Высоковакуумная установка Советский патент 1980 года по МПК F04B37/14 

(54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА - - 1 , . , Изобретение относится к области вакуумной техники.. Известны высоковакуумные установ ки , содержащие откачиваемь1й объем И откачную систему,включакйдуш высок вакуумный и форвакуумный насОсы, по ключенные к объему посредством охла даемой ловушки l. . В известных установка:х защита от миграции масла механического Лорвакуумного насоса в высрковакуумный насос осуществляется путем создания потока атмосферного воздуха на вход форвакуумного насоса.Влага из атмосферного воздуха, попадая в масло насоса, отрицательно влияет на характеристи,$си насоса. Целью изобретения яв.пяет,ся предот враццение миграции маслабёз ухудаения характеристик вакуумного механи ческого насоса. Указанная це.пь достигается , что полость ловушки посредством трубопровода с регулирующим вентилем сообщена со входом форвакуумного насоса. На чертеже показана схема описываемой установки.. Высоковакуумная установка содержи откачиваемый объем 1 и откачную систему, включающую высЬковакуумный и форвакуумный насосы 2 и 3, подключённые к объему 1 посредством охлаждаемой ловушки 4. Полость ловушки 4 посредством трубопровода 5 с ретулирукедим вентилем 6 сообгчена с входом форвакуумного насоса 3. Высоковакуумная установка имеет также дополнительный форвакуумный насос 7 с вентилем 8. Описанная установка работает следующим образом. Производится предварительная откачка объема 1 и охлаждаемая ловушка 4 заливается хладагентом. При этом на вход форвакуумного насоса 3 по трубопроводу 5 через вентиль 6 подается поток пара хладагента из ловушки 4, практически не содержащий влаги. Затем включается в;работу высоковакуумный насос 2. В этом случае , если пр едварительная откачка объема производится дополнительным форвакуумным насосом 7, попадание масла в объём 1 из насоса 7 может быть предотзвращейо напуском пара хладагента из ловушки 4 на вход насоса 7 через вентиль 8. Г , Подача.Пара хладагента, имеющего Низкую температуру, в форвакуумный

насос позволяет избежать перегрева насоса.

Такое выполнение установки дает возможность уменьшить содержание паров рабочей жидкости насоса в. рртаточном газе и улучшить стабильность работы насоса путем предотвращения его перегрева.

Формула изс 6ретения

Высоковакуумная установка, йодержаадая откачнуто систему, включагадую высоковакуумный и ФорвакуумныЙ насос подключенные к откачиваемому объему

посредством охлаждаемой ловушки, отличающаяся тем, что, с целью предотвргццения миграции масла из форвакуумного насоса, полость ловушки посредством трубопровода с регулирующим вентилем сообщена со входом форвакуумного насоса. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Кантер В.З. Защита вакуумной системы от паров масла механического насоса газовым потоком. Физика и техника вакууйа. Казань, Изд. Казанского университета, 1974 с. 203-206.