Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения внутренних и наружных размеров образцовых колец, установочных мер и других точных деталей, применяемых в машиностроении, станкостроении, дизелестроении и дру гих отраслях промышленности. Целью изобретения является обеспечение возможности измерения внутренних размеров детали. На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения линейных размеров детали; : Устройство содёря ит интерферометр выполненный по схеме с обратнокруговым ходом лучей и включающий светоделительный кубик 1 и плоские зеркала 2 - 4, зрительную трубу 5, переда точньй механизм, выполненньй в виде двух измерительных рычагов 6 и 7 с расположенными Соответственно на одних концах двумя наконечниками 8 и 9 а другие концы рычагов 6 и 7 жестко связаны соответственно с одним из зеркал 2 и 3 интерферометра, и предметный стол 10, имеющий паз для пере мещения измерительных рычагов 6 и 7 зеркало 4 вдоль линии измерения, зеркало 4 с постоянным углом отклонения 90 при измерении неподвижно и перемещается совместно с зеркалом 3 лишь при настройке прибора на определенньй размер. Светоделительный кубик 1 постоянно находится под зеркалом 2 и в .процессе измерения и настройки остается неподвижньм. На поверхности 11 кубика 1 нанесены штрихи шкалы. Устройство работает следукицим образом. Измерения на интерферометре относительные - линейный размер детали сравнивают с размером блока плоскопараллельных концевых мер длины или установочный меры. Деталь устанавливают на предметный стол 10. Наконечники 8 и 9 рычагов 6 и 7 контактируют с внутренней поверхностью детали, другие концы рЬ1чагов 6 и 7 связаны с зеркалами 2 и 3. При измерении параллельный пучок света, например белого, идущий от коллиматора (не показан), светоделительным кубиком 1 разделяется на две части. Идущие навстречу один другому пучки лучей последовательно отражаются от зеркал 2-4, соединяются кубиком 1 и попадают в зрительную трубу 5. Обе части пучка света, имеющие между собой угол и нулевую разность хода, интерферируют, и в поле зрения наблюдается одна система интерференционных полос. Измерив с помощью шкалы на поверхности 11 кубика 1 ширину интерференционных полос при установке концевых мер и детали на линию измерения, определяют разность сравниваемых длин по формуле ., / -Л f( о .1 ( 4 ли «ITT-тг ,-V, 4Ь, 4b2 b, bj, Р, где Ь, и,Ъ - ширина интерференционных полос при установке блока концевых мер и детали}. К - коэффициент постоянный для данного интерферометра, зависящий от длины волны используемого излучения и размера 1 рычагов.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП С КОМПЕНСАТОРОМ ОПТИЧЕСКОЙ РАЗНИЦЫ ХОДА | 2023 |
|
RU2813230C1 |
Двухлучевой интерферометр (варианты) | 2017 |
|
RU2667335C1 |
КОНТАКТНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР УВЕРСКОГО ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ | 1968 |
|
SU207427A1 |
ДИФРАКЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР (ВАРИАНТЫ) | 2003 |
|
RU2240503C1 |
ПРИБОР ДЛЯ ПОВЕРКИ И АТТЕСТАЦИИ КРИВОЛИНЕЙНЫХ ЭВОЛЬВЕНТНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ | 1971 |
|
SU304427A1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП | 2013 |
|
RU2527316C1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ КОМПАРАТОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕВЫХ МЕР ДЛИНЫ | 1966 |
|
SU213358A1 |
Рефрактометр | 1987 |
|
SU1516910A1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА | 1993 |
|
RU2095752C1 |
Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта | 1981 |
|
SU974112A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ДЕТАЛИ, содержащее интерфероме.тр и передаточный механизм, отличающееся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения внутренних размеров детали, интерферометр выполнен по схеме с обратнокруговьм ходом лучей, а передаточный механизм выполнен в виде двух измерительных рычагов с расположенными соответственно на одних концах двумя наконечниками, а другие концы рычагов жестко связаны соответственно с одним из зеркал интерферометра. i к Од 00
Коломийцов Ю.В | |||
Интерферометры | |||
Л., Машиностроение, 1976, с.162163 | |||
,. |
Авторы
Даты
1985-06-23—Публикация
1982-01-22—Подача