Проекционный объектив с увеличением-1/5х Советский патент 1985 года по МПК G02B9/64 G02B13/24 

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к оптическим системам, и может быть применено в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования ддя изготовления полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - снижение величины остаточной дисторсии.

На чертеже изображена схема объектива.

Объектив состоит из тринадцати линз, собранных в десять компонен- тов.

Первый компонент представляет собой отрицательный мениск 1, второй . компонент - отрицательный мениск 2, третий компонент отрицательный мениск 3, четвертый компонент - двояковьтуклая линза 4, пятый компонент двояковыпуклая линза 5, шестой компонент - положительный мениск 6,седьмой компонент- отрицательный мениск, склеенный из положительного 7 и отрицательного 8менисков,восьмой компонент - отрицательный мениск, склеен ный из двояковогнутой 9 и двояковыпуклой 10 линз, девятый компонент двояковыпуклая линза 11, десятый компонент - положительный мениск, склеенный из отрицательного 12 и положительного 13 менисков.

ПредлагаемьвЧ объектив ахроматизован и имеет высокую степень коррекции аберраций для 436 ± 5 нм. Данный объектив имеет увеличение 1/5 , .апертуру 0,25, поле зрения 2у 24 мм, фокусное расстояние F 105,83 мм, величина остаточной дисторсии не превьшает 0,08/Ом.

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/5 , включающий восемь компонентов и диафрагму,второй компонент из которых отрицательный третий и четвертый - двояковыпуклые линзы, пятый - положительный, а сед мой - двусклеенный мениск, отли чающийся тем, что, с целью снижения величины остаточной дисто сии, в него дополнительно введены отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и jpax:пanoжeнный перед первым компонен том на расстоянии 0,047 фокусного ра стояния объектива, и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенной из отрицательного и положительного менисков, и расположённый за восьмым компонентом на расстоянии 0,35 фокусного расстояния обьектива, при этом первьш компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, второй мениск обращенный выпуклостью к плоскости предмета, четвертый - оди ночная линза, пятый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой - отрицательный мениск, обращенный вьшуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой - отрицательный, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, и склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, а восьмой - двояковыпуклая линза, причем диафрагма расположена за пятым компонентом на расстоянии объектива. 78 9 Ю И /г 13