Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов Советский патент 1988 года по МПК F04D19/04 

из ucmo JHtiKO инертного гози

4

00 со

4;;

KljijHfJDnij

HUCUCtj

i Изобретение относится к вакуумной тех- н|ике, а именно к конструкциям турбомо- л|екулярных вакуумных насосов, предназна- ч енных для откачки объемов с повышенным содержанием агрессивных газов.

.Цель изобретения - повышение надеж- йости насоса.

: На фиг. 1 представлен насос, продоль- разрез; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1. i Турбомолекулярный насос для откачки Агрессивных газов содержит вертикальный i opnyc 1 со статорными дисками 2, установленный по оси корпуса 1 в его нижней Насти электродвигатель 3 с крышкой 4, за- репленный на валу 5 электродвигателя 3 Иолый ротор 6, расположенную на дниш,е 7 Корпуса 1 масляную ванну 8 и источник |инертного газа, причем вал 5 электродвига- теля 3 имеет осевой канал 9 и хвосто- |вик 10, размещенный в масляной ванне 8. iHacoc дополнительно содержит регулируемое :газонапускное устройство 11, установленное ;С наружной стороны масляной ванны 8, I подключенное к источнику инертного газа |и включаюш.ее вертикальную трубку 12, верхний конец которой введен с зазором в осевой канал 9 вала 5 электродвигателя 3, а крышка 4 электродвигателя 3 снабжена мембранным клапаном, выполненным в виде набора эластичных и гигроскопичных колец 13 и 14, размещенных коаксиально валу 5 и контактирующих с ним. Вал 5 электродвигателя 3 снабжен расположенными под набором колец 13 и 14 сквозными радиальными отверстиями 15, сообщенными с осевым каналом 9, а последний в зоне отверстий 15 имеет участок меньшего диаметра. Вал 3 в зоне .контакта с набором колец 13 и 14 выполнен коническим. Насос работает следующим образом. Перед запуском электродвигателя 3 подают инертный газ из источника через регулируемое газонапускное устройство 11 в осевой канал 9 вала 5. Внешним насосом создают в полости корпуса 1 предваритель- ное разрежение, после чего запускают электродвигатель 3. Откачиваемый газ, поступающий в насос и содержащий агрессивные компоненты, взаимодействуя с дисками ротора 6 и статорными дисками 2, переносится на сторону нагнетания и удаляется внешним форвакуумным насосом. Инертный газ, заполняя полость ротора 6, в которой размещен электродвигатель 3, препятствует проникновению агрессивных газов

к электродвигателю и защищает опоры вала 5, а также систему смазки насоса.

Мембранный клапан обеспечивает проход газа только в одном направлении - от электродвигателя 3. При более высоком давлении агрессивного газа, чем давление инертного газа, эластичные кольца 13 прижимаются к конической части вала 5, не допуская перетечек.

Масло из масляной ванны 8 за счет эффекта центрифугирования подается по каналу 9 к опорам вала 5, но вследствие наличия в канале 9 участка меньшего диаметра в зоне отверстий 15 масло не достигает этих отверстий, через которые проходит инертный газ.

Пары масла, попадающие в зону мембранного клапана, поглощаются гигроскопичными кольцами 14.

Таким образом, достигается надежная защита узлов насоса от агрессивных газов, что в целом повышает надежность насоса. Формула изобретения

1.Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками, установленный по оси корпуса в его нижней части электродвигатель с крышкой, закрепленный на валу электродвигателя полый ротор, расположенную на днище корпуса масляную ванну и источник инертного газа, причем вал электродвигателя имеет осевой канал и хвостовик, размещенный в масляной ванне, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, насос дополнительно содержит регулируемое газонапускное устройство, установленное с наружной стороны масляной ванны, подключенное к источнику инертного газа и включающее вертикальную трубку, верхний конец которой введен с зазором в осевой канал вала электродвигателя, а крыщка электродвигателя снабжена мембранным клапаном, выполненным в виде набора эластичных и гигроскопичных колец, размещенных коаксиально валу и контактирующих с ним.

2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что вал электродвигателя снабжен расположенными под набором колец сквозными радиальными отверстиями, сообщенными с осевым каналом, а последний в зоне отверстий имеет участок меньшего диаметра.

3.Насос по п. 1, отличающийся тем, что вал в зоне контакта с набором колец выполнен коническим.

Изобретение позволяет повысить надежность насоса. По оси вертикального корпуса 1 в его нижней части установлен электродвигатель (ЭД) 3 с крышкой 4. На валу 5 ЭД 3 закреплен полый ротор 6. На днище 7 корпуса расположена масляная ванна 8. Хвостовик 10 вала 5 размещен в ванне 8. Регулируемое газонапускное устройство 11 установлено с наружной стороны ванны 8, подключено к источнику инертного газа и включает вертикальную трубку 12. Верхний конец трубки 12 введен с зазором в осевой канал 9 вала 5. Мембранный клапан в крыщке 4 выполнен в виде набора эластичных и гигроскопичных колец, размещенных коаксиально валу 5 ЭД 3 и контактирующих с ним. Под наборо.м колец м. б. расположены сквозные радиальные отверстия, сообщенные с каналом 9, который в зоне отверстий имеет участок меньщего диаметра. Вал 5 в зоне контакта с наборо.м колец м. б. выполнен коническим. Инертный газ, заполняя нолость ротора 6, в которой размещен ЭД 3, препятствует проникновению агрессивных газов к ЭД 3 и защищает опоры вала 5, а также систему смазки насоса. Мембранный клапан обеспечивает проход газа только в одном направлении - от ЭД 3. 2 з.п.ф-.лы. 2 ил. аз отквчиёаЕпого (Л

Фиг.2