СТРОБОСКОПИЧЕСКОЕ СМОТРОВОЕ ОКНО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1973 года по МПК C23C14/52 

1

Изобретение касается обработки изделий в вакууме и может быть использовано для визуального контроля за процессами в вакуумной камере.

Известно стробоскопическое смотровое окно для вакуумных установок, содержащее два соосных защитных экрана с прорезями и вращающий экраны электродвигатель. Однако известная конструкция смотрового окна пе позволяет регулировать его светопропускание для обеспечения наблюдения за объектами в камере при разной их яркости.

Цель изобретения - регулирование светопропускания смотрового окна для обеспечения наблюдения за объектами в камере при разной Ех яркости. Поставленная цель достигается тем, что один экран выполнен с широкими прорезями, а другой - с широкими и узкими, причем один из экранов - ведущий жестко связан с валом электродвигателя, а другой - ведомый связан с ведущим через упоры, два из которых закреплены на экране, а один - между двумя первыми упорами на другом экране.

На чертеже изображено предложенное смотровое окно.

Смотровое окно содержит соосные защитные экраны 1, 2 с прорезями и вращающий экраны электродвигатель 3. На экране 1 выполнены две симметрично расположенные щирокие прорези (около 90° по окружности диска) или одна прорезь (около 180°). Па экране 2, кроме того, сделаны две узкие прорези шириной порядка 1 мм, смещенные относительно осей широких прорезей па угол 90° (180°, 60° и т. д.). Экран 1 приводится во вращение непосредственно электродвигателем 3, а экрану 2 вращение передается от первого через специальные упоры 4. Па экране 1 имеется два упора, смещенные один относительно другого на 90°. На экране 2 - один упор, расположенный между упорами экрана 1. Помимо экранов в виде дисков, могут быть использованы и экраны другой формы, например цилиндрические.

При наблюдении нагретых до высокой температуры испаряющихся объектов экраны 1, 2 вращают в направлении, при котором совмещаются щирокие прорези экрана 1 и узкие экрана 2, т. е. стекло защищается от напыления. Совместив перед смотровым стеклом 5 щирокие прорези обоих экранов, можно вести наблюдения при нулевом ослаблении.

Поворот экранов 1, 2 относительно друг друга можно осуществить вручную за вал приводного электродвигателя 3 или реверсированием электродвигателя. Для того, чтобы самопроизвольно не изменялось заданное направление вращения и взаимоположения экранов 1, 2, надо подобрать их массы и коэффициенты трения в их опорах таким образом, чтобы свободный выбег ведущего экрана 1 был больше, чем выбег ведомого 2, и экраны были сбалансированы.

Для увеличения продолжительности работы без очистки стекла целесообразно расположить между стеклом 5 и экранами 1, 2 поворотный защитный прозрачный экран 6, например стеклянный.

Предмет изобретения

Стробоскопическое смотровое окно для вакуумных установок, содержащее два соосных

защитных экрана с прорезями и вращающий экраны электродвигатель, отличающееся тем, что, с целью регулирования светопропускания смотрового окна для обеспечения наблюдения за объектами в камере при разной их яркости, один экран выполнен с щирокими прорезями, а другой - с широкими и узкими, причем один из экранов - ведущий жестко связан с валом электродвигателя, а другой - ведомый связан с ведущим через упоры, два из которых закреплены на одном экране, а один - между двумя первыми упорами на другом экране.