Криогенный насос Советский патент 1986 года по МПК F04B37/08 

2.Насос по II. 1, отличающийся тем, что откачивающий улемеит снабжен сквозными каналами, расноложенными соосно трубкам-подвесам, а трубки, сообщаюнхие кольцевой сосуд с заливным экраном, расно- л(JЖOны в Kaiia.iax с зазором относите,:1ьно их стенок,

3.Насос по и. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения удобства :(кснлуа- гацни обеспечения визуального копт1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов, нредназначенных для по.мучения и поддержания вакуума в нанылительных установках.

Нельк) изобретения яв.мяется н(Л ЫЦ1ение )действия при использовании насоса в нанылительных установках, а также повы- Н1ение удобства эксн.чуатации нутем обеспечения визуальногч) кон1ро;1Я за работой этих установок и возможности достуна к нагпмляе- мому изделию.

На фиг. I представлен насос, установленный на п,тите на11Ы. 1ительной установки, продольный разрез; на фиг. 2узел I на фиг. 1; на фиг. 3 уз. 1ы II и 111 на фиг. 1.

Криогенный насос содержит вертикаль- 1н,|й корпус 1 с входным патрубком 2 в нижней часги, откачивак)Н1ий элеме|гг 3 и плоский нк вронпый экрап 4, размен1енные в кор- нусе 1 внут)н радиационного экрана 5, свя- занно1() с за,чивн1)1м экраном (i, снабженным 1 рубками-нодвссами 7. Насос донолни- те, 1ьн() содержит ко.|ьцевой сосуд 8 для хлада1чч1та, охватьшаюший пкмфонный эк- )ан 4 и сообп1енный с заливн1)1м экраном 6 н)и Н()моп1и Iрубок 9, цн.пиндрический шев- )онный экран И), размешенный коаксиально внутри радиационного эк1 )ана 5 и соединенный с 1енловым контактом в верхней часги с кольцевым 8 и плоским шевронным экраном 4, а в нижней части с радиационным экраном 5, и криопанель, вы нолненную в виде обечайки 11, размен1енной коаксиа.тыю между радиационным и цилиндрическим шевронп1,1м экранами 5 и 10 и закрепленной с тенлов1 1м контактом на откачи- ваю1цем э,:1ементе 3, нричем радиационный экран Г) снабжен кольцевЬ)1мн ({)ланцем 12, закренленным на его нижнем торце при но- моши теплового моста 13, а заливной экран В CKB(j3nbiM цилинд()ическим осевым каналом 14 и размешенным в пос.чеднем доно.-щи ге.1ьным 1не; }М)Н1н,1м экраном 15.

роля за работой нанылительных установок и возможности достуна к напыляемому из- де;1ИК1, Kcjpiiyc снабже) боковым натруб- ком, а в радиа 1иопном и ци.1индрическом шевронном экранах и обечайке соосно боковому патрубку вынолпены от1 ерстия, нричем упомянутые экраны снабжены )ас11о.-1()жен- 1П.1МИ в (ггверстиях патрубками и установленным в них с возможностью осево() нере меп1,ения ко. нд1евым элементом, контактирующим с внутренними поверхностями патрубков

5

0

5

5

()i качивающий элемент 3 снабжен сквозными каналами 16, расположепными соосно трубкам-подвесам 7, а трубки 9, сообщающие ко,. 1ьцевой сосуд 8 с заливным экраном В, расположены в каналах Hi с за.зором относительно их стенок. Корнус 1 снабжен боковым натрубком 17, а в радиационном и ци. 1индрическом П1европном экранах Г) и 10 и обечайке 11 соосно боковому патрубку 17 выполнены отве|)стин, п)ичем экраны 5 и 10 снабженЬ) расположенными в огвероияч нат- рубками 18 и 19 и установленным н них с возможностью осевого перемещения кольцевым элеме1ггом 20, контак гпруюшим с внутренними новерхноетями патрубков 18 н 19. В патрубке 17 установле1И), например, стек- . Ю 21, обеснечиваюн1ее визуа.чьный контроль за работой усланоики. 1 илип.чрически П1евронный экран 10 соединен в Bep.neii части с ко.тьцевьгм сосудом 8 н плоским П1евронным экраном 4 н)и HOMOIILH кренеж- Н1)1Х э.чеменгон 22 и 23, а в часги с радиационным экраном 5 при помощи крепежных элементов 24 и 25. Kopiiyc 1 уста- нсзвлен на н;1игу 2() напылите,11Л1ой установки, снабженную клапаном 27 np(.4 U apHTLMbH(j. го вакуумировапия и сто.. 1ом 28. копчакги- руюнщм с K(j, ibneBbiM ф.чанцем 12 н имею- 1ПИМ нагекагель 29.

Насос работает следуюн1им об)азом.

11осле установки корнуса 1 насоса па плиту 26 и 1Ч ).метизации входною патрубка 2 производят предварительное вакчлми ровапие нолс)сти корнуса 1 через клапан 27. Затем заливаю жидкий азот в заливной экран 6 и ко.чьневой сосуд 8, ч ю нрнводит к охлаждению экранов 4, 5, 6 и 15. /la.iee за:1ивают жидкий гелий в откачивающий э.че- ме}1т 3 и после ох,1аждения его и обечайки 1 1 насос готов к раб(.)те с га.зово на- 1 рузкой, обусловленной нроведепием технологических операций с изделием, нредвари Te ibHo ycTafioB, u4{nbiM на стг),1е 28. Нсли технологические опе)ацин сопровождай)iся

Г)()/1Ы11ими г a:u)i 1)1 делениям и водород;, то в насос подают чере.ч натекатсч н. 29 газообразный азот иди а)гон. который, конденсируясь на 11ове),хностя. откачивающего мента 3 и обечайки 11, ()Г)|)азует с,той крио- сорбента.

В процессе проведения ix XHo. югических операций над издедием осушесги.тяют ви- зуадьный контро,:|Ь за iifionecc OM через стекло 21 натрубка 17 На же патрубке может быть уетанои.1ена )азлпчная тс хноло- гическая оснастка д/1я доступа к изделию, например манипулятор. Наличие подвижного кольцевого элемента 20 позво,1яет легко, в случае необходимости, разобрать насос или снять один из экранов 5 и.пи И).

Нред,чагаемый иас ос нозиоля исиоль . ва-|Ь корпус I насоса в качес1ве колпака на11Ы,1Ительи(П1 установки, чго обеии-чниас разме цение наньмяемого нзде.шя иепосре i стиенно в обьеме насоса и тем самым по иьппает быстроде11С1 вис.

Иа.тпчпс теп.юио о Moc i;i 1.4 н жд ра диационным :(крапом и и колыцчи, (|)л; и нем 12 снижает i еп/юпри юк к ткрапх и: cro.ia 28, к которому (fj.iaiien 12 ii. O ino ii) мыкас т, обеспечивая минпмчм га-ювом) потока из полости между корпус ом I и радиационным :1краном 5. которая рус К я откачивак)пи1м :(, 1ем(Ч1Т)М 3 ;io ИО.1ПИТ1МЫ1ЫЙ шевронный :)К)аи 1 Г) и oceBoit капа, 1 14 за. пниюго скрапа Г.

Pr.uiK I lp : I Ь Вхан -i,ik;i t 1 i8,4 L 7

KI )гк 11 ;i

i In -.IIMi lli (

(j)CT;iMn 14.II, И Ь I -iKi. Гехрсл M lir;,, ( Тираж ВИИИ11И Госуларстш-инп.:, кпмикч.) ((. P

no .Н Лам изобретший и г к;|| ;гии

||.().ЗГ), Миеква, Ж- 35. Ра 11И-кая .:-С).. л t .

Филиа.и ПИП «Патент, i .V/tM (ii-.i:.;. .i Прш-к i iiisi 4

KI )гк 11 ;i 111.1: Mil

i In -.IIMi lli (

((. P