Устройство для определения скорости травления Советский патент 1985 года по МПК G01N29/00 

1 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано в системе глубокого ионнохимического травления для контроля скорости удаления материала с повер ности монокристаллических кварцевых пластин. Целью изобретения йвляется повышение точности. На чертеже схематически изображе но устройство для определения скорости травления. Устройство содержит источник 1 заряженных частиц, кассету 2 с набо ром образцов 3 из кварцевых пьезоэл ментов, измерительную камеру 4, соСТОЯ1ЧУЮ из .кожуха 5 с окном 6 для прохождения заряженных частиц, мета лического основания 7, кварцевого пьезоэлемента 8, автогенератора 9, соединенного с кварцевым пьезозлементом 8, мишени 10, вьтолненной из монокристаллического кварца, кристаллографическая ось Z которого ориентирована вдоль направления распространения заряженньк частиц, а ее плоскость ориентирована под углом45-60°Ск поверхности кварцево го пьезоэлемента 8 и к направлению распространения.; заряженных частиц. Один конец кварцевого пьезоэлеме та В предназначен для укрепления его на держателе 11, на основание к торого устанавливается дополнительный кожух 12с отверстием 13 для 3 прохождения частиц стравленного слоя, внутри которого расположен кварцевый пьезоэлемент 8. Устройство работает следующим образом. При возбуждении источника 1 заряженных частиц пучок ионов падает на кассету 2 с набором образцов 3 из кварцевых пьезоэлементов, а через окно 6 кожуха 5 - на мишень 10, выполненную из монокристаллическогр кварца, причем кристаллографическая ось Z мишени 10 и образцов 3 ориентирована вдоль направления распространения заряженных частиц. Происходит травление образцов 3 из кварцевых пьезоэлементов и мишени 10, вьтолненной из монокристаллического кварца, и распыление материала с поверхности образцов 3 и мишени 10. Распыленный материал через отверстие 13 в дополнительном кожухе 12 попадает на кварцевый пьезоэлемент 8 и оседает на нем. Резонансная частота кварцевого пьезоэлемента 8, соединенного с автогенератором 9, понижается. Изменение частоты &f фиксируется на выходе автогенератора 9. Йо скорости изменения частоты автогенератора судят о скорости травления материала образцов. Использование предлагаемого устройства позволяет повысить точность измерений за счет исключения нагрева пьезоэлемента.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ, содержащее источник заряженных частиц, кассету с набором образцов из пьезоэлементов и измерительную камеру, состоящую из t , КЛЛ/УХХуХУУуУ ХХУХхх X J Ьт гН г ffffffffff/MfW//y f MW 7J кожуха с окном для прохождения заряженных частиц, металлического основания, кварцевого пьезозлемента, и автогенератора, соединенного с кварцевым пьезоэлементом, отличающееся тем, что, с целью повьшения. точности, измерительная камера снабжена мишенью, выполненной из монокристаллического кварца, кристаллографическая ось Z которого ориентирована вдоль направления распространения заряженных частиц, а ее плоскость ориентирована под углом 45-60 к поверхности кварцевого § пьёзоэлемента и к направлению распространения заряженньк частиц. Ь .V-U С тттт N9 00 00