Конвейерная электропечь Советский патент 1985 года по МПК F27B9/22 

Изобретение относится к оборудованию для термообработки изделий и может быть использовано в электронной технике для вжигания проводниковых и диэлeкfpичecкиx паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем. Цель изобретения - создание универсальной печи путем обеспечения различных температурно-газовьк режимов. На фиг.1 представлена электропечь общий вид; на фиг.2 - сечение рабоче камеры с холодильником. Конвейерная электропечь преимущественно для вжигания паст в подлож ки при изготовлении толстопленочных микросхем состоит из многозонной нагревательной камеры 1, представляющей собой легкоразборную конструкцию включающую муфель 2, вьшолненный в в де трубы прямоугольного сечения из жаропрочного материала и размещенный внутри нагревательной камеры на теплоизоляционных опорах 3. Внутри муфеля 2 расположено средство отбора продуктов возгонки в вид двух коаксиальных труб: внешней 4,заглушенной с одного торца и имеющей перфорацию 5 по всей длине, и внутренней 6, соединенной гибким шлангом 7 с эжектором 8 и имеющей отверстие 9 и возможность продольного перемещения . Обе трубы выполнены из жаропрочных материалов. Эжектор 8 расположен внутри каркаса электропечи со стороны загрузки изделий и состоит из нагнетательного вентилятора 10 и тру бы 11. Конвейер 12 предназначен для перемещения обрабатываемых изделий вдоль муфеля 2 и представляет лобой мелкоячеистую замкнутую сетку, выполненную из жаропрочной проволоки. Конвейер 12 приводится в движение приводным устройством, состоящим из электродвигателя 13, ведущего бараба на 14 и натяжных роликов 15. Камера 1 нагрева вьтолнена в виде секций нагревателей 16, имеющих возможность перемещения вдоль муфеля 2. Нижние нагреватели расположены на теплоизоляционных плитах 17, а верхние - на теплоизоляционных опорах 18 На концах муфеля 2 внутри него расположены газовые завесы 19, представ ляющие собой ряд пластин 20, свободно подвешенных на крючках 21. Завесы предназначены для предотвращения попадания кислорода воздуха внутрь муфеля во время технологического цикла. Конец муфеля 2 со стороны выгрузки изделий имеет водяную рубашку 22, предназначенную для охлаждения обработанных изделий. На концах электропечи расположены столы загрузки 23 и выгрузки 24, предназначенные для загрузки и выгрузки изделий. Дополнительный холодильник 25 состоит из двух разъемных Г-образных польЬс секций 26, соединенных между собой (фиг.2), с отверстиями для входа и выхода воды. Секции 26 прикрепляются к муфелю 2 при помощи кронштейнов 27 (фиг.2) и могут быть размещены в любом нужном месте нагревательной камеры на муфеле 2 вместо нагревателей 16 и теплоизоляционных плит 17. При этом, за счеткронштейнов 27, секции 26 соединяются одна с другой встык и плотно притягиваются к муфелю 2, обеспечивая с ним надежный тепловой контакт. Конвейерная электропечь преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем работает следующим образом. По заданной температурно-временной кривой устанавливаются режимы для каждой секции нагревателей 16 (в секцию входят один верхний и один нижний нагреватели). Одновременно включается электродвигатель 13 и конвейер 12 начинает непрерьшное движение внутри муфеля 2. Выход на заданный режим и отключение секций нагревателей 16 происходит автоматически. За несколько минут до вьосода печи на заданный режим и начала обработки изделий в муфель 2 и в газовые завесы 19 подается инертный газ газовой системы. После выхода печи на заданный режим на конвейер 12 загружаются обрабатываемые изделия. Одновременно с подачей инертного газа включается эжектор 8 и подвижная труба 6 устанавливается в неподвижной трубе 4 так, чтобы отверстие или отверстия подвижной трубы 6 располагаются против отверстий, неподвижной трубы 4, расположенных в зоне максимального вьщеления газообразных компонентов с целью их полного удаления из объема муфеля 2 . Обрабатываемые изделия перемещаются конвейером 12 вдоль муфеля 2 и. пройдя водяную рубашку 22, выгружаются из нагревательной камеры 1. С целью получени. на одной электропечи различных температурно-временных кривых используется дополнительный холодильник, который размещ ется на муфеле, например, на месте снятых с определенной зоны нагревателей и теплоизоляционных плит. Эт позволяет получить не только любую сложную температурную кривую, т.е. расширить функциональные возможности электропечи, но также повысить качество обрабатываемых изделий и увеличить процент выхода годных за счет поддержания температурных перепадов по зонам. Размещение в муфеле средства отбора продуктов возгонки в виде двух коаксиальных труб, внутренняя из которых может перемещаться вдоль наруж ной трубы и соединяется гибким пшангом с эжектором, расширяет функциональные возможности электропечи, т.е позволяет отбирать газообразные компоненты паст, наносимых на изделия и любой точки муфеля, в том числе из зоны максимального вьщеления газообразных компонентов. При помощи труб полностью удаляются газообразные компоненты паст, наносимых на изделия, среда в муфе30ле становится чистой, что приводит к повышению качества изделий и процента выхода годных. Таким образом, в предлагаемой универсальной электропечи, можно производить большое количество технологических процессов: вжигание медных проводников и диэлектриков в керамические и металлические глазурованные подложки, сушку, спекание, глазурование и т.д. Универсальность электропечи достигается за счет точного воспроизведения любой температурно-временной (заданной) кривой при помощи дополнительных холодильников, размещаемых в любом месте муфеля, и полного вывода из любой точки муфеля газообразных компонентов паст., наносимых на изделия, за счет средств отбора продуктов возгонки, вьтолненных в виде двух коаксиальные труб, внешняя из которых заглушена с одного торца,имеет перфорацию по всей длине и закреплена на крышке муфеля, а внутренняя имеет возможность перемещаться вдоль наружной трубы, соединена гибким итангом с эжектором и имеет по крайней мере одно отверстие. Достигается также герметичность рабочего пространства муфеля за счет заполнения его инертным газом при создании газовых завес на входе и выходе муфеля.

КОНВЕЙЕРНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многозонную секционную камеру нагрева с нагревателями и муфелем, газовый эжектор, холодильник и средства отбора продуктов возгонки, отличающаяся тем, что, с целью создания универсальной -печи nfretn обеспечения различных температурно-газовых режимов, печь снабжена дополнительным холодильником, камера нагрева выполнена в виде секций, имекщих возможность перемещения вдоль муфеля, дополнительный холодильник - в виде разъемных секций с возможностью размещения его между.секциями камеры нагрева, а средство отбора продуктов возгонки - в виде двух коаксиальных труб, при этом внешняя труба заглушена с § одного торца и имеет перфорацию по всей длине, а внутренняя соединена с эжектором и установленас возможностью продольного перемещения.

--- - : -: -1-. fа