Способ контроля за нанесением слоев многослойных ультрафиолетовых покрытий Советский патент 1985 года по МПК G01B11/06 

1 Изобретение относится к измерй тельной технике и может быть исполь эовано для контроля технологических процессов нанесения эеркаЛьных покрытий предназначенных для работы в ультрафиолетовой области спектра. Известен способ контроля за нанесением слоев многослойных ультрафиолетовых (УФ) покрытий, заключающийся в том, что пропускают через наносимый слой монохроматическое излучение видимой области спектра, регистрируют поток прошедшего изделия и прекращают нанесение очередного слоя при достижении пощрком прошедшего излучения за,цанной величины tl и С2. Недостатком известных способов лв ляется сложность его осуществления, вызываемая необходимостью замены свидетеля после нанесения каждой пары слоев с высоким и низким показателями преломления. Кроме этого, точность определения момента окончания процесса-нанесения слоя невысока неодинаковости условий осаждения слоев на чистую поверхность подложки свидетеля и поверх слоя, уже нанесенного на рабочую подложку. Целью изобретения является упроще ние процесса контроля и повышение его точности. Указанная цель достигается тем, что согласно способу контроля за нанесением слоев многослойных ультра фиолетовых покрытий, заключающемуся в ТОМ| что пропускают через наносимы слой монохроматическое излучение видимой области спектра, регистрируют поток прошедшего излучения и прекращшот нанесение слоя по достижении потоком заданной величины, излучение пропускают через слой, наносимый на рабочую подложку, а дJшнy волны v

излучения, пропускаемого через нано-,45 слоев. симый слой, выбирают из соотношения:-v (t) Рде р - рабочая длина волны покрыти} 55 пр - показатель преломления слоя с высоким показателем преломления}50 50 п (J - показатель преломления слоя с низним показателем преломления ; показатель преломления подложки. При указанном выборе длины волны результат многолучевой интерференции волн на выходе многослойного покрытия не зависит от числа пар слоев с высоким и низким показателями преломления, составляющих покрытие. Для доказательства данного утверждения рассмотрим формулу для интенсивности 1 излучения, прошедшего мноГослойное покрытие . °(. где 1, - интенсивность падающего излучения;R - коэффициент отражения на границе между слоями с низким и высоким показателями преломления; разность фаз интерферируют . щих лучей. Разность фаз Ч интерферирующих лучей определяется равенством: t/ 2(сЛ-Js где сА- скачок фазы излучения на границе слоя, а число полуволн, укладьгоающихся в слоя с низким показателем преломления, Учитьюая, что ( Л- ()(1-()() легко доказать, что при вьтолнении равенства (l ) правая часть равенства (2 ) принимает постоянное значение, т.е. пропускание покрытия не зависит от числа пар входящих в него Контроль за нанесением слоев многослойного УФ-покрьп-ия осуществляется следующим образом. Через рабочую подложку с нанесенным на нее слоем пропускают монохроматическое излучение видимой области спектра с длиной волны Л, определяемой из соотношения (П. Регистрируют величину потока излучения, прошедшего Наносимый слой, и прекращают нанесение слоя при достижении потоком прошедшего потока величины, соотвегствующей расчетному потоку на выходе

3 11573504

системы подложка - четвертьволновыйвиться от необходимости вести контдля Д к слоя с показателем.прелоьте-роль по свидетелю, заменяемому после

иия п - воздух.нанесения каждой йары слоев, что приПр1шенение предлагаемого спосЪбаводит к существенному упрощению проконтроля за нанесением слоев много-s цесса контроля и повмаенмо его точслойнык УФ-покрытнЙ позволяет изба ности.

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЗА НАНЕСЕfflffiM СЛОЕВ MHOroCnofiMMX УЛЬТРА4 ЮЛЕТОШХ ПОКРЫТИЙ, заключающийся в том, что пропускают через наносимый слой монохроматическое излучение видимой области спектра, регист|рируют поток прошедшего излучения и прекращают нанесение слоя по достижении потоком заданной вет1чины, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности и упрощения процесса контроля, излучение пропускают через слой, наносимый на подложку, а длину волны. Л к излучения, пропускаемого через наносимый слой, выбирают из соотношения ТГЛо Л., ()() 2flhCCOS Л.() где Ар - рабочая длина волны покрысл тия; п - показатель преломления слоя с высоким показателем преломления; II п показатель преломления слоя с низким покг.зателем преломления, п - показатель преломления подел ложки . si 00 СП о