Механотронный преобразователь перемещений Советский патент 1985 года по МПК G01B7/00 G01L21/12 

fff

- +

I.. .

;о со Фь

4

00 Идобретгние относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения микроперемещений. Цель изобретения - повьшение точ ности измерения перемещения путем белее равномерного разогрева подложки в механотронном преобразователе перемещений. На чертеже изображен механотронный преобразователь перемещений. Преобразователь содержит вакууми рованный корпус 1, размещенные внут ри него подвижньй измерительный 2 и неподвижный вспомогательный 3 аноды расположенные на одной стороне изоляционный подложки .4 измерительный 5 и вспомогательный 6 катоды. Подогреватель катодов выполнен в виде напыленной на обратной сторо не подложки 4 металлической пленки 7 и размещенном на расстоянии от не электроде 8, имеющим форму спирали. Система 9 температурной стабилиэации тока эмиссии измерительного като да 5 включена между вспомогательным анодом 3 и электродом 8, а также л пленкой 7 подогревателя, В цепь источника 10 питания постоянного тока измерительного катода и анода включе регистрирующий прибор 1I. Преобразователь работает следующим образом, При перемещении измерительного анода 2 изменяется расстояние мезкду ним и измерительным катодом 5. Ток 3 между ними зависит от температуры окружающей среды и от перемещения измерительного анода 2. у вспомогательных, неподвижных один относительно другого анода 3 и катода 6 ток зависит только от температуры. Поэтому при ее изменении изменяется ток между катодом 6 и анодом 3,вследствие чего изменяется напряжение на выходе системы 9 температурной стабилизации между металлической пленкой 7 и электродом 8. Изменение этого Напряжения меняет кинетическую энергию электронов, попадающих на сплошную металлическую пленку 7 с электрода 8. В результате меняется мощность подогревателя катодов 5 и 6, а следовательно, и температура подложки 4, компенсируя изменение температуры окружающей среды. Таким образом, ток, проникающий через измерительный катод 5 и анод 2 и регистрируемый прибором 11, не зависит от изменения температуры окружающей среды, что повышает точность измерения перемещении. Выполнение пленки 7 подогревателя катодов в виде сплошного металлического покрытия обеспечивает более равномерный разогрев подложки 4 бладаря устранению локальности ее подогрева в соответствии с рисунком подогревателя и из-за неравномерности толщины напыляемой пленки, что имеет место в известном техническом решении.

МЕХАНОТРОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий вакуумированный корпус, размещенные внутри него измерительный подвижный и всномогательный неподвижный аноды, расположенные на одной стороне изоляционной подложки измерительный и вспомогательный катодь, выполненный в виде пленки на обратной стороне подпожки подогреватель катодов и систему температурной стабилизации тока эмиссии измерительного катода, подключенную между вспомогательным катодом и подогревателем, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения перемещений, подогреватель катодов § снабжен электродом в форме спирали, расположенным с зазором относи(Л тельно пленки, выполненной в виде сплошного металлического покрытия.