Способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла Советский патент 1985 года по МПК F04B37/08 F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для создания вакуума, свободного, от паров масла. Известен способ защиты вакуумного объема в высоковакуумной установке, включакнций откачку газа высоковакуумным и форвакузпяню насосами с: масляньо4 уплотнением через сорбционную ловушку и подачу хладагента из охлаждаемой Ловушки на вход форвакуумного насоса U 3. Недостатке этого способа является повышенный расход хладагента за счет откачки его форвакуумнь насосом и необходимости дополнительных к« 1му1шкацйй для реализации способа. Кроме этого, указанный способ не исключает полностью попадание - масла в камеру высоковакуумного насоса даже при наличии охлаждаемой ловушки. Подача хладагента на вход форвакуумного насоса снижает скорост откачки. . Наиболее близким к изобретений является способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическим,насосом газа через сор ционную ло эушку с одновременным охлаждением последней. «-.:-.. В качестве сорбента используют а тивированный уголь, который после предварительной регенерации нагрева ют до 130С и поддерживают при этой . температуре в течение всего времени работы. При этом масла активно поглощаются С2 Недостатком этого способа является необходимость загрузки сорбент в ловушку, его нагрев в процессе всего Цикла работы и периодическая регенерация, т.е. процессполучения безмасляного вакуума становится слсжньм и дорогостоящим. Кроме того указаннь способ не позволяет устра нять пары воду из откачиваемого объ ма.Iо Цель изобретения - повышение эфф тивности защиты. Указанная цель достигается тем, что при способе защиты вакуумного о объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбщюн ную ловушку с одновременным охлаждением последней, в .Качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом, а охлаждение ловушки производят до Температуры, не превышающей температуру конденсации аммиака. На чертеже изображена установка, реализующая предлагаемый способ. Установка содержит объем 1, соег диненный через затвор 2 и охлаждаемую сорбционную ловушку 3 с высоковакуумныМ 4 и форвакуумным 5 механическими насосами. Откачиваемый объем 1 через натекатель 6 соединен с баллоном 7 с аммиаком. Полость ловушки 3 через натекатель 8 соединена также с баллоном 7, Способ защиты вакуумного объема от отработанного потока, парой масла заключается в прокачке откачиваемого механическим насосом 5 газа через сорбционную ловушку 3 с одновременным охлаждением последней. В качестве сорбента в Ловушке 3 используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью составлякидей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом 5, а охлаждени.е ловушки 3 производят до температуры, не превьШ1ающей температуру конденсации аммиака. Использование предлагаемого способа позволяет отказаться от загружаемого в ловушку сорбента, его нагрева в процессе всего цикла работы и ус- , транить пары воды в откачиваемом Ьбъеме, тем самым упрощается Технология получения вакуума и удешевляется весь процесс. Предлагаемый способ позволяет получать безмасляный вакуум на любых вакуумных установках с использованием только одних серийно выпускаемых диффузионных насосов с охлаждаемой ловуш кой.

&

СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА ОТ ОБРАТНОГО ПОТОКА ПАРОВ МАСЛА путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаждениеъь последней, отличающийся тем, что, с целью повышения: эффективности защиты, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом, а охлаждение ловушки производят до температуры не превышающей температуру конденсации аммиака.