Существующие двухлучевые контактные интерферометры обладают малым пределом измерений (до ±0,01 мм), что значительно ограничивает область их нрименения.
Предлагаемый интерферометр лишен этого недостатка и позволяет расширить диапазон измерений в 20-30 раз.
Достигается это тем, что между конденсором осветителя и светофильтром интерферометра устанавливается эталон Фабри - Перо.
Устройство прибора показано на чертеже.
Две стеклянные пластины / и 2 заключены в металлическую оправу 3. На поверхности пластин нанесены, обращенные друг к другу, светоделительные слои серебра. Расстояние между пластинами d определяет длину эталона Фабри-Перо. Прибор устанавливается между конденсором осветителя и светофильтром интерферометра, в результате чего в поле зрения микроскопа интерферометра можно наблюдать несколько систем интерференционных полос. Расстояние между черными ахроматическими полосами соседних интерференционных картин равно расстоянию между отражающими поверхностями эталона Фабри-Перо, т. е. величине d. Таким образом, каждый раз, когда наконечник интерферометра проходит такое расстояние, в поле зрения вновь появляется интерференционная картина полос в белом свете. Таких картин можно наблюдать 10-12.
Предлагаемый прибор пригоден для поверки микронных индикаторов, миниметров, микрокаторов и т. п., а также для измерения с высокой точностью длины до 2-3 мм.
Двухлучевой контактный интерферометр, отл ич а ю щи йс я тем, что, с целью расширения .диапазона его работы, между конденсором осветителя и светофильтром интерферометра установлен эталон .Фабри- Перо..
Предмет изобретения
f/
3
