Вакуумная установка Советский патент 1984 года по МПК F04B37/14 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известна вакузгмная установка, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос, ловушку высоковакуумный и форвакуумный насосы 1J,

Однако такая установка характеризуется недостаточно высокой скорость откачки, так как отверстие, соединяющее рабочую камеру с откачной системой, понижает быстроту действия криогенного насоса-ловушки из-за своей ограниченной проводимости.

Цель изобретения - повьшзение скорости откачки.

Указанная цель достигается тем, что в вакуумной установке, содержащей .последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос-ловушку, высоковакуумный и форвакуумный насосы, насос-ловушка закреплен на затво ре.

На чертеже изображена предлагаема установка.

Вакуумная установка содержит последовательно подключенные к откачиваемому объему 1 посредством затвора 2 криогенный насос-ловушку 3, высоковакуумный . и форвакуумный насосы 4

и 5. Насос-ловушка 3 закреплен на затворе 2.

Насос-Ловушка 3 установлен на заворе 2 через теплоизолятор 6. Через гибкие трубопроводы 7 к насосу-ловушке 3 подводится и отводится хладагент. На затворе 2 имеются огранич тели 8 и 9.

Вакуумная установка работает следующим образом.

Запускают форвакуумный насос 5 и после достижения определенной степени вакуума запускают высоковакуумнь1й насос 4. Затем откачивают объем 1 до давления , через один из трубопроводов 7 заполняют криогенный насос-ловушку 3 хладагентом. Затем открьшают затвор 2, и насословушка 3 вносится в объем 1, пони.жая давление в нем с высокой скоростью.. Теплоизолятор 6 предохраняет запорный орган затвора 2 от переохлаждения. Ограничители 8 и 9 позволяют избежать чрезмерного качания затвора 2, предотвращая касание насоса-ловушки о внутренние поверхности объема .1.

Таким образом, предлагаемая установка позволяет повысить скорость откачки за счет повьштение проводимости в процессе высоковакуумной откачки.

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объекту посредством затвора криогенный насос-ловушку, выеоковакуумный и форвакуумный,насосы, отличающаяся тем, что, с целью повышения скорости откачки, насос-ловушка закреплен на затворе.