которая, соприка саясъ с рабочей поверхностью защитной перегородки 7, начинает дробить крупные капли рабочей жидкости, появляющиеся на защитной перегородке 7, и, перекат 1вая их из- отверстия в отверстие,

сбрасывает их в нерабочую зону, откуда они стекают в слив.

Применение предложенного защитного устройства позволяет уменьшить процент брака операции пройвления

фоторезиста i,и довести его до 3-5%

а также уменьшить трудоемкость операции проявления фоторезиста в.

2j5 раза

Годовой экономический эффект от использования устройства составляет 10,0 тыс.руб.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ УДАЛЕНИЯ РАБОЧЕГО АГЕНТА С ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ, включающее держатель изделий со средством его вращения и установленный над держателем колпак, отличают е.еся тем, что, с целью повьоаения эффективности Удаления рабочего агента, оно имеет защитную сферическую перегородку, установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону, причем в перегородке выполнены отверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности ее выпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностнрго натяжения.