Способ получения монокристаллических прутков германия Советский патент 1957 года по МПК C30B13/00 

При поллченш монокриста.кчичеекнх прутков германия методом бе:;ТИГеЛЬНОЙ ЗОКРЮЙ ПЛамКИ прутки

получаются зиачмтолыго болыпего диаметра, чем треблется для и;5готовлення пластгШ, иримемяемых в полупроводниковых приборах.

Изготовление из этих ирутков пластин требуемого сечекия связано с образованием большого количества отходов, что резко велич;И5ает расход германия.

При изготовлении же ирутков малого диаметра методом вытягивання из расплава производительность установок весьма мала, а получаемые прутки не имеют достаточно равногаерного сечения.

Описываемы ; способ получения монокристаллических прутков германия методом безтигельной зонной плавки позволяет, получать прутки малого диаметра постоянного сечения, что в несколько раз сокращает расход германия при изготовлении приборов.

Способ отличается тем, что, с целью достижения постоянства диаметра прутка при постоянном удельном сопротивлении и Г1Остоя1ПЮ11 дифф -зиоииой длине его, монокриста..И1ческне прут1.и гермаиия получают из поликриста.1.И1ческих заготовок, отлитых в графитовые формы, иутем зоиной проплавки заготовки, сп:1ав.1енной с люнокристал.чической затравкой, п)ичем между заготовкой и затравкой вводится легирую1ная таблетка из гермаиия, содержаHiero расчетное количество примеси. Рекомендуемая технология заключается в следуюпем.

Сначала из поликристаллического германия изготовляется пруток-заготовка путем отливки в грасрнтовую форму и последующего быстрого охлаждения слитка.

После этого ируток-заготовка, расположенный вертикально,силавляется с монокристаллической затравкой, иричем между ними вводится легируюи1ая таблетка, представляющая собо пилиндрический кусочек германия, содержащий расчетное количество примеси.

Аппарат, прнмеияемый д,тя осуществления предложенного способа, имеет нагреватель с экранами и патрон для ; a KHM;i ,;иОт«;5К11, которая может ал тс матпчсски перемениться по BepTin-ca.nn. После сплаилеипя :- аправкп с прутком-заготопкой 11аг:х15атель устапа л:п аетея несколько п р,кл10чае1ея naiiieiiaFo1ЦИН ток.

Когда пропзопдет п)011ла1;ленне зопы, вк.Почается ст))ю, обеспечивающее постен си ;1ое Н1 реме1цение нагревателя вверх.

Движение нагревателя п)екращается пос.те тогх) как он, а с. едовательпо, н раеп.лав.1енпая ,чопа перемеетятея 15доль iKcro прутка.

Для 11о;|учения мопок)иета,1.чического прутка, от.личающсгося по диаметру от прутка-заготс вк:, необходимо одновременпо с 5к,)че1П1ем устройства для пе)ел еп1ения нагревателя включить механизм леремеИ1,ения верхнего патрона.

.метр монокрпстал.П1ческо;ч1 npvrKa определяется еоотно1не1П ем скоросте; перемещение нагреватели :: ;-:е)хнего патрона.

Эти скорое:;: ) )егу.;ироваться но хсмотретппо.

н 3 о б р е т е ь: и я

учения мопокриетал:ков герм а н11 я iето М ОЙ п.лавки, о т . Итем, что, с пелью достижепня noeiOHHCTBa д:-1амет)а прутка Н) постоянном дельиом соп 1от1-:влсньи п постоянно; диффузион:- оГ| егс длине, монокристал.лические прут:чн германия получают из по.л:-гкристаллических заготовок, отлилых в графитовые формы путем зонно прсшлавки заготовки, сн.лавлеп1 01( с мопок шсталлической затравкой.