Криогенный насос Советский патент 1984 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике. Известен криогенньш насос, содержащий откачивающий элемент, выполненный, в виде сосуда (l-j. В известном насосе имеет место значительный расход хладагента. Известен также криогенньй насос, содержащий корпус с крьшкой и установленные в нем откачивающий элемен выполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, шевррнньш и радиационный экраны, последний из которых снабжен охватывающей его обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиапьно сосуду 2j / Недостатками известного насоса является неразборность конструкции, наличие подсоединительного фланца только снизу насоса и в связи с этим неоптимапьность конструкции для использования его при откачке напьш тельных установок и других камер, где откачку надо производить снизу. Кроме того, в известном насосе большой расход хладагента. Цель изобретения - снижение расх да хладагента и повышение надежност Указанная цель достигается тем, что криогенный насос, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, щевронный и радиационньш экраны, послед ний из которых снабжен охватывающей его обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосу ду, снабжен дополнительным экраном, охватывающим сосуд и расположенным внутри радиационного экрана, и тепл проводами, закрепленными одним концом на трубках-подвесах, а другим на верхней части дополнительного эк рана, и крьш1ка снабжена втулкой с кольцевой выемкой, перфорированное кольцо - пазом, а обечайка - выпуклы ми верхним и нижним зигами,, размеще ными соответственно в выемке и пЗзу причем в каждом зиге с внутренней стороны расположен бандаж. Кроме того, нижние торцы трубокподвесов размещены в полости сосуда над плоскостью, проходящей через ег центр тяжести-. Каждая трубка-подвес снабжена по соединенной к ее нижнему торцу одним концом /-образной трубкой, другой к нец которой размещен в верхней части полости сосуда и имеет скос. На фиг. 1 изображен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - узел Т на фиг. 1; на фиг. 3 - узел П на фиг. 1; на фиг. 4 - узел Ж на фиг.1. Криогенный насос содержит корпус 1 с крышкой 2 и установленные в .нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3,- расположенного в корпусе на трубках-подвесах 4, шевронный и радиационный экраны 5 и 6 , последний из которых снабжен охватывающей его обечайкой 7 с перфорированным кольцом 8 и размещен коаксиально сосуду 3. Насос снабжен дополнительным экра ном 9, охватывающим сосуд 3 и расположенным внутри радиационного экрана 6, и теплопроводами 10, закрепленными одним концом на трубках-подвесах 4, а другим на верхней части дополнительного экрана 9, и крьшка 2 снабжена втулкой 11 с кольцевой.выемкой 12, перфорированное кольцо 8 пазом 13, а обечайка 7 - выпуклыми верхним и нижним зигами 14, размещенньпчи соответственно в выемке 12 и па ЗУ 13, причем в каждом зиге 14 с внутренней стороны расположен бандаж 15. Нижние торцы трубок-подвесов 4 размещены в полости сосуда 3 над плоскостью, проходящей через его центр тяжести. Каждая трубка-подвес 4 снабжена подсоединенной к ее низшему торцу опним концом /-образной трубкой 16, другой конец которой размещен в верхней части полости сосуда 3 и имеет скос. : При работе насоса откачиваемый газ конденсируется на сосуде 3. При предлагаемой конструкции насоса устранена необходимость прогрева корпуса и сокращено время выхода на предельньй вакуум, так как весь объем вакуумного зазора крионасоса между корпусом и радиационным экраном отделен от объема, непосредственно сообщающегося с откачиваемой камерой. Наличие теплопроводов позвол ет осуществить более эффективный теплосъем с верхних частей трубок-подвесов. Так как трубки-подвесы выполнены более длинньмй и снабжены /-образными трубками теплопритоки по ним к хладагенту значительно снижены. Наличие на обечайке зигов с размещенными в них бандажами позволяет обеспечить возможность многоразовой и надежной сборки-разборки криогенного насоса.

1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-noftBecax, шевронньй к радиационный экраны последний из которых снабжен охватьюаю щей efo обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду, отличающийся тем, что, с целью снижения расхода хладагента и повьшения надежности насо/ Ч ТЕНИЯ/ охватьшающим сосуд и раТзшоложенным внутри радиационного экрана, и теплопроводами, закрепленными одним концом на трубках-подвесах, а другим на верхней части дополнительного экранаJ и крьшка снабжена втулкой с кольцевой выешсой, перфорированное кольцо - пазом, а обечайка выпуклыми верхним и нижним зигами, размещенными cooTBeTcijBeHHo в выемке и пазу, причем в каждом зиге с внутренней стороны расположен бандаж 2.Насос по п. 1,отличающий с я тем, что нижние торцы трубок-подвесов размещены в полости сосуда над плоскостью, проходящей через его центр тяжести. 3.Насос попп. 1и2, отличаю щ и и с я тем, что каждая трубка-подвес снабжена подсоединенной к ее нижнему торцу одним концом V-образной трубкой, другой конец которой размещён в верхней части полости сосуда и имеет скос.