Стекло Советский патент 1984 года по МПК C03C3/10 

Изобретение относится к составам стекол, применяемым в микроэлектронике в качестве, например, спаев с керамикой 22ХС для создания МДМструктур и толстопленочных-резисторов. Известно стекло, содержащее мас. Si02 24-41 ,.6; 2,0-3,0; BaO 26,0-31,0; CaO 0,1-4,0; 7,08,4; BjOg 16,2-26,0; ZnO 0,1-6,0 П ; Недостатками стекла ЯВЛЯЮТСЯ низ кая химическая устойчивость (Ш гидролитический класс), ограничивающая его использование в атмосфере повышенной влажности и повьшенный температурный, коэффициент линейного ра ширения. Иаиболее близким к предлагаемому стеклу по технической сущности и до стигаемому результату является стек ло следующего состава, мас.%: SiOj 30-35; В20з 18-23; ВаО 23-28; 4-6; ZnO 15-17 2. Недостатками известного стекла являются довольно низкая химическая устойчивость к воде (Ш гидролитичес кий класс, % потери массы равен 0,18-0,22) и относительно высокие 1электрические потери (tgd40- 15-25). Цель изобретения - повьппение химической устойчивости к воде и сн жение диэлектрических потерь. , Указанная цель достигается тем, что стекло, содержащее SiOj , Рз ВаО, Ар20з ZnO, дополнительна содержит ТёО- при следующем соотноше НИИ компонентов, мас.%:. SiO 21-23,5 18-22 8-10 20-25 -21.5-5 Синтез стекла осуществляют в газовой пламенной, печи при температуре 1460-1480с. В качестве сырьевых материалов для приготовления шихты используют кварцевый песок, глино- . зем, борную кислоту, углекислый барий, оксиды цинка и теллура. В таблице приведены конкретные примеры стекол и их физико-химические свойства. В качестве образца .для сравнения выбран известный сос;тав, Сопоставительный анализ химичес.iKpro состава и свойств известного и предлагаемых составов стекол показал, что последние отличаются новым компонентом - оксидом теллура и иным соотношением остальных компонентов, благодаря чему достигается повышение; химической устойчивости к воде до П гидролитического класса (улучшается на 30%) и снижение диэлектрических потерь. Кроме того, введение оксида теллура улучшает технологические свойства стекломассы и снижает температуру спаивания стекла с керамикой. Применение указанного стекла в- народном хозяйстве позволяет расширить область использования электронных приборов с ОДМ-струкТурой в атмосфере, насыщенной влагой, обеспеивает надежность и долговечность спаиваемых узлов за счет согласованности ТКЛР стекла и керамики.

СТЕКЛО, содержащее SiO, BgOj, BaO, AljOj и ZnO, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повьшения химической устойчивости к воде и снижения диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит TeQj при следующем соотношении компонентов, мае. %: / SiOj 21-23,5 20-25 18-22 БаО 8-10 ZnO 20-25 1,5-5 ТёОг S W с

1, Химический состав, мас.%:

SiO, . 22,5

850323,0

ВаО.19,5

А гОз10 0

ZnO20,0

Те025,0

23,5 20,0 22,0 8,0

25,0

1,5

температура начала размягчения, °С

температура спаивания, С

Температурный коэффициент линейного расширения от 20-300°С,

o -IO-градхимическая устойчивость

к воде, гидролитический

класс

(% потери массы)

диэлектрические потери, tgtfxIO- при

диэлектрическая проницаемость 6

Продолжение тйблицы

645

630

750

720

52

54

58

П (0,095)

П (0,09)

П (0,085)

9,75

10

9,5