Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы Советский патент 1987 года по МПК H01J37/26 

Изобретение относится к микрозон- довой технике, может быть использовано в электронной и ионной микроскопии, и является дополнительнгзш к авт. св. № 1157589.

Целью изобретения является повьше- ние точности юстировки, достигаемое за. счет использования в качестве контрольного изображения для отверстия диафрагмы.

Сущность изобретения заключается в следующем.При юстировке электромагнитной зондоформирующей системы перемещают юстируемые элементы до положений, при которых изображения в плоскости объектодержателя, полученные для прямой и обратной полярности тока возбуждения, совмещены. Перед получением изображений между юстируемыми элементами и объектодержателем устанавливают вспомогательную электромагнитную линзу и изменение полярности тока осуществляют только во вспомогательной линзе. При этом вспо)0

15

20

матическом режимах юстировки. Однако в микрозондовой технике принято использовать в основном несимметрично расположенные преобразователи. В этом случае изображение отверстия диафрагмы состоит из двух полуокружностей, плоскость деления которых параллельна плоскости приемного окна преобразователя. Поток первичных электронов претерпевает двойное рассеяние - сначала на краях диафрагмы, а затем в плоскости объектодержателя и лишь затем попадают на преобразователь. Несимметричность рассеяния на краях диафрагм относительно приемного окна преобразователя может быть скомпенсирована несимметричнос- ,тью рассеяния в плоскости объектодержателя. Это обеспечивается наклоном облучаемой плоскости объектодержателя в сторону приемного окна преобразователя.

Наклон объектодержателя осуществляют до тех пор, пока не исчезнет

ня,

25 5 ...- ..- .- i.-i,-

могательную линзу возбуждают до уров- - асимметрия изображения полуокружнос- t, при котором ее плоскость изобра- тей границ изображения отверстия

диафрагмы. При этом в поле зрения остается тот же участок микрообъекта.

жения совмещена с плоскостью диафрагмы, устанавливаемой в области фоку30

сирующего магнитного поля этой линзы,

Таким образом анализируют смещение изображения отверстия диафрагмы, что существенно повышает точность юстировки, так как погрешность позиционирования объектодержателя не оказывает влияния на точность юстировки. 35

В данном случае характеристически элементом является круглое отверстие диафрагмы, смещение центра изображения которого определяют по смещению его границ. При регистрации прошедши или отраженных электронов преобразователем, приемное окно которого расположено симметрично относительно оси симметри диафрагмы, это изобра- жение будет иметь вид ровного круга при горизонтальном положении объектодержателя. Анализ смещения такого изображения не представляется сложным как при ручном, так и при авто- Составитель В. Редактор А.Гулько Техред В.Кадар

Заказ 1637/50 Тираж ,699Подписное

ВНШПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектт ая,4

матическом режимах юстировки. Однако в микрозондовой технике принято использовать в основном несимметрично расположенные преобразователи. В этом случае изображение отверстия диафрагмы состоит из двух полуокружностей, плоскость деления которых параллельна плоскости приемного окна преобразователя. Поток первичных электронов претерпевает двойное рассеяние - сначала на краях диафрагмы, а затем в плоскости объектодержателя и лишь затем попадают на преобразователь. Несимметричность рассеяния на краях диафрагм относительно приемного окна преобразователя может быть скомпенсирована несимметричнос- ,тью рассеяния в плоскости объектодержателя. Это обеспечивается наклоном облучаемой плоскости объектодержателя в сторону приемного окна преобразователя.

Наклон объектодержателя осуществляют до тех пор, пока не исчезнет

5 ...- ..- .- i.-i,-

30

35

который подвергался исследованию до юстировки, поэтому отпадает необходимость в затратах времени, на поиск и совмещение этого участка с полем облучения.

Формула изобретения

шин

Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы по авт. св. № 1157589, отличающийся тем, что, с целью повышения точности юстировки, вспомогательную линзу возбуждают до уровня, при котором ее плоскость изображения и плоскость диафрагмы, устанавливаемой в области фокусирующего магнитного поля этой

шин

линзы, совмещены, а плоскость объектодержателя наклоняют в сторону приемного окна преобразователя до получения симметричного изображения отверстия диафрагмы.

Корректор М.Шароши

Изобретение относится к области микрозондовой техники и является усовершенствованием известного способа юстировки электромагнитной зондофор. мирующей системы по авт.св.№ 1157589. Цель - повышение точности юстировки. При юстировке перемещают юстируемые элементы до положений, при которых изображения (И) в плоскости объекто- держателя (О), полученные для прямой и обратной полярности тока возбуждения, смещены. Перед получением И между юстируемыми элементами и О устанавливают вспомогательную электромагнитную линзу (ВЭЛ) и изменение полярности тока осуществляют только ВЭЛ. Для достижения цели ВЭЛ возбуждают до уровня, при котором ее плоскость изображения совмещена с плоскостью диафрагмы, устанавливаемой- в области фокусирующего магнитного потока этой ВЭЛ, а плоскость О наклоняют до тех пор, пока не исчезнет асимметрия И полуокружностей границ И отверстия диафрагмы. При этом в поле зрения остается тот же участок микрообъекта, который подвергался исследованию до юстировки, поэтому отпадает необходимость в затратах времени на поиск и совмещение этого участка с полем о б- лучения. Изобретение может быть использовано в электронной и ионной микроскопии. с S сл 00 о со