Интерферометр для проверки плоскопараллельных концевых мер Советский патент 1962 года по МПК G01B9/02 

Известны интерферометры для проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным способом.

Отличительная особенность описываемого интерферометра состоит в том, что в нем применен сменный клиновой компенсатор типа ФабриПеро.

Интерферометр такой конструкции дает возможность расширить технологические возможности, т. е. может быть использован как для контроля плоскости и плоскопараллельности, так и для относительного измерения длины концевой меры.

На чертеже изображена оптическая схема описываемого интерферометра. Измерение интерферометром производится сравнительным методом по образцовой мере. Лучи от монохроматического источника / направляются конденсатором 2 через светофильтр 3 на щелевую диафрагму 4, которая находится в фокусе коллиматорной линзы 5.

Пройдя коллиматор, параллельный пучок лучей через полупрозрачное зеркало 6 и стеклянную пластину 7 освещает передние измерительные поверхности образцовой и проверяемой мер 8 и 9. Концевые меры находятся друг от друга на расстоянии, равном их ширине. Часть светового пучка проходит через этот промежуток и посредством призмы 10 освещает задние измерительные поверхности концевых мер. Плосъости пластины 7 и призмы 10, расположенные против измерительных поверхностей концевых мер, покрыты светоделительным слоем 11 серебра или алюминия.

Лучи, отраженные от передних поверхностей мер и светоделительного слоя пластины, а также задних поверхностей и призмы, интерферируют. Картины интерференционных полос рассматриваются через наблюдательную систему, состоящую из объектива 12 и зрительной трубы 13 небольщого увеличения.