Высоковакуумная установка Советский патент 1982 года по МПК F04B37/14 

(54) ВЫСОКСВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной |технике По основному авг. св. N 767391 известна высоковакзгумная устансжка, соцер- жащая высоковакуумный насос с охлаждаемой лювушкой и форвакуумный насос, вэсо которого посредством трубопровода с регу пирующим вентилем подключен к попорти жжушки. Подключение вхсяда механического насоса к полости ловушки позволяет предотвратить проникновение паров масла в откачиваемый обьем и в некоторой степени предотвратить кшценсацию паров в насосе при откачке последним влагосоцержащих смесей газсж 1. Цель изобретения - снижение потребляс емой мощности, т.е. повьпиение экономичности усгановки при откачке влагосодер жащих газов. Указанная цель о,остнгае Ся тем, что полость ловушки посредством вспомогательного трубопровода с рег лнруююим вентилем аополиительно сообщена с выходом форвакуумного насоса. На чертеже псжазана схема предлагаемой устайовки. Высоковакуумная установка соовржит высоковакуумный насос 1 с склажоаемой ловушкой 2 и форвакуумный насос 3, вхол которого посредством трубопровоаа 4 с регули ющим вентилем 5 подключен к полости лсжущки 2. Дополнительно полость ловушки 2 сообщена посредством вспомогательного трубопровода 6 с регулируемым вентилем 7 с выходом форвакуумного насооа 3. Бысоковакуумная снстема работает следующим образом. Газообразный хлааагевт из полости ло аушки по трубопроводам 4 н Q с регупия руюшими вентилями 5 н 7 подается ва вход и выхсщ форвакуумного насоса 3. Поток сухого газообразного хладагента позволяет эффективно преаотв атить гроникнов ше trapoB массы в откачиваемый обьем и снизить потребляемую насосами мощность за счет уменьшения колнчестве| балластного газа путем использования

cysoro гааообрааного хладагента вмесго вдажвоговоэиуха. Формула изобретения

Высоковакуумная установка по ав(г. jCB, Ni787391, о тл-ичающйяс я тем, что, с целью повышения аксиомичноста, полость ловушки посредством

вспомогательного трубопровода с регулирующим вентилем сообщена с выходом форвакуумного насоса.

Истспники информации, принятые во внимание при экспертизе I, Авторское свидетельство СССР № 767391, кл. F О4 В 37/14, 1979.