Сверхвысоковакуумный клапан Советский патент 1984 года по МПК F16K3/02 

Изобретение относится )yi арматуре и может быть liciio.n разделения csepxebicoKoiuiKvyyi: или отключения их от jiTMc-cibcfi в сверхвыеоковакуулш;лх тлю:;; технологичееко1Ч) обор)удов;),

Известен высоковаку М1:Ы : к, пусе которого установлены :s, на направляющих и механи SM пч ния. Запорный opian связа с ;и ным механизмом перемещспн ;, : установлен упор, центрируюним орган относите.1ыш се;|.ла.

Наличие до олните,:Ь}1О1Ч) ме: ремеи;ения позволяет ле(Ьор.и-1р() ным органом материал уилотиг/. с каждым разом на все 6(),;b:iiv и с необходимым усилием 1,

Однако конструктиииос H.i.iiii иолнительног-о механизма исч)сл: иорного органа требует на.Ичя ного (дополните,ibHoio) 11р1(15()да, няет управление нзвест:-И)1М маг

Наиболее б.и--:зким но т;;-:чин1 ности к предлагаемому ян:;я; 1 вакуумный клапан, содсрж;ии в котором установ.лена с уюзм;)/ ремещения в направляющих (И) с размещенным на ней за:;;г)1:1 механизм его 11еремеще}П1я iiepnt оси нроходного отвсрслтк, ;10), щий запорный орган OTHOCMTIM ного отверстия, и лр;:в хт ,;;

Конструктивное вьи олисн;, перемещения заног)ног() иргал, совместить иеремеи, u.jxu) в закрытое положег1ие и г/:)м;; жатие его к седлу в олн(м ir.-: привода 2J.

Однако этот вакуумлы; кл, применить в criepxBi,icoK(:iuib: мах для передачи к)-тя1ис:ч) ип нривода, так как при исаоi :3;;И клапана, в сверхвысоконаку- м;; необходим сяерхвысоковак.лЧИ::: щения. Крутян1ие момегги,. л-, известн1)1ми KOHCTiV/KiuiHMt: вакуумных вводов ираиими:-. и д;1я поджатия 3ai 0pi:or() opiaii усилием, обеснечиваккиим лл; ния в уплотнении .пл пи л:е точные д;1я достижении cBcpxiu.i ной плотности в затворе K.:ia;i;)i

Цель изобретения liOEii.iii: ности герметизации.

Поставленная цел) д()сти -и;в сверхвысоковакуумном кл;п:; ; щем корпус, в кото(Н)у. ycr; пог можностью перемещения иа: опорная рама с размен1е:1нь:м ii; ным органом, механизм его нериендикулярио оси ч)оход юг; унор, центрирующий 3ariopi;i,;i сительно ироходного (Пверсш:.. ;

СверХЕ5Ь С() , .: пы л;;а liaii :абс)т;и i следующим обр11;к;л:.

В замкр)1том И),-()/к(Ч1ии K/iaii-iiia u:. ;:р ный opraii 5 поджат опотпой рамой 4 к ,сл лу 3, а и1а.рпир11(р,)1Й 1е)сдат ч;1::;й механизм 16 находится под ли ствием раст/пр/т on ( н:5всде} К}й ; .:Г.- .т ты 31, при экп ромб 18 Я1 дяется ве.г. ;п,м . , а 17 и 19 ведомым;; нв(.кья-.и мелипи:- :та 1 fi.

Для OTKphnnj -.лапапа перелгешакт iirioK 11 в напранле::1и стре;1кк В. при слкн: пая рама 4 сонмчтпо ( () iiiai)inipo 2П перемеитаетги : иа;м5авле1 ии , ii пакдон;;ыч Haiijibii.isnoninx 34 и тг. т г ка 13 niapHHp:-: 12 перемещаетг.; п патх i :. Рима. по|)еме1П,аяс., o piiinaei ; ; т:м , :ян :: от (4Tl.ia 3 TlTiitiлПн;: Т;:; : т -

1:рИ ilCUi M(TV;h v; ..:.,; j .;, ТДТ IT :., .: с i;; до;1ьиой otT; i;:4)i:()A рамы 4, fi т.,:;, iте сб;1п/к( T:a|)i;;ip)i 29 и 30 .. TiCTi) ромба IH iiOT. ттмттипсм пр /к;дт,. 3 .KIO должасг п ри T-T,i ат1) та iioonjii: op .- . : к упору ;3. .ia.ibiUTiiiis Ni птрт .:..мт опорпой - 17 птр1:и:)::м 33 -;;1т рается в дсмт;/ тт()1м .тюр 32. Иот.-iO чего вед п;им :ятTV .т. .-;д:ичма 12 с; а .HTTI сн ромб 17. Д1.)Ч i о, ск/ адыиаяе ; ) оси 22 опорной ;TMi,- 4 н резх/п/га- е );: TTI : жепия inapKUvii; И i 42 ;х)мба 17. .Tiies т даст ;-.а11О;лП)1П opiaii 3 з на1 раНс;и.т;11чх 9 и 10 oiiiijaoT TTTiji 4 в )ав. т.т(:т ньтельпого , MIT 42. 1 .т1:ое отт;ертт..- 2

1ОЛ1ЮСТ1):О ОТК : I: - етт;pa:шигaя ь. ;; кю т;-, TI скорое ; , перет. т:. .I-TJ и paceTvjiTiti -); Т

-)ТИ napSV(TT:ji ;;Т;Т.11

i;p()ii:;Ti тт. -i , ров ве.оммх -- 1. И) бо в.

1 1 в ;:а;: 1а;;.. iTiii :i)n1п, упираяеь П1арнпром т.-.ia 17 в допо.пште.чьпый упор 32, уд: :ен вдоль оеп 22 опорпой-ра.мы-4 в ред; i е ебдижеппя шарнпров 29 и 30 ведуромба 18 по;д, действием 31. рп)1Й opraii 5 перемещается в паправлетрО.ходпого отверстия 2 в па11рав,1яю4 li it) опорпой рамы 4, опережая ее.

1а, перемещепии опорной ра- апоррый орган 5 упирается в упор 15, -:ег-;) пкарнпр 33 ромба 17 отрывается ч(Т пптельного упора 32. а опорпая ра 1рододжая перемещаться в паправляю31 и .vo. прижпмает запорный орган 5 .т 3- с пеобходи.мым усилием. В резульocTaiiOBKi; niapi-aipa 24 и перемещения |:)й рамы 4 совместно с общим inapiutо меха:1изм Hi ек,1адывается вдоль оен

11:арп1 ры 29 и 3t). 1аздвигаясь, взво|1 Ж|1 31. 5 по.чожепии клапап

1ир11(-1-рычажиЫ11 псрсдаточньп- т-авпсимостп от состпкипения ,,де1о и ведомь;х ромбов, а также 1-мостм (Т)- Ko.intiecTBa ведомых ромес 1е-:ивает перемешепие запорпого TT-i 1: тк 1ытого положения в закр1ятое п(.1 еремеп1епии штока привода 1 неколько раз мепы1 пй, чем диаметр тг;) (Т1зс)стия клапана, что позьипа1чт1 41ствие пред.1агаемого к, и ii копе сверхвыеоковакуу Т тп; т1п;,ое выполнение э; ементов т;:-;), lieoe.iaTonnoro мехаoeeneiTiBaeT ав чшатнчпость ирикедеTpi oio органа в исходное положение. :;;ч1)-Д)К(1и)мичеекая эффективность заея в повьипенг; работоспособности, гер ет1 3аннп клапана в услое Т ;15ысокого вакуума, в умепыпении . leiiiiH с поверхностей шарнирнотго -TexaniTrvia. в результате чего /ей 1;сТ4ежность ноддержапия сверх;; в систе.ме, в улучшении )()нанпя клапана. 35

Сраг. 2

б-б

Фиу. J 0

СВЕРХВЫСОКОВАКУУ.М1-1!оИ1 КЛАП.АН, содержащий корпус, в к{)т()[)ом установлена с воз.можностью переменим!}!?! в направляюш.и.х онорная рама с размемкм!- ным на ней запорным органом, ме.ха1-:изм его перемещения перпендикулярно оси iipo.xo;;-iioi'o отверстия, \i:op, центрирующий запорный орган от110с!;те,'|Ь!н) проходного отверстия, и. привод, от.1и';аю!цпися тем, что, с iUMbio повышен!-;» !1адежностн герметиза- !1ии, корпус сна6>&!\сн дополните,чьным упо- p()^l. а мс\ан!1зм нерсмещсчп'.я запорного ор- !апа вь!!!о,тнеп в nii.ic шарппрпо-рычажного механизма, состоя!цего из размещенны.х вдол!) 1:родо,'1ьнон ОСИ опорной рамы ромбов с ooiiLHMii inapnnpaMii, npnHCN! один из край- !1их pO!\i6oB соединен с запорным органом, а ,!!1\ !'oii \станов,1ен с !K)3^lo>&^^нocтью взаимо- дс!1ствпя с до!!0,'1пительным упором, обнд.ий сг- сто'.хжь: допол;!ите,'1ьпого учюра ншрннр :',ик'.)с-11леп на or.opnoii раме, ншрпиры одпо- !'() i!:i ix.iMOOB, распо.юженные по разные сто- iJO'ii-.i О'!' i;po;io;ihiioi'i оси oiiopHoi'i рамы, нод- 11;;\'х<инспы. iipH Э'юм направляющие кор- -iiyca вьлюлпень! с !п^cxoдя!пи^j в сторону п[К)ходн()го отверст!!я ук,'1оном, а рама сое- ди!чсь:а с при1;одо.м нодвнжпы.м inapHispoM.Ф(ЛАо •^со00to>&