Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы Советский патент 1985 года по МПК H01J37/26 

СП

Kj сл

00

со 111 Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использовано при эксплуатации приборов в электронной и ионной микроскопии. Целью изобретения является повышение точности юстировки при уменьшении времени ее проведения. Сущность способа заключается в следующем. Электронный зонд, генерированный источником электронов, фокусируют в плоскости объектодержателя неюстируемой вспомогательной электромагнитной линзой и формируют растр с помощью отклоняющей системы. На экране индикатора формируют изображение участка обьект а с характеристическим элементом топологии в центре растра. После этого включают первый юстируемый элемент, производят подфокусировку электронного зонда на объекте и изменяют полярность тока возбуж дения обмоток вспомогательной линзы. При этом на экране регистрируется смещение изображения на величину 5, соответствующую величине разъюстировки осей вспомогательной линзы и юстируемого элемента. С помощью какого-либо устройства юстируемьгй элемент перемещают на величину, вызываю щую соответствующее перемещение изображения на экране ; ij -0,5а. Эт операции повторяют до того момента, когда где dM- погрещность определения перемещения изображения на экране при данном масштабе увеличений. После этого увеличивают силу тока возбуждения поля юстируемого элемента и мастатаб увеличения изобра-.д на жения и повторяют все операции до того момента, когда . Аналогичным образом осуществляют юстировку остальных элементов ЭЗС. Примером конкретной реализации способа является юстировка растрового микроскопа. В качестве некзстируемой вспомогательной линзы использована последняя по ходу пучка формирующая линза. Юстировку конденсоров проводят,- начиная от ближайщего к источнику электронов для значений тока возбуждения. 1,-0,51 ,1 I где максимальное значение тока возбуждения конденсора. Соответственно выбирают масштабы увеличения , и . Для каждого следукяпего конденсора масщтабы увеличения увеличиваются в 5 раз. Таким образом, проведение юстировки с введением вспомогательной линзы. Фиксирующей минимальное расстояние от ее центра до плоскости объектодержатеяя, позволяет поддерживать его постоянньм независимо от того, какой элемент ЭАС юстир уется. Это и позволяет увеличить точность юстировки за счет соизмеримости смещений изображений (растра ) относительно базовой всггомогательной линзы. Кроме того, поскольку центр качания зонда находится выше главной плоскости вспомогательной линзы, то уменьщается общая величина смещения растра при раз-ыостировке, что снижает общее время юстировки за счет уменьшения времени перенастройку возбуждения.

СПОСОВ ЮСТИРОВКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ЗОВДОФОРМИРУЮЩЕЙ СИСТЕМА, включающий перемещение юстируемых элементов до положений, при которых изображения в плоскости объектодержателя, полученные для прямой и обратной полярностей тока возбуждения системы, совмещены, отличающийся тем, что, с цельюповьшге ния точности юстировки при уменьшении времени ее проведения, перед получе.кием изображений между юстируемьвчи элементами и объектодержателем устанавливают вспомогательную электромагнитнзда линзу, а изменение полярности тока осутествляют только во вспомогательной линзе. ,0-t сл