Способ настройки многофункциональной электронно-лучевой установки Советский патент 1992 года по МПК H01J37/28 

Изобретение относится к микроэондо- вой технике, например электронно- и ион- но-лучевой, и может быть использовано в лучевой технологии .производства изделий микроэлектроники.

Целью изобретения является повышение точности настройки за счет компенсации смещения электронного пучка.

При осуществлении способа на объекто- держатель устанавливают тест-объект, представляющий собой керметную шайбу с нанесенным на нее слоем серебра толщиной 200 А. На пушку подают ускоряющее напряжение 4 кВ, на конденсорный блок - ток возбуждения 0,4 А. Включают растровую систему, юстировки и стигматор. Режимы работы элементов зондоформирующей системы обеспечивают возможность неразрушающего облучения Tecj-объекта зондом с диаметром порядка 250 А и током 10 А, Изменением возбуждения формирующей линзы добиваются резкого изображения поверхности тест-объекта на экране видеоконтрольного устройства при масштабе увеличения 10 000 крат. Такое полезное увеличение может быть легко получено благодаря тому, что пленка серебра имеет трещины между островками шириной порядка 0,1 мкм. Эти трещины и дают четкий рельеф картины. Пилообразные токи, подаваемые на растровую систему, симметричны относительно нулевой точки, т. е. амплитуда отрицательных токов равна соответствующим амплитудам положительных токов.

Далее отключают растровую систему и увеличивают в три раза ток I возбуждения формирующей линзы и в девять раз ускоряющее напряжение U. Т. е. U 36 кВ. Снижение тока возбуждения конденсоров до 0.2 А позволяет увеличить ток пучка до 5-10 А. Время облучения тест-объекта порядка 103 с приведет к испарению серебра под пучком. Этот участок диаметром 2-4 мкм будет выглядеть как отверстие в пленке. Даы

Ј

лее переводят зондоформирующую систему в исходное состояние и формируют на экране изображение облученного участка (отверстия в пленке). Перемещая растр по поверхности объекта путем сдвига пилооб- разных токов развертки относительно нулевых точек, добиваются возмещения центра выфрезерованного отверстия с центром растра (т. е. экрана).

Предлагаемый способ позволяет суще- ственно расширить функциональные возможности электронно-лучевой техники за счет обеспечения возможности использовать ее для решения двух и более совмещаемых задач. Формула изобретения 1. Способ настройки многофункциональной электронно-лучевой установки, включающий установку тест-объекта, включение и предварительную настройку зондо- формирующей системы, получение изображения на экране видеоконтрольного устройства и оценку качества настройки зондоформирующей системы по параметрам полученного изображения, отличаю- щ и и с я тем, что, с целью повышения

точности настройки за счет компенсации смещения электронного пучка, после получения изображения отключают растровую систему, переводят электронно-лучевую установку в высокомощный режим, путем изменения токов возбуждения линз и/или ускоряющего напряжения пушки, после этого переводят электронно-лучевую установку в исходный режим, включают растровую систему, получают изображение тест-объекта и смещают растр на поверхности образца до совмещения центра облученного участка с центром экрана путем регулировки постоянной составляющей токов в отклоняющих катушках.

2, Способ по п. 1,отличающийся тем, что в качестве тест-объекта используют структуру, представляющую собой подложку из материала с малой теплопроводностью и коэффициентом вторичной электронной эмиссии, покрытую островко- вой пленкой электропроводного материала, причем пленку выбирают с удельной теплотой испарения меньшей, чем удельная выделяемая мощность электронного пучка в режиме высокой мощности.

Использование: в микрозондовой технике, например электронно- и ионно-луче- вой технологии производства изделий микроэлектроники. Сущность изобретения: после предварительной настройки зондоформирующей системы получают изображение на экране видеоконтрольного устройства, затем отключают растровую систему и переводят электронно-лучевую установку в высокомощный режим, после чего переводят установку в исходный режим и включают растровую систему, совмещают центр растра с центром облученного участка. Указаны требования к тест-объекту в виде островковой пленки на подложке. 1 з.п. ф-лы.