Устройство для контроля контактирования в зондовых установках Советский патент 1984 года по МПК H05K1/18 H01L21/66 

(Л

С Изобретение относится к измерител пай технике, в частности к измерения электрических параметроз интегральных схем на пластине. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является уст ройство для контроля контактирования в зондовых установках, содержащее блок индикации, первые входы которого подключены к замыкающим контактам двухпозиционных коммутаторов, размыкающие контакты которых соединены с блоком измерений, а подвижные контакты соединены с соответству щими зондами, выполненными в виде внутреннего металлического со сферической рабочей частью, разделительного диэлектрического и внешнего мет лического слоев, при этом поверхност образованная торцами разделительного диэлектрического и внешнего металлического слоев, расположена перпендикулярно оси зонда и удалена от верши ны сферической рабочей части зонда на расстояние (.) где ii толщина металлического слоя контактной площадки 1i - расстояние от вершины сфери чёской рабочей части зонда до поверхности, образованно торцами разделительного диэлектрического и внешнего металлического слоев параметр шероховатости контактной площадкиi - параметр шероховатости сфе рической рабочей части зон да, а вторые входы блока индикации соединены с внешними металлическими.сло ями зондов l . Однако в известном устройстве внешний металлический слой зонда, сое диненный с вторым входом блока индиКации, используется только в режиме контроля конта;ктирования и не несет информации в режиме контроля электрических параметров интегральных схем на пластине, так как в режиме измерения рабочая поверхность внешнего металлического слоя отключена от измерительной цепи. Цель изобретения - повьш1ение точности и надежности измерения электрических параметров интегральных схем. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для контроля контактирования в зондовых установках введены дополнительные двухпозиционные коммутаторы, подвижный контакт каждого из которых соединены с внещним металлическим слоем соответствующего зонда, замыкающие контакты - с внутренним металлическим слоем соответствующего .зонда, а размыкакицие - с соответствующими вторыми входами блока индикации контактирования. На фиг. 1 изображена схема устройства для контроля контактирования в зондовых установках; на фиг. 2 узел I на фиг. 1. Устройство содержит зонды 1-5, каждый из которых содержит внутренний металлический слой 6 со сферической рабочей частью 7, разделительный диэлектрический 8 и внешний металлический 9 слои, блоки 10 индикации контактирования, блок 11 измерений со схемой внешних элементов, двухпозиционные коммутаторы .12-16, каждый из которых имеет соединения замыкающим контактом с соответствующим входом блока 10 индикации контактирования, размыкакяцим - со схемой внешних элементов и блоком 11 измерений и подвижным контактом с внутренним металлическим слоем 6 зонда, дополнительные двухпозиционные коммутаторы 17-21, каждый из которых имеет соединения размыкающим контактом с вторым входом блока 10 индикации, замыкающим контактом - с внутренним металлическим слоем 6 зонда. Устройство работает следующим образом. Проверяется отсутствие паразитного контактирования между внутренним металлическим слоем зонда 6 и внешним металлическим слоем 9, для чего в устройстве коммутируется цепь, внешний металлический слой 9, размьпсающий контакт соответствующего дополнительного двухпозиционного коммутатора 17-21, второй вход блока 10 индикации, замыкающий контакт соответствующего двухпозиционного коммутатора 12-16, внутренний металлический слой 6 зонда. Если блок 10 индикации фиксирует отсутствие электрического тока в цепи, то паразитного контактирования нет, т.е. слои 6 и 9 изолированы электрически. Проверяется наличие контакта меж ду зондами 1-5 и интегральной схемо 22, для чего зонды вводят в контакт с контактными площадками 23-27 инте гральной схемы 22. Слой металла каждой контактной площадки замыкает между собой метал лический слой 6 и 9, при этом блок индикации фиксирует наличие электрического тока в цепи зонд - контактная площадка микросхемы. Если в процессе контактирования по какой-либо причине отсутствует контакт по сферической поверхности .рабочей части 7 зонда, то одновременно отсутствует он и по рабочей поверхности 28 торца металлического слоя 9. В режиме контроля контактирования схема внешних элементов бло 11 измерений отключена от зондов и блока индикации. Режим измерения параметров испыт мой микросхемы закл очается в том, чтр к интегральной схеме подключается блок измерения со схемой внешних элементов блока 11 измерений, обеспечивающий задание режима и измерение электрических параметров, а блок индикации отключается, В режиме измерения контактные площадки 23-27 испытуемой интегральной схемы 22 подключены к схеме внешних элементов и блоку измерения к цепи: внутренний металлический слой 6 рабочая часть 7, металлический слой 9, )1кающий контакт каждого коммутатора 17-21, внутренний металлический слой 6, размыкающий контакт коммутаторов 12-16, схема внешних, элементов блока 11 измерения. При прохождении электрического тока одновременно по слоям 6 и 9 в процессе измерения увеличивается щадь контактирования, что позволяет , уменьшить переходное сопротивление между зондом и контактной площадкой, вследствие чего повьш1ается точность и надежность контроля контактирования при измерении электрических параметров интегральных схем.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ В ЗОНДОВЫХ УСТАНОВКАХ по авт. св. № 1001235 отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности измерения электрических параметров интегральных схем, в него введены дополнительные двухпозиционные коммутаторы, подвижный контакт каждого из которьпс соединен с внешним металлическим слоем соответствующего зонда, замыкакяцие контакты - с внутренним металлическим слоем соответствующего зонда, размыкающие - с соответствующими вторыми входами блока индикации контактирования.