Способ изготовления линейных линзовых растворов Советский патент 1985 года по МПК G03F5/00 

1 .11853

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в производстве линзовых растров.

Цель изобретения - улучшение опти- 5 ческих характеристик растра путем исключения пробельных участков и повышения качества профиля линз.

На фиг. 1 изображен исходный рисунок на фотошаблоне; на фиг. 2 - получаемый рельеф на подложке. Период t расположения сквозных полос шириной Ь на подложке 1 фотошаблона (фиг. 2) равен периоду tp образуемых линз на подложке растра, T.e.t tp (фиг. 2), причем пробельные участки между линзами не превышают 1 мкм. При травлгнии в жидкой фазе с маскирующим покрытием наибольшая скорость удаления материала подложки в центральной части полосы; по мере увеличения расстояния от центра к периферии скорость уменьшается. В результате протравленный на глубину рельеф имеет цилиндрическое или близко к цилиндрическому дно с несколько уменьшенными по сравнению с профилем линз радиусами. После удаления маскирующего покрытия 2 наибольшая скорость травления - у края полос и самих пробельных участков. Поэтому, при формировании в пленках маскирующего покрытия сквозных полос шириной ,Ь 0,1-0,5 периода растра и глубиной предварительного травления 2,5-5 высот профиля линз удается получить нужньй профиль с высотой линз h и высокими оптическими характеристиками: разрешаюш ей способностью и стабильным фокусным расстоянием по полю растра.

Требуемая глубина предварительного травления и ширина сквозных полос выбираются в указанных пределах в зависимости от периода растра и высоты профиля линз экспериментальным путем.

Результаты экспериментальных измерений сведены в табл. 1 и 2.

Как видно из табл. 1, разнофокусность линз по полю растра увеличивается до 6-8% на предельных значениях ширины сквозных полос в маскирующем покрытии и глубины предварительного травления.

Таблица.

Зависимость оптических характе-. ристик линейных линзовых растров от глубины предварительного травления и ширина сквозных полос в маскирующем покрытии

0,05

2,5

103

8,5

0,2

4,0

240

4,0

0,3

4,0

250

3,0

0,4

5,0

120

0,4

5,5

115

5,5

0,5

105

10

31185305

Продолжение табл. 1

Таблица Зависимость коэффициента светопропускания растров относительно коэффициента светопропускания стекла от наличия операции химической полировки

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ЛИНЗОВЫХ РАСТРОВ преимущественно из оптического стекла, включающий нанесение на подложку маскирующего покрытия , формирование в маскирующем покрытии сквозных полос с периодом растра, травление материала подложки через сквозные полосы и удаление маскирующего покрытия, отличающийся тем, что, с целью улучшения оптических характеристик растра путем исключения пробельных участков и повьшения качества профиля линз, ширина СКВ.ОЗНЫХ полос составляет 0,1-0,5 периода растра, а травление проводят в два этапа, причем предварительное травление проводят в жидкой фазе через сквозные полосы на глубину 2,5-5 высот профиля линз, а после удаления маскирующего 5S покрытия проводят дополнительное С/) травление до глубины 1,2-1,5 упомянутой высоты, после чего растр подвергают химической полировке. / /7/ 777//////// Гш f//////// ////// /////////////// /////у///////// ///////7/////// /////////////// /////////////// 7 / f / / / / / / / /7 //////////////7.