Смотровое устройство для вакуумных установок Советский патент 1984 года по МПК F27D21/02 

Изобретение относится к вакуумной мета,;-1лургии.

. Известно смотровое устройство для вакуумных установок, содержащее герметичный корнус, смотровое стекло и защитный экран, выполненный в виде непрозрачного диска с узкими радиальными щелями и с механизмом вращения. При частоте вращения диска более 1500 об/мин больщинство летучих частиц осаждается на диске или боковых стенках щели, при этом обеспечивается хорощая видимость объекта наблюдения 1.

Однако в указанное устройстве расположенный снаружи рабочей камеры защитный экран (диск) одним своим краем заходит в рабочий объем камеры и нарущает ее герметичность. Кроме того, необходимость вращения экрана с высокой скоростью усложняет конструкцию устройства.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является смотровое устройство для вакуу|цных установок, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота 2.

К недостаткам известного устройства следует отнести необходимость частой смены защитного экрана и малый угол обзора (Л ±5°). Повыщение ресурса работы экрана можно достигнуть увеличением его размеров или же увеличением количества экранов, но оно приводит к усложнению, конструкции устройства.

Цель изобретения - упрощение конструкции и увеличение угла обзора устройства.

Поставленная цель достигается тем, что смотровое устройство для вакуумных установок, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота, снабжено выполненной с возможностью поворота в корпусе трубой с закрепленными на ее торцах смотровым стеклом и зеркальной системой, например поворотной призмой, а прозрачный защитный экран выполнен в виде полого цилиндра, охватывающего зеркальную сиете.му и установленного соосно трубе с возможностью продольного перемощения,

Ни фиг, 1 показано смотровое устройство, продольное сечение; на фиг. 2 -- сечение А-А на фиг. 1,

Устройство состоит из цилиндрического герметичного корпуса 1 с патрубком 2 для

крепления устройства на вакуумной . На одном торце корпуса 1 коаксиально ему установлено смотровое стекло 3, скрепленное фланцами с трубой 4, на свободном конце которой укреплена зеркальная система, например поворотная призма 5. На другом торце корпуса 1 соосно со смотровым стеклом 3 установлен защитный экран в виде прозрачного цилиндра 6, закрепленного на щтоке 7, с помощью которого цилиндр 6 можно поворачивать вокруг оси и продольно перемещать. Сечение патрубка 2 конусообразно расщиряется в направлении, перпендикулярном продольной оси корпуса 1. Герметичность устройства обеспечивается вакуумными уплотнениями.

Смотровое устройство работает следующим образом.

Устройство устанавливают на вакуумной камере так, чтобы продольная ось патрубка 2 совпадала с продольной осью отверстия в стенке вакуумной камеры. Пилиндр 6 перемещают в исходное (крайнее левое) положение. Поворотом смотрового стекла 3 устанавливают призму в нужное положение и ведут наблюдение, поворачивая призму в ту или иную сторону (предельно на ±45°). Летящие из рабочей зоны частицы или пары металлов оседают ла прозрачном цилиндре 6 только на участке, ограниченном сечением патрубка 2. После потери прозрачности этого участка цилиндра б его поворачивают и так повторяют, пока вся кольцевая часть цилиндра, расположенная против патрубка 2, не окажется полностью запыленной, после чего перемец),ают цилиндр 6 вдоль оси так, чтобы против патрубка 2 оказался чистый кольцевой участок цилиндра. По мере запыленности вновь поворачивают цилиндр на необходимую величину и операции повторяются.

Отсутствие каких-либо приводов значительно упрощает конструкцию устройства, позволяет выполнить его компактным.

Возможность поворачивать призму на значительную величину от среднего положения (на ± 45°) обеспечивает обзор на много больше, чем в известных устройствах, рабочего участка в вакуумной камере при одновременном уменьщении запыляемого участка прозрачного цилиндра, повышает качество контроля за ходом технологического процесса, а следовательно, и качество получаемой продукции,

Увеличивая в допустимых пределах диаметр и длину цилиндра 6, повышают надежность работы устройства.

СМОТРОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения угла обзора устройства, оно снабжено выполненной с возможностью поворота в корпусе трубой с закрепленными на ее торцах смотровым стеклом и зеркальной системой, например поворотной призмой, а прозрачный защитный экран выполнен в виде полого цилиндра, охватывающего зеркальную систему и установленного соосно трубе с возможностью продольного перемещения , 6 5 / / /