Автоэлектронный эмиттер Советский патент 1959 года по МПК H01J1/304 H01L29/68 

Предлагается конструкция автоэлектронного эмиттера, имеющего структуру металл-диэлектрик-полупроводник, которая позволяет снизить напряжение автоэлектронной эмиссии. Эмиттер выполнен в виде вольфрамового острия и отличается от аналогичных эмиттеров тем, что это острие покрыто слоем кварца, в который введен атомарный углерод. Таким образом, эмиттер представляет собой систему вольфрамкварц-кварц с введенным углеродом (W-SiO2-SiOgC).

Вольфрамовое острие получается в результате электрохимического стравливания нроволоки одним из известных способов. Слой кварца необходимой толщины высаживается на вольфраме при разложении царов тетраэтидсиликата в результате нагревания вольфрамового острия примерно до 1100 в атмосфере этих паров. Для получения во внешней части диэлектрического слоя кварца полупроводникового участка в кварц методом термической диффузии вводится углерод, образующийся при разложении метана. Толщина слоя кварца зависит от времени прогрева вольфрамового острия в атмосфере паров тетраэтидсиликата, а толщина цолупроводнико-вого слоя определяется временем прогрева покрытого кварцем вольфрамового острия в атмосфере метана. Описываемый эмиттер может быть также использован в качестве полупроводникового триода с управлением при помощи поля (фильдистора). В некоторых случаях, при применении способа уменьшения ионной бомбардировки эмиттирующих автоэлектронных металлических острий, эмиттер может быть использован в качестве автоэлектронного катода для различных электровакуумных приборов.

Предмет изобретения

1. Автоэлектронный эмиттер, выполненный в виде вольфрамового острия, отличающийся тем, что, с целью снижения напряже№ 118913

ния автоэлекТ|р-онной эмиссии, на вольфрамовое острие нанесен слой кварца, в который введен атомарный углерод, и эмиттер нредставляет собой систему вольфрам-кварц-кварц с введенным углеродом (W-SiOz- -SiOaC).

2. Применение автоэлектронного эмиттера по п. 1 в качестве нолупроводникового триода с управлением цри помощи электрического поля (фильдистора).